JPS62195501A - 平面度測定装置のセンサ送り装置 - Google Patents
平面度測定装置のセンサ送り装置Info
- Publication number
- JPS62195501A JPS62195501A JP3890386A JP3890386A JPS62195501A JP S62195501 A JPS62195501 A JP S62195501A JP 3890386 A JP3890386 A JP 3890386A JP 3890386 A JP3890386 A JP 3890386A JP S62195501 A JPS62195501 A JP S62195501A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- holder
- guide rod
- arm
- flatness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、物体の表面の平面度を測定する平面度測定装
置のセンサ送り装置に関する。
置のセンサ送り装置に関する。
物体の表面の平面度を測定する方法の一つとして粗さ測
定装置による方法がある。この粗さ測定装置として端面
に開口を存するケース内に配された送り手段により、ケ
ースの開口から突出し、触針を備えたセンサを物体の表
面に沿わせて粗さを測定するものが知られているが、こ
の方法ではセンサが物体の表面を基準面に沿って移動し
ないので、平面度の測定ができないという問題がある。 また一方１．微細な平面度の測定を測定する際、センサ
に設けられた触針は微細なうねりに沿って動く必要があ
り、送り装置の製作誤差や組立誤差により生じる送り手
段の振れがセンサに振れを与えるので測定誤差が生じ、
正確なうねり、すなわち平面度が測定できないという問
題もあった。
定装置による方法がある。この粗さ測定装置として端面
に開口を存するケース内に配された送り手段により、ケ
ースの開口から突出し、触針を備えたセンサを物体の表
面に沿わせて粗さを測定するものが知られているが、こ
の方法ではセンサが物体の表面を基準面に沿って移動し
ないので、平面度の測定ができないという問題がある。 また一方１．微細な平面度の測定を測定する際、センサ
に設けられた触針は微細なうねりに沿って動く必要があ
り、送り装置の製作誤差や組立誤差により生じる送り手
段の振れがセンサに振れを与えるので測定誤差が生じ、
正確なうねり、すなわち平面度が測定できないという問
題もあった。
本発明は、前述のような点に鑑み物体の平面度を測定す
る基準面を与えながら、かつ製作誤差や組立誤差を吸収
してセンサが正確に移動することのできる平面度測定装
置のセンサ送り装置を提供することを目的とする。
る基準面を与えながら、かつ製作誤差や組立誤差を吸収
してセンサが正確に移動することのできる平面度測定装
置のセンサ送り装置を提供することを目的とする。
上記の目的は、本発明によれば端面ど開口を存するケー
ス内に配された送り手段により、前記開口から突出して
配されたセンサを測定すべき物体上に移動させて物体の
平面度を測定する平面度測定装置の送り装置において、
前記センサを端面にて保持したホールダと、該ホールダ
の前記センサと反対側の端面に設けた穴に嵌挿される案
内棒と、酸基内棒を包んで往復動可能なアームと、該ア
ームに長手方向の一方の端部を、前記ホールダに他方の
端部を取付けた仮ばねとからなり、前記アームを送り手
段に結合し、前記ホールダを案内棒に案内させて前記セ
ンサを動かすことにより、センサは案内棒の案内面に沿
って動き、この案内面を、２５ｔｇ而として表面の平面
度を測定するようにして達成される。
ス内に配された送り手段により、前記開口から突出して
配されたセンサを測定すべき物体上に移動させて物体の
平面度を測定する平面度測定装置の送り装置において、
前記センサを端面にて保持したホールダと、該ホールダ
の前記センサと反対側の端面に設けた穴に嵌挿される案
内棒と、酸基内棒を包んで往復動可能なアームと、該ア
ームに長手方向の一方の端部を、前記ホールダに他方の
端部を取付けた仮ばねとからなり、前記アームを送り手
段に結合し、前記ホールダを案内棒に案内させて前記セ
ンサを動かすことにより、センサは案内棒の案内面に沿
って動き、この案内面を、２５ｔｇ而として表面の平面
度を測定するようにして達成される。
以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の実施例による平面度測定装置の送り装
置の部分断面図、第２図は第１図の部分平面図、第３図
は第１図のＡ−Ａ断面図である。第１図ないし第３図に
おいて、１は端面に開口１ａを有する断面Ｕ字形のケー
スである。平面度を測定するセンサ３はケースｌの開口
１ａから突出した位置に配され、ホールダ４の端面にプ
ラグ３ａを挿入して保持されている。なおセンサ３には
図示しないが物体の平面度を測定する触針が設けられて
いる。ホールダ４にはセンサ３と反対側の端面に二列の
穴５を設けており、それぞれの穴５に図示しない固定部
に接続する案内棒６が嵌挿され、ホールダ４が案内棒６
に案内されて往復動可能にしている。なお二本の案内棒
６によりホールダ４の回動を防止している。また案内棒
６にはホールダ４の穴５側に案内棒６を包んで案内棒６
に沿って往復動可能なアーム７が設けられている。アー
ム７には板ばね８の一方の端部８ａが止めねじにより取
付けられ、さらに仮ばねの他方の端部８ｂとホールダ４
