JPH0356130U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0356130U JPH0356130U JP11726289U JP11726289U JPH0356130U JP H0356130 U JPH0356130 U JP H0356130U JP 11726289 U JP11726289 U JP 11726289U JP 11726289 U JP11726289 U JP 11726289U JP H0356130 U JPH0356130 U JP H0356130U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hot plate
- top view
- substrate
- heats
- pins
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Electric Stoves And Ranges (AREA)
Description
第１図Ａは本考案の一実施例の上側ヒーターを
ふくむ部分の上面図、第１図Ｂは該一実施例の下
側ヒーターをふくむ部分の上面図、第１図Ｃは第
１図Ａ及びＢのａ−ａ線断面図、第２図Ａは本考
案の他の実施例の上側ヒーターをふくむ部分の上
面図、第２図Ｂは該他の実施例の下側ヒーターを
ふくむ部分の上面図、第２図Ｃは第２図Ｂ及びＣ
のａ−ａ線断面図、第３図Ａは従来装置の上面図
、第３図Ｂは第３図Ａのａ−ａ線断面図である。 １０１，２０１……上側ヒーター、１０２，２
０２，３０２……下側ヒーター、１０３，２０３
……上側ヒーター支持台、１０４，２０４，３０
４……下側ヒーター支持台、１０５，２０５，３
０５……ウエハー支持ピン、１０６，２０６……
ガス導入孔、１０７，２０７，３０７……排気孔
、１１０，２１０，３１０……ウエハー。
ふくむ部分の上面図、第１図Ｂは該一実施例の下
側ヒーターをふくむ部分の上面図、第１図Ｃは第
１図Ａ及びＢのａ−ａ線断面図、第２図Ａは本考
案の他の実施例の上側ヒーターをふくむ部分の上
面図、第２図Ｂは該他の実施例の下側ヒーターを
ふくむ部分の上面図、第２図Ｃは第２図Ｂ及びＣ
のａ−ａ線断面図、第３図Ａは従来装置の上面図
、第３図Ｂは第３図Ａのａ−ａ線断面図である。 １０１，２０１……上側ヒーター、１０２，２
０２，３０２……下側ヒーター、１０３，２０３
……上側ヒーター支持台、１０４，２０４，３０
４……下側ヒーター支持台、１０５，２０５，３
０５……ウエハー支持ピン、１０６，２０６……
ガス導入孔、１０７，２０７，３０７……排気孔
、１１０，２１０，３１０……ウエハー。
Claims (1)
- 半導体基板の一側をピンで水平に支えて加熱す
るホツトプレートにおいて、前記基板の一側及び
他側の両方に加熱源を有することを特徴とするホ
ツトプレート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11726289U JPH0356130U (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11726289U JPH0356130U (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0356130U true JPH0356130U (ja) | 1991-05-30 |
Family
ID=31665483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11726289U Pending JPH0356130U (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0356130U (ja) |
-
1989
- 1989-10-04 JP JP11726289U patent/JPH0356130U/ja active Pending