JPS62178787A - 真空ポンプ制御装置 - Google Patents
真空ポンプ制御装置Info
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- JPS62178787A JPS62178787A JP1958786A JP1958786A JPS62178787A JP S62178787 A JPS62178787 A JP S62178787A JP 1958786 A JP1958786 A JP 1958786A JP 1958786 A JP1958786 A JP 1958786A JP S62178787 A JPS62178787 A JP S62178787A
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- Japan
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- vacuum
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- vacuum pressure
- vacuum pump
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Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 7
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 9
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、真空式テープ緩衝箱を有する磁気テープ装
置に用いられる真空ポンプ制御装置に関するものである
。
置に用いられる真空ポンプ制御装置に関するものである
。
一般に、磁気テープ装置は磁気テープをテープデツキ中
で走行させる際のテープ緩衝装置を備えておシ、この緩
衝装置として真空圧と空気圧の差を利用する真空式の緩
衝装置が提案されている。
で走行させる際のテープ緩衝装置を備えておシ、この緩
衝装置として真空圧と空気圧の差を利用する真空式の緩
衝装置が提案されている。
この装置は交流モータによって真空ポンプを駆動し、緩
衝装置内の空気を排出すると、磁気テープは大気圧と真
空圧との差によって真空圧側に引かれ、そご力によって
たるみをなくすものである。
衝装置内の空気を排出すると、磁気テープは大気圧と真
空圧との差によって真空圧側に引かれ、そご力によって
たるみをなくすものである。
しかしながらこのような従来の装置は次のような欠点を
有している。
有している。
イ)磁気テープの用いられる電子計算機システムの高度
利用にともない、磁気テープ装置は自動装填機構などの
付加機能が要求されるようになり、テープ装填時間およ
び真空ポンプの起動時間も短かくすることが要求てれる
が、起動時間の短縮には限度がある。
利用にともない、磁気テープ装置は自動装填機構などの
付加機能が要求されるようになり、テープ装填時間およ
び真空ポンプの起動時間も短かくすることが要求てれる
が、起動時間の短縮には限度がある。
口)起動時間が長いため大きな起動電流が長い時間にわ
たって流れるので、起動停止を頻繁に繰シ返すときは消
費電力が大きくなる。
たって流れるので、起動停止を頻繁に繰シ返すときは消
費電力が大きくなる。
ハ)起動停止を頻繁に繰シ返すと大きな起動電流が長い
時間にわたって流れることから発熱が大きくなり、モー
タが過熱して焼損することがある。
時間にわたって流れることから発熱が大きくなり、モー
タが過熱して焼損することがある。
二)交流モータの場合、回転数は電源周波数に同期して
決まるため、真空圧の制御が容易でない。
決まるため、真空圧の制御が容易でない。
ホ)回転数が電源周波数に同期することから、商用周波
数が異なる地域でも使用できるようにするためには構成
が複雑になる。
数が異なる地域でも使用できるようにするためには構成
が複雑になる。
へ)真空ポンプの性能は標高により変化し、このため高
地ではモータ回転数を低地より上昇づせれば良いが、モ
ータ回転数Fi亀諒周波数に同期するので、実現が困難
である。
地ではモータ回転数を低地より上昇づせれば良いが、モ
ータ回転数Fi亀諒周波数に同期するので、実現が困難
である。
このような欠点を解決するためにこの発明は、直流モー
タと、直流モータを駆動するため交流入力を全波整流し
た出力を発生する電源部と、全波整流出力のゼロレベル
を整流出力のピークレベルと同一方向にシフトさせるレ
