JPS6221950Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6221950Y2 JPS6221950Y2 JP1979085670U JP8567079U JPS6221950Y2 JP S6221950 Y2 JPS6221950 Y2 JP S6221950Y2 JP 1979085670 U JP1979085670 U JP 1979085670U JP 8567079 U JP8567079 U JP 8567079U JP S6221950 Y2 JPS6221950 Y2 JP S6221950Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- electrode plate
- holding electrode
- plate
- ceramic element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は振動センサに関するもので、固定され
た圧電セラミツク素子にクラツクが発生している
か否かが容易に確認できる振動センサを提供する
ものである。
た圧電セラミツク素子にクラツクが発生している
か否かが容易に確認できる振動センサを提供する
ものである。
高い周波数の帯域（１〜20KHz）における加速
度の計測を主目的とし、片持梁構造の圧電セラミ
ツク素子でセンサを構成した場合、各部品の精度
は高いものが要求される。このために振動センサ
の主体をなす圧電セラミツク素子を固定する方法
にも特別な配慮を施す必要がある。たとえば接着
剤のみで固定する方法では、接着剤が十分な威力
を発揮しない場合や温度などの環境条件によつて
接着力が劣化するなどの原因により、素子が基板
からはずれるなどのトラブルが発生することがあ
る。また圧電セラミツク素子を金属の素子押え電
極板で機械的に締め付け、固定する方法は信頼性
の点からすぐれているが、圧電セラミツク素子を
機械的に締め付ける圧力や位置が適切でないと、
圧電セラミツク素子に微細なクラツクを発生させ
てしまうことがある。このようなクラツクは素子
押え電極板の下に発生し、目視検査できないなど
の不便があつた。
度の計測を主目的とし、片持梁構造の圧電セラミ
ツク素子でセンサを構成した場合、各部品の精度
は高いものが要求される。このために振動センサ
の主体をなす圧電セラミツク素子を固定する方法
にも特別な配慮を施す必要がある。たとえば接着
剤のみで固定する方法では、接着剤が十分な威力
を発揮しない場合や温度などの環境条件によつて
接着力が劣化するなどの原因により、素子が基板
からはずれるなどのトラブルが発生することがあ
る。また圧電セラミツク素子を金属の素子押え電
極板で機械的に締め付け、固定する方法は信頼性
の点からすぐれているが、圧電セラミツク素子を
機械的に締め付ける圧力や位置が適切でないと、
圧電セラミツク素子に微細なクラツクを発生させ
てしまうことがある。このようなクラツクは素子
押え電極板の下に発生し、目視検査できないなど
の不便があつた。
本考案はこの欠点を除去するため素子押え電極
板に穴を設けて圧電セラミツク素子のクラツク発
生状況を検査可能としたものである。以下図面の
一実施例により説明する。
板に穴を設けて圧電セラミツク素子のクラツク発
生状況を検査可能としたものである。以下図面の
一実施例により説明する。
第１図および第２図においては１は板状の圧電
セラミツク素子、２は素子押え電極板３に開けた
穴、３は素子固定板５とともに圧電セラミツク素
子１をはさみ込んでいる板状の素子押え電極板で
あり、この素子押え電極板３の圧電セラミツク素
子１の上面に接する部分には穴２が形成されてい
る。板状の素子押え電極板３は基台８と×印（ポ
イント４など）で溶接されている。６は信号を取
出す信号線、７は銅箔をはつた素子固定板５を押
えるストツパー部分である。９は支持台、１０は
ねじ溝を設けた取付部、１１はケースである。
セラミツク素子、２は素子押え電極板３に開けた
穴、３は素子固定板５とともに圧電セラミツク素
子１をはさみ込んでいる板状の素子押え電極板で
あり、この素子押え電極板３の圧電セラミツク素
子１の上面に接する部分には穴２が形成されてい
る。板状の素子押え電極板３は基台８と×印（ポ
イント４など）で溶接されている。６は信号を取
出す信号線、７は銅箔をはつた素子固定板５を押
えるストツパー部分である。９は支持台、１０は
ねじ溝を設けた取付部、１１はケースである。
この構成において振動センサ全体に振動が加わ
ると圧電セラミツク素子１が振動し、圧電効果に
より圧電セラミツク素子１に電圧が発生して信号
線６により信号の有無を検知することができる。
またこの構成により本振動センサを製造する際に
効果を発揮する。すなわち圧電セラミツク素子１
を板状の素子押え電極板３と、素子固定板５との
間で、はさみ込みながら板状の素子押え電極板３
と、基台８の間で溶接を行なう行程において、溶
接時の高温および圧力などによつて圧電セラミツ
ク素子１にクラツクが生ずる故障がおきる場合が
