JPS621886A - 流体軸受シヤフト - Google Patents
流体軸受シヤフトInfo
- Publication number
- JPS621886A JPS621886A JP60139343A JP13934385A JPS621886A JP S621886 A JPS621886 A JP S621886A JP 60139343 A JP60139343 A JP 60139343A JP 13934385 A JP13934385 A JP 13934385A JP S621886 A JPS621886 A JP S621886A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- film
- bearing shaft
- absorb
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/106—Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
- F16C33/107—Grooves for generating pressure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、機構部品の流体軸受シャフトに関するもので
ある。
ある。
従来の技術
近年、流体軸受シャフトは、小型の流体軸受が高速高精
度な回転を必要とする小型電機製品に多用されるに及び
、特に微細高精度な加工を施したものが市場において要
求されている。
度な回転を必要とする小型電機製品に多用されるに及び
、特に微細高精度な加工を施したものが市場において要
求されている。
以下図面を参照しながら、上述した従来の流体軸受シャ
フトの一例について説明する。
フトの一例について説明する。
第４図に２いて、８はシャフトの外周面上のレジストを
塗布した面、９はレジストを塗布していない部分であり
、グループの形状をしている。このシャフトをエツチン
グ液中にてエツチングすることによりグループを形成す
る。第５図は、エツチングにより形成されたグループの
断面を示す。
塗布した面、９はレジストを塗布していない部分であり
、グループの形状をしている。このシャフトをエツチン
グ液中にてエツチングすることによりグループを形成す
る。第５図は、エツチングにより形成されたグループの
断面を示す。
１０はレジスト、１１はシャフト、１２はグループ、１
３はエツチングによるアンダーカットを示す。
３はエツチングによるアンダーカットを示す。
一方、第６図はボール転造により形成されたグループの
断面であり、１４はグループ、１６はシャフト本体であ
る。
断面であり、１４はグループ、１６はシャフト本体であ
る。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、エツチングによる
グループ形成においては、アンダーカットの発生が原因
となり流体軸受シャフトの性能向上を妨げている。また
、ボール転造により形成されるグループにおいては、グ
ループの断面形状を矩形にすることができないこと、及
びグループの形状そのものが転造により制約をうけるこ
とが原因となって、同様に流体軸受シャフトの性能向上
を妨げている。
グループ形成においては、アンダーカットの発生が原因
となり流体軸受シャフトの性能向上を妨げている。また
、ボール転造により形成されるグループにおいては、グ
ループの断面形状を矩形にすることができないこと、及
びグループの形状そのものが転造により制約をうけるこ
とが原因となって、同様に流体軸受シャフトの性能向上
を妨げている。
本発明は上記問題点に鑑み、断面が矩形でアンダーカッ
トのないグループが高精度に形成された流体軸受シャフ
トを提供するものである。
トのないグループが高精度に形成された流体軸受シャフ
トを提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために本発明の流体軸受シャフト
は、レーザー光線を吸収しにくい材料からなるシャツ忙
本体の外周に、レーザー光線を吸収し易い材料を付着さ
せた、一定の厚みの膜を有し、その膜をレーザー光線に
より除去することにより形成されたグループを有すると
いう構成を備えたものである。
は、レーザー光線を吸収しにくい材料からなるシャツ忙
本体の外周に、レーザー光線を吸収し易い材料を付着さ
せた、一定の厚みの膜を有し、その膜をレーザー光線に
より除去することにより形成されたグループを有すると
いう構成を備えたものである。
作用
この技術的手段による作用は次のようになる。
グループを形成する際に、流体軸受シャフトにレーザー
光線を照射すると、レーザー光線を吸収し易い材料から
なる膜のみが加工除去され、レーザー光線を吸収しにく
い材料からなるシャフト本体はレーザー光線の影響を受
けない。この結果、形成された各々のグループの深さは
膜厚に等しくなり、一様かつ高精度な深さのグループが
得られる。また、レーザー光線による加工では、アンダ
ーカットやエツジのだれは生じないため、断面が矩形で
、任意の面形状を持つグループが形成される。
光線を照射すると、レーザー光線を吸収し易い材料から
なる膜のみが加工除去され、レーザー光線を吸収しにく
い材料からなるシャフト本体はレーザー光線の影響を受
けない。この結果、形成された各々のグループの深さは
膜厚に等しくなり、一様かつ高精度な深さのグループが
得られる。また、レーザー光線による加工では、アンダ
ーカットやエツジのだれは生じないため、断面が矩形で
、任意の面形状を持つグループが形成される。
実施例
以下本発明の一実施例の流体軸受シャフトについて、図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
第１図において、１はレーザー光線を吸収し易い材料か
らなる膜であり、例えば無電解ニッケルなどである。２
はレーザー光線を吸収しにくい材料からなるシャフト本
体であり、例えばＹＡＧレーザーの２次高調波に対する
強化ガラスなどである。３は膜を除去して形成されたグ
ループである。
らなる膜であり、例えば無電解ニッケルなどである。２
はレーザー光線を吸収しにくい材料からなるシャフト本
体であり、例えばＹＡＧレーザーの２次高調波に対する
強化ガラスなどである。３は膜を除去して形成されたグ
ループである。
以上のように構成された流体軸受シャフトについて、以
下第２図及び第３図を用いてその作用を説明する。
下第２図及び第３図を用いてその作用を説明する。
第２図は、レーザー光線４によりレーザー光線を吸収し
やすい材料からなる膜１を除去して、グループ３を形成
するところを示している。５はレーザー光線の集光レン
ズであり、６は流体軸受シャフトの縦断面全体を示す。
やすい材料からなる膜１を除去して、グループ３を形成
するところを示している。５はレーザー光線の集光レン
ズであり、６は流体軸受シャフトの縦断面全体を示す。
レーザー光線４は膜１を除去するが、膜が除去された後
レーザー光線を吸収しにくい材料２に照射されても、そ
の大半が透過してしまうため、レーザー光線を吸収しに
くい材料２は加工されることはない。第３図は、レーザ
ー光線で加工されたグループの断面を示す。
レーザー光線を吸収しにくい材料２に照射されても、そ
の大半が透過してしまうため、レーザー光線を吸収しに
くい材料２は加工されることはない。第３図は、レーザ
ー光線で加工されたグループの断面を示す。