ベルシフト手段と、レベルシフトされた全波整流出力が
モータを介して供給される制御整流素子と、真空度に応
じて制御整流素子に間歇信号を供給する発振器を備えた
ものである。
タと、直流モータを駆動するため交流入力を全波整流し
た出力を発生する電源部と、全波整流出力のゼロレベル
を整流出力のピークレベルと同一方向にシフトさせるレ
ベルシフト手段と、レベルシフトされた全波整流出力が
モータを介して供給される制御整流素子と、真空度に応
じて制御整流素子に間歇信号を供給する発振器を備えた
ものである。
制御整流素子が間歇イム号によってオンオフされそのオ
ンオフ周期が真空度に応じて変化する。
ンオフ周期が真空度に応じて変化する。
第1図はこの発明の一実施例を示す回路図である。同図
において、1は直流で、*動される、例えば直巻形のそ
一タ、2はモータ1の回転により内部の空気が排出され
る真空ポンプ、3は真空ポンプ内の真空度に応じた電気
信号を発生する真空圧検出器、4は真空圧検出器3から
送出される電気信号に応じた周期の間歇信号を発生する
発振器、5は制御整流素子であるサイリスタ、6は交流
入力を全波整流する・眠一部、7け電源部6の全波整流
出力のゼロレベルを整流出力のピークレベルと反対方向
にシフトさせるレベルシフト手段であるダイオード、8
は磁気テープ、9は磁気テープ8の緩衝装置、10は連
通管10a、10bにより緩衝装置9の内部空間と連通
し、大気圧側空間9aと真空圧側空間9bとの気圧差に
よってオンオフする真空圧スイッチ、11は電流検出器
、12は外部からオンオフ制御づれるスイッチ、13け
電流検出器11の出力が有の状態から無の状態となった
ときに動作する制御回路、14はリレー、14a+14
bはリレー14の接点、15は抵抗、16はコンデンサ
、17a〜17Cはダイオード、18は弁機構である。
において、1は直流で、*動される、例えば直巻形のそ
一タ、2はモータ1の回転により内部の空気が排出され
る真空ポンプ、3は真空ポンプ内の真空度に応じた電気
信号を発生する真空圧検出器、4は真空圧検出器3から
送出される電気信号に応じた周期の間歇信号を発生する
発振器、5は制御整流素子であるサイリスタ、6は交流
入力を全波整流する・眠一部、7け電源部6の全波整流
出力のゼロレベルを整流出力のピークレベルと反対方向
にシフトさせるレベルシフト手段であるダイオード、8
は磁気テープ、9は磁気テープ8の緩衝装置、10は連
通管10a、10bにより緩衝装置9の内部空間と連通
し、大気圧側空間9aと真空圧側空間9bとの気圧差に
よってオンオフする真空圧スイッチ、11は電流検出器
、12は外部からオンオフ制御づれるスイッチ、13け
電流検出器11の出力が有の状態から無の状態となった
ときに動作する制御回路、14はリレー、14a+14
bはリレー14の接点、15は抵抗、16はコンデンサ
、17a〜17Cはダイオード、18は弁機構である。
発振器4はユニジャンクショントランジスタ40、抵抗
41〜43、可変抵抗44、コンデンサ45、ツェナー
ダイオード46、テストポイント47〜49よシ構成さ
れ、電源部6は変圧器61、抵抗62、ダイオード63
a〜63eよシ構成てれている。真空圧検出器3はダイ
ヤフラム31、抵抗32、接点33から構成される装置
置9の真空気圧側空間9bの真空度が増すと抵抗値が大
きくなるように構成されている。真空圧スイッチ10は
ダイヤフラム10c1接点1 0d 、 10eを有し
、真空圧側空間9bの真空度が増すと、接点10d.1
0eが離れるように構成されている。
41〜43、可変抵抗44、コンデンサ45、ツェナー
ダイオード46、テストポイント47〜49よシ構成さ
れ、電源部6は変圧器61、抵抗62、ダイオード63
a〜63eよシ構成てれている。真空圧検出器3はダイ
ヤフラム31、抵抗32、接点33から構成される装置
置9の真空気圧側空間9bの真空度が増すと抵抗値が大
きくなるように構成されている。真空圧スイッチ10は
ダイヤフラム10c1接点1 0d 、 10eを有し
、真空圧側空間9bの真空度が増すと、接点10d.1
0eが離れるように構成されている。
このように構成はれた装置の動作は次のとうシである。
真空ポンプ2を起動する前は緩衝装置9の大気圧側空間
9a真空圧側空間9bとも大気圧と等しくなっているの
で、真空圧スイッチ10の接点10d,10eはオンと
なっている。そしてこの時は図示しない外部信号によっ
て制御されるスイッチ12はオフとなっておシ、このと
きリレー14は動作しないような構成にし,ておけば、
接点14a、14eはオフとなっているので、モータ1
は起動しない。
9a真空圧側空間9bとも大気圧と等しくなっているの
