JPS62249807A - Ｉｃハンドラ - Google Patents
ＩｃハンドラInfo
- Publication number
- JPS62249807A JPS62249807A JP9216986A JP9216986A JPS62249807A JP S62249807 A JPS62249807 A JP S62249807A JP 9216986 A JP9216986 A JP 9216986A JP 9216986 A JP9216986 A JP 9216986A JP S62249807 A JPS62249807 A JP S62249807A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- chute
- magnet
- handler
- speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chutes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＩＣハンドラ、特に、シェードの改良に関し
、例えば、半導体装置の製造工程において、選別検査を
行うＩＣハンドラに利用して有効なものに関する。
、例えば、半導体装置の製造工程において、選別検査を
行うＩＣハンドラに利用して有効なものに関する。
半導体装置の製造工程において、良品、不良品の選別検
査を行うＩＣハンドラとして、ＩＣの電気的特性を測定
する測定部と、測定部にＩＣを供給するローダ部と、測
定部からＩＣを排出するアンローダ部とを備えており、
ＩＣの自重を利用してガイドレール上を滑落させること
により、供給および排出が行われるように構成されてい
るものがある。そして、自由滑落に伴うＩＣのｉ１突に
よる割れや欠は等の損傷を防止するため、車輪形状のダ
ンパが滑落途中でＩＣに接触して滑落速度を減少させる
ように設けられている。
査を行うＩＣハンドラとして、ＩＣの電気的特性を測定
する測定部と、測定部にＩＣを供給するローダ部と、測
定部からＩＣを排出するアンローダ部とを備えており、
ＩＣの自重を利用してガイドレール上を滑落させること
により、供給および排出が行われるように構成されてい
るものがある。そして、自由滑落に伴うＩＣのｉ１突に
よる割れや欠は等の損傷を防止するため、車輪形状のダ
ンパが滑落途中でＩＣに接触して滑落速度を減少させる
ように設けられている。
なお、ＩＣハンドラを述べである例としては、株式会社
工業調査会発行［電子材料１９８４年１１月号別冊」昭
和５９年１１月２０日発行 Ｐ２Ｏ３〜２０８がある。
工業調査会発行［電子材料１９８４年１１月号別冊」昭
和５９年１１月２０日発行 Ｐ２Ｏ３〜２０８がある。
このようなＩＣハンドラにおいては、ダンパがＩＣに接
触して滑落速度を減少させるように構成されているため
、次のような問題点があることが、本発明者によって明
らかになった。
触して滑落速度を減少させるように構成されているため
、次のような問題点があることが、本発明者によって明
らかになった。
ｆｌｌＩｃが薄い場合１．ダンパがＩＣに接触せず、滑
るスピードが早すぎてＩＣとＩＣ，ＩＣと装置の一部と
が衝突し、ＩＣの損傷が発生する。
るスピードが早すぎてＩＣとＩＣ，ＩＣと装置の一部と
が衝突し、ＩＣの損傷が発生する。
＋２１１ｃが厚い場合、ＩＣがダンパによって停止され
てしまう。
てしまう。
＋３１１Ｃの厚さにばらつきがあるため、前記［１１、
（２）の理由により、ダンパの高さ位置調整を頻繁に行
う必要がある。
（２）の理由により、ダンパの高さ位置調整を頻繁に行
う必要がある。
（４）機構的にダンパを使用することができない場合が
ある。
ある。
本発明の目的は、ＩＣに非接触にて速度を減少させるこ
とができるＩＣハンドラを提供することにある。
とができるＩＣハンドラを提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。
を説明すれば、次の通りである。
すなわち、搬送路に磁石を被搬送物に磁力を付勢するこ
とにより、被搬送物の速度を減少させるように設けたも
のである。
とにより、被搬送物の速度を減少させるように設けたも
のである。
前記手段によれば、被搬送物は磁力により非接触にて速
度を減少されるため、被搬送物の厚さの変動による速度
減少制御の変動が抑制されることになる。
度を減少されるため、被搬送物の厚さの変動による速度
減少制御の変動が抑制されることになる。
第１図は本発明の一実施例であるＩＣハンドラを示す概
略側面図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う矢視図、第
３図は第２図のｍ−ｎｒ線に沿う断面図である。
