JPS62197037U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62197037U JPS62197037U JP8513886U JP8513886U JPS62197037U JP S62197037 U JPS62197037 U JP S62197037U JP 8513886 U JP8513886 U JP 8513886U JP 8513886 U JP8513886 U JP 8513886U JP S62197037 U JPS62197037 U JP S62197037U
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- JP
- Japan
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- pressure introduction
- pressure
- introduction port
- bent
- port
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例に係る変形圧力導入ポ
ート付き圧力センサの縦断面図、第2図は従来の
圧力センサの縦断面図である。 1……圧力導入ポート、2……キヤツプ、3…
…大気圧導入ポート、4……リード、5……ダイ
ヤフラム形半導体チツプ、6……ガラス部材、7
……曲折形圧力導入ポート、8……底板、9……
圧力導入室。
ート付き圧力センサの縦断面図、第2図は従来の
圧力センサの縦断面図である。 1……圧力導入ポート、2……キヤツプ、3…
…大気圧導入ポート、4……リード、5……ダイ
ヤフラム形半導体チツプ、6……ガラス部材、7
……曲折形圧力導入ポート、8……底板、9……
圧力導入室。
Claims (1)
- 圧力検出部を内蔵した圧力導入室に連通される
圧力導入ポートを曲折せしめ、外部から侵入する
飛散物質を前記圧力導入ポート内で受け止めるよ
うにしたことを特徴とする変形ポート型圧力セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8513886U JPS62197037U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8513886U JPS62197037U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62197037U true JPS62197037U (ja) | 1987-12-15 |
Family
ID=30940270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8513886U Pending JPS62197037U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62197037U (ja) |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP8513886U patent/JPS62197037U/ja active Pending