で、真空圧スイッチ10の接点10d,10eはオンと
なっている。そしてこの時は図示しない外部信号によっ
て制御されるスイッチ12はオフとなっておシ、このと
きリレー14は動作しないような構成にし,ておけば、
接点14a、14eはオフとなっているので、モータ1
は起動しない。
ここでスイッチ12に外部から信号が供給ざれオン状態
になると、サイリスタ5のゲートがダイオード17aを
介してアースに接続される。サイリスタ5はアースに接
続はれたアノードの方がカソードよシ高電位になるよう
な電圧が供給されているので、サイリスタ5のゲートに
ゲート′Iκ流が流れ、サイリスタ5は導通する。この
結果、モータ1が起動され、真空ポンプ2内の空気が矢
印方向に排出ざれ、磁気テープ8が図に示したように緩
衝袋fgcQ内に引込まれる。緩衝装置9の真空圧側空
間9bの空気が排出されることによって真空圧スイッチ
10のダイヤフラム10Cは真空圧側に引かれる力が作
用する。そこで真空圧側が規定の圧力まで低下したらダ
イヤフラム10Cが下方、す々わち真空圧側に凸になる
ようにしておけば1.この時点で接点10d、10eが
オフとなる。
になると、サイリスタ5のゲートがダイオード17aを
介してアースに接続される。サイリスタ5はアースに接
続はれたアノードの方がカソードよシ高電位になるよう
な電圧が供給されているので、サイリスタ5のゲートに
ゲート′Iκ流が流れ、サイリスタ5は導通する。この
結果、モータ1が起動され、真空ポンプ2内の空気が矢
印方向に排出ざれ、磁気テープ8が図に示したように緩
衝袋fgcQ内に引込まれる。緩衝装置9の真空圧側空
間9bの空気が排出されることによって真空圧スイッチ
10のダイヤフラム10Cは真空圧側に引かれる力が作
用する。そこで真空圧側が規定の圧力まで低下したらダ
イヤフラム10Cが下方、す々わち真空圧側に凸になる
ようにしておけば1.この時点で接点10d、10eが
オフとなる。
モータ1に供給嘔れる電圧は電源部6で整流して得られ
た全波整流波形をレベルシフト用のダイオード7の順電
圧降下分だけシフトした電圧となっており、ダイオード
7はカソード側がアースされている。このため、ダイオ
ード638163cの接続点がアースされているときの
ゼロレベルハ第2図(a)の実線で示す記号「イ」のレ
ベルであるが、ダイオード7が挿入されることによって
その順電圧降下分Esだけピークレベル側にシフトして
一点鎖線で示す記号「口」のレベルとなる。このため全
波整流波形のうち点線で示す部分については、サイリス
タ5のアノード側よυカソード側の方が電圧が高くなる
。このことから、導通していたサイリスタ5は全波整流
出力が点線で示すレベルよシ正側になったとき、アノー
ド・カソード間に逆方向の゛電圧が供給源れたことにな
り、非導通になる。
た全波整流波形をレベルシフト用のダイオード7の順電
圧降下分だけシフトした電圧となっており、ダイオード
7はカソード側がアースされている。このため、ダイオ
ード638163cの接続点がアースされているときの
ゼロレベルハ第2図(a)の実線で示す記号「イ」のレ
ベルであるが、ダイオード7が挿入されることによって
その順電圧降下分Esだけピークレベル側にシフトして
一点鎖線で示す記号「口」のレベルとなる。このため全
波整流波形のうち点線で示す部分については、サイリス
タ5のアノード側よυカソード側の方が電圧が高くなる
。このことから、導通していたサイリスタ5は全波整流
出力が点線で示すレベルよシ正側になったとき、アノー
ド・カソード間に逆方向の゛電圧が供給源れたことにな
り、非導通になる。
一方、真空圧スイッチ10の接点10d、10eがオフ
になったとき、そのことが′電流検出器11で検出これ
、検出これた信号か制御回路13に供給されるので、制
御回路13はリレー14を駆動し、その接点14a、1
4bがオンになる。また、発振器4はコンデンサ45と
、真空圧検出器3の抵抗32および可変抵抗44の合成
抵抗によって決まる周期の間歇信号を発生している。こ
のためユニジャンクショントランジスタ40は間歇的に
オンとなっているので、このオン期間にダイオード17
bを介してサイリスタ5にゲート電流が供給される。
になったとき、そのことが′電流検出器11で検出これ
、検出これた信号か制御回路13に供給されるので、制
御回路13はリレー14を駆動し、その接点14a、1
4bがオンになる。また、発振器4はコンデンサ45と
、真空圧検出器3の抵抗32および可変抵抗44の合成
抵抗によって決まる周期の間歇信号を発生している。こ
のためユニジャンクショントランジスタ40は間歇的に