ある。板状の素子押え電極板３に開けられた穴２
はそのクラツク発生故障を目視もしくは顕微鏡に
よつて検査するのに非常に有効である。もしも２
の穴がない場合、圧電セラミツク素子１の電素子
押え極板３と接する部分に発生したクラツクはＸ
線透視装置などの高価な装置を用いる以外、通常
の方法で検査することは不可能である。
ると圧電セラミツク素子１が振動し、圧電効果に
より圧電セラミツク素子１に電圧が発生して信号
線６により信号の有無を検知することができる。
またこの構成により本振動センサを製造する際に
効果を発揮する。すなわち圧電セラミツク素子１
を板状の素子押え電極板３と、素子固定板５との
間で、はさみ込みながら板状の素子押え電極板３
と、基台８の間で溶接を行なう行程において、溶
接時の高温および圧力などによつて圧電セラミツ
ク素子１にクラツクが生ずる故障がおきる場合が
ある。板状の素子押え電極板３に開けられた穴２
はそのクラツク発生故障を目視もしくは顕微鏡に
よつて検査するのに非常に有効である。もしも２
の穴がない場合、圧電セラミツク素子１の電素子
押え極板３と接する部分に発生したクラツクはＸ
線透視装置などの高価な装置を用いる以外、通常
の方法で検査することは不可能である。
またこの穴２は接着剤を流し込むことによつ
て、圧電セラミツク素子１と板状の素子押え電極
板３とを確実に固定し、振動により圧電セラミツ
ク素子１が抜け出てくるのを防止するなどの用途
にも使うことができ大きな利点がある。
て、圧電セラミツク素子１と板状の素子押え電極
板３とを確実に固定し、振動により圧電セラミツ
ク素子１が抜け出てくるのを防止するなどの用途
にも使うことができ大きな利点がある。
また素子押え電極板３に設ける穴２は第３図イ
〜ニに示す２ａ〜２ｄのように種々の形状のもの
とすることができる。
〜ニに示す２ａ〜２ｄのように種々の形状のもの
とすることができる。
上記実施例より明らかなように本考案によれば
圧電セラミツク振動子を確実に固定することがで
きるとともに、その圧電セラミツク振動子に生じ
たクラツクを簡単かつ確実に検出することがで
き、実用的効果の大きいものである。
圧電セラミツク振動子を確実に固定することがで
きるとともに、その圧電セラミツク振動子に生じ
たクラツクを簡単かつ確実に検出することがで
き、実用的効果の大きいものである。
第１図は本考案の一実施例による振動センサの
要部の上面図、第２図は同側断面図、第３図イ〜
ニはそれぞれ他の実施例の要部の上面図である。 １……圧電セラミツク素子、２……穴、３……
素子押え電極板、５……素子固定板、８……基
台。
要部の上面図、第２図は同側断面図、第３図イ〜
ニはそれぞれ他の実施例の要部の上面図である。 １……圧電セラミツク素子、２……穴、３……
素子押え電極板、５……素子固定板、８……基
台。
Claims (1)
- 圧電セラミツク素子の端部を挟持する素子押え
電極板と素子固定板とを有し、上記素子押え電極
板の上記圧電セラミツク素子上面との接触面に穴
を形成したことを特徴とする振動センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1979085670U JPS6221950Y2 (ja) | 1979-06-21 | 1979-06-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1979085670U JPS6221950Y2 (ja) | 1979-06-21 | 1979-06-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS563434U JPS563434U (ja) | 1981-01-13 |
| JPS6221950Y2 true JPS6221950Y2 (ja) | 1987-06-04 |
Family
ID=29318864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1979085670U Expired JPS6221950Y2 (ja) | 1979-06-21 | 1979-06-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6221950Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2801969C2 (de) * | 1978-01-18 | 1982-11-04 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Sensor für Schwingungen |
-
1979
- 1979-06-21 JP JP1979085670U patent/JPS6221950Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS563434U (ja) | 1981-01-13 |
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