略側面図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う矢視図、第
３図は第２図のｍ−ｎｒ線に沿う断面図である。
一ヘ；実施例において、このＩＣハンドラは、デュアル
・イン・ライン・セラミック・パッケージ（ＤＩＬＣ）
型のＩＣＩについて良品、不良品の選別検査を実施する
ように構成されており、ＩＣＩの電気的特性を測定する
測定部・２と、測定部２にＩＣ１を供給するローダ部３
と、測定部２から測定済みの［Ｃ１を排出するアンロー
ダ部４とを備えている。測定部２、ローダ部３およびア
ンローダ部４は処理を効率的に行うため、多列構造に構
成されているが、便宜上１列について説明する。
・イン・ライン・セラミック・パッケージ（ＤＩＬＣ）
型のＩＣＩについて良品、不良品の選別検査を実施する
ように構成されており、ＩＣＩの電気的特性を測定する
測定部・２と、測定部２にＩＣ１を供給するローダ部３
と、測定部２から測定済みの［Ｃ１を排出するアンロー
ダ部４とを備えている。測定部２、ローダ部３およびア
ンローダ部４は処理を効率的に行うため、多列構造に構
成されているが、便宜上１列について説明する。
ローダ部３にはシュート５が測定部２にかけて下向きに
傾斜するように架設されており、ローダ部３は測定すべ
きＩＣＩを実マガジン６からシュート５に順次払い出し
て行くように構成されている。シュート５の途中にはブ
リヒータ７が下方に配設されており、このヒータ７はＩ
ＣＩを通過な温度に予熱するように構成されている。
傾斜するように架設されており、ローダ部３は測定すべ
きＩＣＩを実マガジン６からシュート５に順次払い出し
て行くように構成されている。シュート５の途中にはブ
リヒータ７が下方に配設されており、このヒータ７はＩ
ＣＩを通過な温度に予熱するように構成されている。
測定部２にはＩＣ１のアウタリードを挿入されて電気的
に接続するソケット８が設けられており、ソケット８は
テスタ（図示せず）とＩＣとを電気的に接続させるよう
に構成されている。
に接続するソケット８が設けられており、ソケット８は
テスタ（図示せず）とＩＣとを電気的に接続させるよう
に構成されている。
アンローダ部４には良品ストッカ９と不良品ストッカ１
０とがそれぞれ配設されているとともに、シュート１１
が測定部２から良品ストフカ９にかけて下向きに傾斜す
るように架設されている。シュート１１の途中には分類
装置１２が設けられており、分類装置１２は良品と不良
品とを各スト７カに振り分けるように構成されている。
０とがそれぞれ配設されているとともに、シュート１１
が測定部２から良品ストフカ９にかけて下向きに傾斜す
るように架設されている。シュート１１の途中には分類
装置１２が設けられており、分類装置１２は良品と不良
品とを各スト７カに振り分けるように構成されている。
また、アンローダ部４のシュート１１における通数箇所
には磁石１３が、シュート１１の下面において横切る方
向に配設されており、磁石１３はその磁力をＩＣＩのア
ウタリードに付勢させることにより、ＩＣＩのシュート
１１での滑落速度を停止させることなく減少させるよう
に構成されている。
には磁石１３が、シュート１１の下面において横切る方
向に配設されており、磁石１３はその磁力をＩＣＩのア
ウタリードに付勢させることにより、ＩＣＩのシュート
１１での滑落速度を停止させることなく減少させるよう
に構成されている。
次に作用を説明する。
ローダ部３において、実マガジン６に収容されたＩＣＩ
はシェード５上に払い出され、シュート５上を滑落して
測定部２に順次供給されて行く。
はシェード５上に払い出され、シュート５上を滑落して
測定部２に順次供給されて行く。
そして、シュート５のブリヒータ７を通過する間測定部
２において、ＩＣＩはソケット部８に装着されることに
より、ソケット部８を介してテスタと電気的に接続され
る。そして、テスタとＩＣ１との間で交信が交わされる
ことにより、所定の電気的特性が測定される。
２において、ＩＣＩはソケット部８に装着されることに
より、ソケット部８を介してテスタと電気的に接続され
る。そして、テスタとＩＣ１との間で交信が交わされる
ことにより、所定の電気的特性が測定される。
測定が終了したＩＣＩはアンローダ部４のシュート部１
１に順次排出されて行き、分類装置１２において、測定
部２における測定結果に基づいて良品、不良品に分類さ
れた後、良品ストッカ９および不良品ストッカ１０にそ
れぞれ収容される。
１に順次排出されて行き、分類装置１２において、測定
部２における測定結果に基づいて良品、不良品に分類さ
れた後、良品ストッカ９および不良品ストッカ１０にそ
れぞれ収容される。
ここで、ＩＣＩのパッケージがセラミックを用いて形成
されている場合、アンローダ部４のシュート部１１をＩ
ＣＩが滑落して行く途中で前のＩＣ１等に衝突すると、