オンとなっているので、このオン期間にダイオード17
bを介してサイリスタ5にゲート電流が供給される。
第2図(a)に示す期間Tは交流入力の周波数が50ヘ
ルツの場合、10ミリ秒であシ、60ヘルツの場合は約
8.3ミリ秒である。
ルツの場合、10ミリ秒であシ、60ヘルツの場合は約
8.3ミリ秒である。
真空圧スイッチ10がオフとなってからダイオード17
bを介してゲート電流が供給されるまでは約50ミリ秒
程度であるため、約50ミリ秒程度はモータ1に電流が
供給されない期間が生ずるが、モータの起動時点でこの
程度のオフ時間が生じても実用上の支障はない。このよ
うに、一度オフとまったサイリスタ5に再びゲート電流
が供給されるので、サイリスタ5はオンとなって、モー
タ1に電流が流れる。
bを介してゲート電流が供給されるまでは約50ミリ秒
程度であるため、約50ミリ秒程度はモータ1に電流が
供給されない期間が生ずるが、モータの起動時点でこの
程度のオフ時間が生じても実用上の支障はない。このよ
うに、一度オフとまったサイリスタ5に再びゲート電流
が供給されるので、サイリスタ5はオンとなって、モー
タ1に電流が流れる。
今、サイリスタ5がオフであり、全波整流波形が時点t
、から負方向に増大するとき、発振器4のツェナーダイ
オード46は第2図中)に示すような端子電圧を示す。
、から負方向に増大するとき、発振器4のツェナーダイ
オード46は第2図中)に示すような端子電圧を示す。
そして、全波整流波形がツェナー電圧Vzを越えるとツ
ェナーダイオード46の端子電圧は一定電圧Vzになる
とともに、可変抵抗44、抵抗32を介してコンデンサ
45が充電される。この充電電圧が第2図(c)に示す
ように上昇し、ユニジャンクショントランジスタ40の
導通電圧Vpに達するとユニジャンクショントランジス
タ40がオンとなる。この結果、コンデンサ45の電圧
はVDまで低下し、ユニジャンクショントランジスタ4
0には第2図(dlに示す電流が流れる。前述したよう
に、リレー14が駆動されているとき、ユニジャンクシ
ョントランジスタ40に電流が流れることによってサイ
リスタ5がオンとなる。そして、全波整流波形が第2図
(a)の記号「口」で示す一点鎖線で表わしたレベルよ
シ正側まで変化すると、サイリスタ5はオフとなる。そ
の後、全波整流波形が負方向に増大することによって時
点t2でユニジャンクショントランジスタ40がオンと
なり、サイリスタ5もオンとなる。このため、サイリス
タ5には第2図(e)に示す波形の電流が流れる。
ェナーダイオード46の端子電圧は一定電圧Vzになる
とともに、可変抵抗44、抵抗32を介してコンデンサ
45が充電される。この充電電圧が第2図(c)に示す
ように上昇し、ユニジャンクショントランジスタ40の
導通電圧Vpに達するとユニジャンクショントランジス
タ40がオンとなる。この結果、コンデンサ45の電圧
はVDまで低下し、ユニジャンクショントランジスタ4
0には第2図(dlに示す電流が流れる。前述したよう
に、リレー14が駆動されているとき、ユニジャンクシ
ョントランジスタ40に電流が流れることによってサイ
リスタ5がオンとなる。そして、全波整流波形が第2図
(a)の記号「口」で示す一点鎖線で表わしたレベルよ
シ正側まで変化すると、サイリスタ5はオフとなる。そ
の後、全波整流波形が負方向に増大することによって時
点t2でユニジャンクショントランジスタ40がオンと
なり、サイリスタ5もオンとなる。このため、サイリス
タ5には第2図(e)に示す波形の電流が流れる。
可変抵抗44の抵抗値を大きくするとコンデンサ45の
端子電圧上昇はゆるやかになるので第3図(C)に記号
「ハ」で示す特性になり、ユニジャンクショントランジ
スタ40の導通電圧Vpに達するまでの時間が遅くなる
のでサイリスタ5に電流が流れる期間が短かくなる。可
変抵抗44のぜ抗値を小さくするとこれとは反対に、サ
イリスタ5に電流が流れる期間が長くなる。モータ1の
回転数はそこに電流が流れる期間に比例して変化するの
で、可変抵抗44を調節することによってμ空ポンプ3
の真空度を所望の値に設定することができる。
端子電圧上昇はゆるやかになるので第3図(C)に記号
「ハ」で示す特性になり、ユニジャンクショントランジ
スタ40の導通電圧Vpに達するまでの時間が遅くなる
のでサイリスタ5に電流が流れる期間が短かくなる。可
変抵抗44のぜ抗値を小さくするとこれとは反対に、サ
イリスタ5に電流が流れる期間が長くなる。モータ1の
回転数はそこに電流が流れる期間に比例して変化するの
で、可変抵抗44を調節することによってμ空ポンプ3
の真空度を所望の値に設定することができる。