７はグループである。グループは矩形であり、深さは膜
１の厚みに等しく均一でるる。
１の厚みに等しく均一でるる。
以上のように本実施例によれば、レーザー光線を吸収し
にくい材料からなるシャフト本体の外周に、レーザー光
線を吸収しやすい材料からなる膜を付着せしめることに
より、レーザー光線を用いて矩形の断面を持つグループ
を高精度に形成できる。
にくい材料からなるシャフト本体の外周に、レーザー光
線を吸収しやすい材料からなる膜を付着せしめることに
より、レーザー光線を用いて矩形の断面を持つグループ
を高精度に形成できる。
発明の効果
以上のように本発明は、レーザー光線を吸収しにくい材
料からなるシャフト本体の外周に、レーザー光線を吸収
しにくい材料を付着せしめた膜を形成して、その膜をレ
ーザー光線により加工除去することにより、良好な形状
及び加工精度を有するグループを形成することができ、
その結果流体軸受シャフトの回転精度及び回転の安定性
を向上させることが可能となる。
料からなるシャフト本体の外周に、レーザー光線を吸収
しにくい材料を付着せしめた膜を形成して、その膜をレ
ーザー光線により加工除去することにより、良好な形状
及び加工精度を有するグループを形成することができ、
その結果流体軸受シャフトの回転精度及び回転の安定性
を向上させることが可能となる。
第１図ａ、ｂは本発明の一実施例における流体軸受シャ
フトの正面図及び断面図、第２図はレーザー光線による
グループの加工を示す模式図、第３図はレーザー光線に
より加工されたグループの縦断面図、第４図はエツチン
グによりグループが形成される流体軸受ンヤフトの正面
図、第６図はエツチングにより形成されたグループの縦
断面図、第６図はボール転造により形成されたグループ
の縦断面図でちる。 １・・・・・・レーザー光線を吸収しやすい材料からな
る膜、２・・・・・・レーザー光線を吸収しにくい材料
からなるンヤフト本体、３・・・・・・レーザー光線に
より形成されたグループ、４・・・・・・レーザー光線
、５・・・・・・集光レンズ、６・・・・・・流体軸受
シャフト。
フトの正面図及び断面図、第２図はレーザー光線による
グループの加工を示す模式図、第３図はレーザー光線に
より加工されたグループの縦断面図、第４図はエツチン
グによりグループが形成される流体軸受ンヤフトの正面
図、第６図はエツチングにより形成されたグループの縦
断面図、第６図はボール転造により形成されたグループ
の縦断面図でちる。 １・・・・・・レーザー光線を吸収しやすい材料からな
る膜、２・・・・・・レーザー光線を吸収しにくい材料
からなるンヤフト本体、３・・・・・・レーザー光線に
より形成されたグループ、４・・・・・・レーザー光線
、５・・・・・・集光レンズ、６・・・・・・流体軸受
シャフト。
Claims (1)
- レーザー光線を吸収しにくい材料からなるシャフト本体
と、本体の外周に付着せしめたレーザー光線を吸収し易
い材料からなる膜と、この膜をレーザー光線により除去
して形成されるグループとを備えた流体軸受シャフト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139343A JPS621886A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 流体軸受シヤフト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139343A JPS621886A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 流体軸受シヤフト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS621886A true JPS621886A (ja) | 1987-01-07 |
Family
ID=15243118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60139343A Pending JPS621886A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 流体軸受シヤフト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS621886A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04203618A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Ebara Corp | セラミックス製動圧軸受の溝加工方法 |
| JPH04203616A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Ebara Corp | セラミックス製動圧軸受の加工方法 |
| JPH0525021U (ja) * | 1991-07-19 | 1993-04-02 | 光洋精工株式会社 | 動圧軸受 |
| US5315196A (en) * | 1991-08-08 | 1994-05-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Shaft with grooves for dynamic pressure generation and motor employing the same |
| JP2009541696A (ja) * | 2006-06-30 | 2009-11-26 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 気体軸受製造方法 |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP60139343A patent/JPS621886A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04203618A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Ebara Corp | セラミックス製動圧軸受の溝加工方法 |
| JPH04203616A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Ebara Corp | セラミックス製動圧軸受の加工方法 |
| JPH0525021U (ja) * | 1991-07-19 | 1993-04-02 | 光洋精工株式会社 | 動圧軸受 |
| US5315196A (en) * | 1991-08-08 | 1994-05-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Shaft with grooves for dynamic pressure generation and motor employing the same |
| JP2009541696A (ja) * | 2006-06-30 | 2009-11-26 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 気体軸受製造方法 |
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