セラミックは脆いため、その衝撃によってパッケージに
割れや欠は等のような損傷が発生する。そこで、ＩＣ１
の滑落速度を減少させて衝突時の衝撃を緩和させること
により、パッケージの損傷を防止する必要がある。
されている場合、アンローダ部４のシュート部１１をＩ
ＣＩが滑落して行く途中で前のＩＣ１等に衝突すると、
セラミックは脆いため、その衝撃によってパッケージに
割れや欠は等のような損傷が発生する。そこで、ＩＣ１
の滑落速度を減少させて衝突時の衝撃を緩和させること
により、パッケージの損傷を防止する必要がある。
ところで、この滑落速度を減少させる手段として、車輪
形状のダンパをＩＣに接触させる構成があるが、前述の
ような問題点がある。
形状のダンパをＩＣに接触させる構成があるが、前述の
ような問題点がある。
本実施例においては、アンローダ部４におけるシェード
１１の途中に磁石１３を配することにより、磁力によっ
てＩＣＩに非接触にてＩＣＩの滑落速度を減少させるよ
うにしたため、前述のような支障は発生しない、すなわ
ち、ＩＣＩのアウタリードは４２７０イ等のような強磁
性体を用いて形成されているため、シュート１１上を滑
落して行く途中において、第３図に破線で示されている
磁路により磁石１３の磁力によってそのアウタリードを
吸引されることになる。つまり、この吸引力によりＩＣ
Ｉは重力に抗する力を付勢されるため、自由滑落速度を
減少することになる。そして、この吸引力はＩＣＩに非
接触にて付勢されるため、ＩＣＩの厚さやそのばらつき
等に殆ど影響されない、その結果、ダンパにおける前述
のような支障は未然に回避されることになる。
１１の途中に磁石１３を配することにより、磁力によっ
てＩＣＩに非接触にてＩＣＩの滑落速度を減少させるよ
うにしたため、前述のような支障は発生しない、すなわ
ち、ＩＣＩのアウタリードは４２７０イ等のような強磁
性体を用いて形成されているため、シュート１１上を滑
落して行く途中において、第３図に破線で示されている
磁路により磁石１３の磁力によってそのアウタリードを
吸引されることになる。つまり、この吸引力によりＩＣ
Ｉは重力に抗する力を付勢されるため、自由滑落速度を
減少することになる。そして、この吸引力はＩＣＩに非
接触にて付勢されるため、ＩＣＩの厚さやそのばらつき
等に殆ど影響されない、その結果、ダンパにおける前述
のような支障は未然に回避されることになる。
ここで、磁石１３によってＩＣＩが停止されてしまうと
、シュート１１が詰る状態になるばかりでなく、ＩＣ同
士の衝突の原因になるため、磁石１３の磁力はＩＣの停
止が発生しないように設定すべきである。
、シュート１１が詰る状態になるばかりでなく、ＩＣ同
士の衝突の原因になるため、磁石１３の磁力はＩＣの停
止が発生しないように設定すべきである。
前記実施例によれば次の効果が得られる。
［１１シュートに磁石をその磁力によりｔＣのアウタリ
ードを吸引するように配設することにより、ｔＣのシュ
ートにおける滑落速度を減少させることができるため、
ＩＣの衝突による損傷を防止することができる。
ードを吸引するように配設することにより、ｔＣのシュ
ートにおける滑落速度を減少させることができるため、
ＩＣの衝突による損傷を防止することができる。
（２） 磁石の磁力によってＩＣの滑落速度を減少さ
せることにより、ＩＣに非接触にて滑落速度を減少させ
ることができるため、ＩＣの厚さやそのばらつきに殆ど
影響されずに確実にＩＣのｔＥ突による損傷を防止する
ことができるとともに、調整作業頻度を減少させること
ができる。
せることにより、ＩＣに非接触にて滑落速度を減少させ
ることができるため、ＩＣの厚さやそのばらつきに殆ど
影響されずに確実にＩＣのｔＥ突による損傷を防止する
ことができるとともに、調整作業頻度を減少させること
ができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
例えば、磁石は永久磁石を使用するに限らず、電磁石を
使用してもよい。
使用してもよい。
磁石はシュートの途中に間欠的に配設するに限らず、シ
ュートに長手方向に連続的に配設してもよい。
ュートに長手方向に連続的に配設してもよい。
搬送路はシュートに限らず、ＩＣがエアの噴射力によっ
て滑動するように構成されたガイドレール等であっても
よい。
て滑動するように構成されたガイドレール等であっても
よい。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
搬送路に磁石をその磁力によって被搬送物を吸引するよ
うに配設することにより、被搬送物の搬送路における速
度を減少させることができるため、被搬送物の衝突によ
る損傷を防止することができる。
うに配設することにより、被搬送物の搬送路における速