可変抵抗44を調節して真空ポンプ3の真空度を所望の
値とし、定常運転を行なっているときに伺等かの原因に
よって緩衝装置9の真空圧側空間9bの圧力が低下(大
気圧に対する真全圧の程度が大きくなる)すると、真空
圧検出器3のダイヤフラム31は真空圧側空間9bの方
にふくらみ、抵抗32の抵抗値が大きくなる。このため
LIT変抵抗抵抗44抗値を大きくしたときと同様に、
サイリスタ5に電流が流れる期間が短か(なり、モータ
1の回転数が低下するので、真空圧側壁間9bの圧力が
上昇(大気圧に対する真空圧の程度が小さくなる)する
。このことによりダイヤフラム31は元に戻り、真空圧
側空間9bの圧力は平常値に保たれる。また、真空圧側
空間9bの圧力が上昇したときは反対の動作が行なわれ
、真空圧側空間9bの圧力は常に平常値に保たれる。
値とし、定常運転を行なっているときに伺等かの原因に
よって緩衝装置9の真空圧側空間9bの圧力が低下(大
気圧に対する真全圧の程度が大きくなる)すると、真空
圧検出器3のダイヤフラム31は真空圧側空間9bの方
にふくらみ、抵抗32の抵抗値が大きくなる。このため
LIT変抵抗抵抗44抗値を大きくしたときと同様に、
サイリスタ5に電流が流れる期間が短か(なり、モータ
1の回転数が低下するので、真空圧側壁間9bの圧力が
上昇(大気圧に対する真空圧の程度が小さくなる)する
。このことによりダイヤフラム31は元に戻り、真空圧
側空間9bの圧力は平常値に保たれる。また、真空圧側
空間9bの圧力が上昇したときは反対の動作が行なわれ
、真空圧側空間9bの圧力は常に平常値に保たれる。
モータ1は直流直巻モータを用いているので、起動時の
トルクが交流モータに比べて極めて大きい。このため、
この装置は交流モータを使用していた従来のものに比べ
て起動時間を短かくするととができ、従来装置では10
0秒程必要であった起動時間が3秒程度とすることがで
きた。
トルクが交流モータに比べて極めて大きい。このため、
この装置は交流モータを使用していた従来のものに比べ
て起動時間を短かくするととができ、従来装置では10
0秒程必要であった起動時間が3秒程度とすることがで
きた。
以上の#、施例では電源として負電位の全波整流波形を
用いたが、これは正電位の全波整流波形を用いても良い
。真空圧検出器はダイヤフラム形のものを用いたが、空
気シリンダ形のものを採用し、シリンダ内のピストンと
連動する機構にょシ、例えばピストン俸の先端部を摺動
抵抗とするなどして、抵抗変化を検出しても良い。リレ
ーは説明のわかシ易さから用いた素子であり、このリレ
ーについては信号によpリレー接点と同じ役割をする部
品を用いる方が好適である。高い制御梢度を要求される
場合はトルクと回転数の関係が直線的に変化する直流他
励モータを用いることか望ましい。
用いたが、これは正電位の全波整流波形を用いても良い
。真空圧検出器はダイヤフラム形のものを用いたが、空
気シリンダ形のものを採用し、シリンダ内のピストンと
連動する機構にょシ、例えばピストン俸の先端部を摺動
抵抗とするなどして、抵抗変化を検出しても良い。リレ
ーは説明のわかシ易さから用いた素子であり、このリレ
ーについては信号によpリレー接点と同じ役割をする部
品を用いる方が好適である。高い制御梢度を要求される
場合はトルクと回転数の関係が直線的に変化する直流他
励モータを用いることか望ましい。
以上説明したようにこの発明は、直流モータを間歇制御
するようにしたので、次のような効果を有する。
するようにしたので、次のような効果を有する。
イ)直流モータを使用しているので起動時間が短かい。
口)起動時間が短かいため、起動電流の流れる時間が短
かく、起動停止を頻繁に繰返しても消費電力が小さく、
これにともない発熱も小さいので、モータが過熱しない
。
かく、起動停止を頻繁に繰返しても消費電力が小さく、
これにともない発熱も小さいので、モータが過熱しない
。
ハ)モータの回転数を電源周波数と無関係に決められる
ので、真空圧の制御が容易であり、また商用周波数の異
なる地域でも全く同一の装置を使用することができる。
ので、真空圧の制御が容易であり、また商用周波数の異
なる地域でも全く同一の装置を使用することができる。
二)モータ回転数を任童に決められるので、標高の異な
る地域で用いても、真空ポンプの特性変化を容易に補正
できる。
る地域で用いても、真空ポンプの特性変化を容易に補正
できる。
第1図はこの発明の一実施例を示す回路図、第2図は各
部波形図である。 1’@ I @ II七−タ、2110.拳真空ポンプ
、3・・・e真空圧検出器、4・・・・発掘器、5・#
#0サイリスク、6・・・・電源部、7・・・・タイオ
