JPS62166529A - 薄膜の形成方法 - Google Patents

薄膜の形成方法

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JPS62166529A
JPS62166529A JP61010410A JP1041086A JPS62166529A JP S62166529 A JPS62166529 A JP S62166529A JP 61010410 A JP61010410 A JP 61010410A JP 1041086 A JP1041086 A JP 1041086A JP S62166529 A JPS62166529 A JP S62166529A
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JP
Japan
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silicon oxide
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oxygen gas
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Mieko Suzuki
鈴木　三恵子
Tetsuya Honma
哲哉 本間
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置の製造に用いられる薄膜の形成方
法に関し、特に溶液塗布熱処理による薄膜の形成方法に
関する。
〔従来の技術〕　　゛ 半導体高集積回路装置に於いては、層間絶縁膜として平
坦化された酸化膜が用いられている。この平坦化酸化膜
の成膜方法の一つとして溶液塗布を用いる方法がある。
従来の方法は、酸化ケイ素含有溶液を基板上に塗布し、
前熱処理（２００°Ｃ）した後、酸素雰囲気中で炉周囲
からの加熱、すなわち、塗布膜表面からの加熱による熱
処理（６００〜９００°Ｃ）を行っていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来の方法は、形成されたシリコン酸化膜の膜
中にわずかながら有機物が残ったシ、あるいは充分な酸
化が行なわれないという欠点がある。このため、形成さ
れた膜の電気的絶縁性が悪い。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の薄膜の形成方法は、酸化ケイ素含有溶液を基板
に塗布し、前熱処理後、酸素雰囲気中、かつ低圧水銀灯
で発せられる１８５０ｍの紫外光照射下で該基板下から
の加熱により熱処理する工程を有している。
〔実施例〕
次に１本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例に用いた紫外光照射／熱処
理装置の断面図である。
本装置は、ヒーター１を内蔵したサセプター２と、紫外
光照射のための低圧水銀灯３と、酸素ガスを導入する酸
素ガス導入口４及び、酸素ガスを排気する排気口５とか
ら構成されている。
前熱処理後の酸化ケイ素含有溶液６をもつ基板７はサセ
プタ２上に設置される。
本装置の特徴は酸化ケイ素含有溶液６が基板７を通して
加熱され、かつ、酸素雰囲気中で紫外光が照射されるこ
とにある。
本実施例に於いて、用いられた酸化ケイ素含有溶液は、
１０％のケイ素成分、２％のホウ素成分、１％のリン成
分を含むアルコラードを主成分とするものである。この
溶液をシリコン基板に毎分３０００回転で回転塗布し、
窒素中、２００’Ｃの前処理を行なった後、上記の紫外
光照射／熱処理装置で熱処理を行ない、膜形成した。
この熱処理条件として、酸素ガス流量毎分２０１１低圧
水銀灯から発せられる波長１８５１１ｍ光の強度１０　
（ｍ　ｗ　／　ｃ　ｍ２）、サセプタ温度６０００Ｃが
とられた。
ここで、本発明の方法で形成されたシリコン酸化膜の特
性を評価したところ、従来の方法で形成したシリコン酸
化膜のもＯＫ比べ、例えば、もれ電流は、図２に示す様
に一桁以上小さいものである等、格段忙優れたものであ
った。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、酸化ケイ素含有溶液を基
板に塗布、前熱処理後、酸素雰囲気中かつ紫外光照射下
で基板下からの加熱による熱処理するため、 （１）酸化ケイ素含有溶液に含まれている有機成分の分
解気化を促進する効果。
（２）酸素の紫外光照射で形成されるＯ　ファイカルに
よる酸化促進の効果。
がある。
その結果、電気的絶縁性の優れたシリコン酸化膜を、溶
液塗布法によって形成することが出来る効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の実施例に用いた紫外光照射／熱処理
装置の断面図、第２図は本発明の一実施例により形成し
た膜のＩ−Ｖ特性を示すグラフである。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）酸化ケイ素含有溶液を基板上に塗布し、酸素雰囲
    気中で、かつ紫外光照射下で熱処理することを特徴とす
    る薄膜の形成方法。
  2. （２）前記紫外光として低圧水銀灯の波長１８５ｎｍ光
    を用いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
    薄膜の形成方法。
  3. （３）前記熱処理が、基板が置かれるサセプターからの
    加熱であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    の薄膜の形成方法。
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