のセンサ３の反対側の端部４ｂとにまたがってブラケッ
ト９が止めねじにより取付けられている。 なおアーム７は図示しない固定回転部で回転する送り手
段としての送りねしＩＯに結合されている。 センサ送り装置１２は上記のような構造により構成され
る。 したがってセンサ送り装置１２の送りねじ１０を回転さ
せてアーム７を、例えば図において右方向に移動させれ
ば、アーム７に板ばね８とブラケット９とを介して結合
されたホールダ４は右方向に移動する。したがってケー
ス１を測定面１１に載置し、触針が測定面１１を移動す
るようにセンサ３を配すればホールダ４の移動とともに
測定面１１に沿って移動し、センサ３の触針は測定面の
うねりに沿って動き、表面の平面度が平面度測定装置に
より表示される。なお、この表示にはうねりに随伴する
粗さも測定されている。この場合送り手段は、例えば送
りねじ等の製作誤差や組立誤差により生じる送り手段の
振れは板ばね８の撓みにより吸収されてホールダ４の端
面に取付けられたセンサ３に伝達されない、このためセ
ンサ３は正確に測定面ｌｌ上を移動する。またホールダ
４は案内棒６に案内されて移動するので、センサ３は案
内棒６の案内面を基準面として移動する。このためセン
サ３の触針が動いて表示されたうねりは前記の案内面が
基準面として測定される。 なお、本実施例ではセンサ３のプラグ３ａがホールダ４
の端面から深く挿入されているので、この場所を避ける
ためブラケット９を介して板ばね８を取付けたが、ブラ
ケットを取除いて直接板ばね８の端部８ｂを間隔片を介
してホールダ４のセンサ３側の端部に取付けても同じ作
用が得られる。
置の部分断面図、第２図は第１図の部分平面図、第３図
は第１図のＡ−Ａ断面図である。第１図ないし第３図に
おいて、１は端面に開口１ａを有する断面Ｕ字形のケー
スである。平面度を測定するセンサ３はケースｌの開口
１ａから突出した位置に配され、ホールダ４の端面にプ
ラグ３ａを挿入して保持されている。なおセンサ３には
図示しないが物体の平面度を測定する触針が設けられて
いる。ホールダ４にはセンサ３と反対側の端面に二列の
穴５を設けており、それぞれの穴５に図示しない固定部
に接続する案内棒６が嵌挿され、ホールダ４が案内棒６
に案内されて往復動可能にしている。なお二本の案内棒
６によりホールダ４の回動を防止している。また案内棒
６にはホールダ４の穴５側に案内棒６を包んで案内棒６
に沿って往復動可能なアーム７が設けられている。アー
ム７には板ばね８の一方の端部８ａが止めねじにより取
付けられ、さらに仮ばねの他方の端部８ｂとホールダ４
のセンサ３の反対側の端部４ｂとにまたがってブラケッ
ト９が止めねじにより取付けられている。 なおアーム７は図示しない固定回転部で回転する送り手
段としての送りねしＩＯに結合されている。 センサ送り装置１２は上記のような構造により構成され
る。 したがってセンサ送り装置１２の送りねじ１０を回転さ
せてアーム７を、例えば図において右方向に移動させれ
ば、アーム７に板ばね８とブラケット９とを介して結合
されたホールダ４は右方向に移動する。したがってケー
ス１を測定面１１に載置し、触針が測定面１１を移動す
るようにセンサ３を配すればホールダ４の移動とともに
測定面１１に沿って移動し、センサ３の触針は測定面の
うねりに沿って動き、表面の平面度が平面度測定装置に
より表示される。なお、この表示にはうねりに随伴する
粗さも測定されている。この場合送り手段は、例えば送
りねじ等の製作誤差や組立誤差により生じる送り手段の
振れは板ばね８の撓みにより吸収されてホールダ４の端
面に取付けられたセンサ３に伝達されない、このためセ
ンサ３は正確に測定面ｌｌ上を移動する。またホールダ
４は案内棒６に案内されて移動するので、センサ３は案
内棒６の案内面を基準面として移動する。このためセン
サ３の触針が動いて表示されたうねりは前記の案内面が
基準面として測定される。 なお、本実施例ではセンサ３のプラグ３ａがホールダ４
の端面から深く挿入されているので、この場所を避ける
ためブラケット９を介して板ばね８を取付けたが、ブラ
ケットを取除いて直接板ばね８の端部８ｂを間隔片を介
してホールダ４のセンサ３側の端部に取付けても同じ作
用が得られる。
以上の説明から明らかなように、本発明によればセンサ
を保持するホールダが案内棒に案内され、かつ仮ばねを
介して接続された送り手段により移動することができる
ようにしたことにより、送り手段の製作誤差や組立誤差
によって生じる送り手段の振れをセンサに与えず、かつ
案内棒の案内面が基準面となるので、物体の表面のうね
りは触針により正確に測定でき、前記基準面からの平面
度として得ることができる。
を保持するホールダが案内棒に案内され、かつ仮ばねを
介して接続された送り手段により移動することができる
ようにしたことにより、送り手段の製作誤差や組立誤差
によって生じる送り手段の振れをセンサに与えず、かつ
案内棒の案内面が基準面となるので、物体の表面のうね
りは触針により正確に測定でき、前記基準面からの平面
度として得ることができる。
第１図は本発明の実施例による平面度測定装置のセンサ
送り装置の部分断面図、第２図は第１図の部分平面図、
第３図は第１図のＡ−Ａ断面図である。 にケース、１ａ：開口、３：センサ、４：ホールダ、５
：穴、６：案内棒、７：アーム、８：板ばね、９ニブラ
ケツト、１０：送り手段、１２：セン第２図 第３図
送り装置の部分断面図、第２図は第１図の部分平面図、