度を減少させることができるため、被搬送物の衝突によ
る損傷を防止することができる。
第１図は本発明の一実施例であるＩＣハンドラを示す概
略側面図、 ）２図は第１図の■−■線に沿う矢視図、第３図は第２
図のｍ−ｍ線に沿う断面図である。 ｌ・・・ＩＣ（被搬送物）、２・・・測定部、３・・・
ローダ部、４・・・アンローダ部、５・・・シュート、
６・・・実マガジン、７・・・プリヒータ、８・・・ソ
ケット、９・・・良品ストッカ、１０・・・不良品スト
７カ、１１・・・シュート、１２・・・分類装置、１３
・・・磁石。 叉ミ、、。 ／θ
略側面図、 ）２図は第１図の■−■線に沿う矢視図、第３図は第２
図のｍ−ｍ線に沿う断面図である。 ｌ・・・ＩＣ（被搬送物）、２・・・測定部、３・・・
ローダ部、４・・・アンローダ部、５・・・シュート、
６・・・実マガジン、７・・・プリヒータ、８・・・ソ
ケット、９・・・良品ストッカ、１０・・・不良品スト
７カ、１１・・・シュート、１２・・・分類装置、１３
・・・磁石。 叉ミ、、。 ／θ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被搬送物が通過する搬送路に磁石が被搬送物に磁力
を付勢することにより、被搬送物の搬送速度を減少させ
るように設けられていることを特徴とするＩＣハンドラ
。 ２、搬送路が傾斜されることにより、被搬送物が滑落す
るように構成されていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のＩＣハンドラ。 ３、磁石が、被搬送物を停止させないように構成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＩＣ
ハンドラ。 ４、磁石が、搬送路の搬送方向に沿って間欠的に配設さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の
ＩＣハンドラ。 ５、磁石が、被搬送物の磁性体部に可及的に近接するよ
うに構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のＩＣハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9216986A JPS62249807A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | Ｉｃハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9216986A JPS62249807A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | Ｉｃハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62249807A true JPS62249807A (ja) | 1987-10-30 |
Family
ID=14046928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9216986A Pending JPS62249807A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | Ｉｃハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62249807A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015124040A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | 株式会社村田製作所 | 物体の回収装置 |
| JP2016175150A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 倉敷紡績株式会社 | 物品取上用斜面台および物品取上方法 |
-
1986
- 1986-04-23 JP JP9216986A patent/JPS62249807A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015124040A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | 株式会社村田製作所 | 物体の回収装置 |
| JP2016175150A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 倉敷紡績株式会社 | 物品取上用斜面台および物品取上方法 |
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