ード(レベルシフト手段)、8・・・・磁気テープ、9
・・・虐緩衝装置、10・・・・真空圧スイッチ、11
・・・・′wL流検出器、13φ−−・制御回路。
部波形図である。 1’@ I @ II七−タ、2110.拳真空ポンプ
、3・・・e真空圧検出器、4・・・・発掘器、5・#
#0サイリスク、6・・・・電源部、7・・・・タイオ
ード(レベルシフト手段)、8・・・・磁気テープ、9
・・・虐緩衝装置、10・・・・真空圧スイッチ、11
・・・・′wL流検出器、13φ−−・制御回路。
Claims (1)
- 直流モータと、直流モータの回転により内部の空気が排
出される真空ポンプと、真空ポンプ内の真空度に応じた
電気信号を発生する真空圧検出器と、その電気信号に応
じた周期の間歇信号を発生する発振器と、発振器出力信
号によつて駆動される制御整流素子と、交流入力を全波
整流しその整流出力をモータを介して制御整流素子に供
給する電源部と、整流出力のゼロレベルを整流出力のピ
ークレベルと同一方向にシフトさせるレベルシフト手段
とから構成される真空ポンプ制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1958786A JPS62178787A (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 真空ポンプ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1958786A JPS62178787A (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 真空ポンプ制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62178787A true JPS62178787A (ja) | 1987-08-05 |
Family
ID=12003384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1958786A Pending JPS62178787A (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 真空ポンプ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62178787A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018056180A1 (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置 |
| WO2018173636A1 (ja) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54143812A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-09 | Yamamoto Electric Ind Co Ltd | Apparatus for controlling speed of dc motor |
| JPS5893494A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-03 | Ulvac Corp | 真空ポンプの作動制御装置 |
-
1986
- 1986-01-31 JP JP1958786A patent/JPS62178787A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS54143812A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-09 | Yamamoto Electric Ind Co Ltd | Apparatus for controlling speed of dc motor |
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| US11624752B2 (en) | 2017-03-24 | 2023-04-11 | Hitachi High-Tech Corporation | Automatic analyzer |
| CN110226091B (zh) * | 2017-03-24 | 2024-03-01 | 株式会社日立高新技术 | 自动分析装置 |
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