第３図は第１図のＡ−Ａ断面図である。 にケース、１ａ：開口、３：センサ、４：ホールダ、５
：穴、６：案内棒、７：アーム、８：板ばね、９ニブラ
ケツト、１０：送り手段、１２：セン第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）端面に開口を有するケース内に配された送り手段に
より、前記開口から突出して配されたセンサを測定すべ
き物体上に移動させて物体の平面度を測定する平面度測
定装置のセンサ送り装置において、前記センサを端面に
て保持したホールダと、該ホールダの前記センサと反対
側の端面に設けた穴に嵌挿される案内棒と、該案内棒を
包んで往復動可能なアームと、該アームに長手方向の一
方の端部を、前記ホールダに他方の端部を取付けた板ば
ねとからなり、前記アームを送り手段に結合し、前記ホ
ールダを案内棒に案内させて前記センサを移動可能にし
たことを特徴とする平面度測定装置のセンサ送り装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載のセンサ送り装置におい
て、前記板ばねは該板ばねの前記他方の端部と前記ホー
ルダのセンサ側と反対側の端部とにわたって設けられた
ブラケットを介してホールダに取付けられることを特徴
とする平面度測定装置のセンサ送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3890386A JPS62195501A (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 | 平面度測定装置のセンサ送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3890386A JPS62195501A (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 | 平面度測定装置のセンサ送り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62195501A true JPS62195501A (ja) | 1987-08-28 |
Family
ID=12538150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3890386A Pending JPS62195501A (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 | 平面度測定装置のセンサ送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62195501A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5045293U (ja) * | 1973-08-24 | 1975-05-07 |
-
1986
- 1986-02-24 JP JP3890386A patent/JPS62195501A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5045293U (ja) * | 1973-08-24 | 1975-05-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4571838A (en) | Direct readout centerline measuring device and process | |
| JPS62195502A (ja) | 粗さ測定装置のセンサ送り装置 | |
| JPH11118405A (ja) | ハイトゲージ | |
| JPH038968Y2 (ja) | ||
| CN223841109U (zh) | 一种用于检测螺母中径的三点接触式量具 | |
| CN220455425U (zh) | 一种薄板电阻测量装置 | |
| JPS6322484Y2 (ja) | ||
| SU1401247A1 (ru) | Высотомер | |
| JP2551619Y2 (ja) | 熱機械分析用試料取付チャック | |
| JPH032807Y2 (ja) | ||
| JPH044163Y2 (ja) | ||
| JPH0124567Y2 (ja) | ||
| JPH0316002U (ja) | ||
| JPS58138058U (ja) | パイプの引張試験用けがき治具 | |
| JPH0326403Y2 (ja) | ||
| JPH074606Y2 (ja) | Ｌｅｄアレイの保持機構 | |
| JPH074607Y2 (ja) | Ｌｅｄアレイの保持機構 | |
| JPH0330807Y2 (ja) | ||
| JPH0592611U (ja) | Ｖ溝とｖ基準を使用する平行度測定機 | |
| JPS58183680U (ja) | カセットプレッシャパッド圧着力測定装置 | |
| JPS5814105U (ja) | 角度測定装置 | |
| JPH0669705U (ja) | てこ式孔径測定用ダイヤルゲージ | |
| JPH01137401U (ja) | ||
| SU1601505A1 (ru) | Устройство дл измерени отклонени шага между пазами детали | |
| JPS60120314U (ja) | 角度測定装置 |