JPH0340942B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0340942B2 JPH0340942B2 JP59067417A JP6741784A JPH0340942B2 JP H0340942 B2 JPH0340942 B2 JP H0340942B2 JP 59067417 A JP59067417 A JP 59067417A JP 6741784 A JP6741784 A JP 6741784A JP H0340942 B2 JPH0340942 B2 JP H0340942B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyance
- vacuum suction
- preheater
- transport
- suction device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はICハンドラの搬送機構に係り、特に
IC検査ソケツトへのICの供給、および該IC検査
ソケツトからのICの送り出しに好適なような改
良した同期式の搬送機構に関するものである。
IC検査ソケツトへのICの供給、および該IC検査
ソケツトからのICの送り出しに好適なような改
良した同期式の搬送機構に関するものである。
ICハンドラはIC自動検査装置に組み込んで用
いられ、多数のICを順次に搬送して検査ソケツ
トに送りこみ、検査済のICを検査結果に従つて
分類して搬出する機器である。
いられ、多数のICを順次に搬送して検査ソケツ
トに送りこみ、検査済のICを検査結果に従つて
分類して搬出する機器である。
前記の検査ソケツトに送り込むICを所定の検
査条件の温度にするため、検査ソケツトの上流側
にプリヒータ若しくは恒温槽が設けられる。検査
ソケツトは、検査能率を上げる為に複数個設置さ
れる場合もある。また、前記のプリヒータは、検
査ソケツトにおける処理能率とバランスさせる
為、一般に複数列のレーンが設けられる。
査条件の温度にするため、検査ソケツトの上流側
にプリヒータ若しくは恒温槽が設けられる。検査
ソケツトは、検査能率を上げる為に複数個設置さ
れる場合もある。また、前記のプリヒータは、検
査ソケツトにおける処理能率とバランスさせる
為、一般に複数列のレーンが設けられる。
第１図は従来のICハンドラの１例におけるIC
検査ソケツト１と、４列のプリヒータ用搬送レー
ン２ａ〜２ｄと、不良品排出用アンローダ３と、
３列の分類搬送用レーン４ａ〜４ｃとの付近を説
明する為の概要的な斜視図である。
検査ソケツト１と、４列のプリヒータ用搬送レー
ン２ａ〜２ｄと、不良品排出用アンローダ３と、
３列の分類搬送用レーン４ａ〜４ｃとの付近を説
明する為の概要的な斜視図である。
矢印ａ方向に搬送されたICを受け取つて、こ
れを矢印ｂの如くIC検査ソケツトに供給する為
の真空吸着器５ａと、この真空吸着機５ａを矢印
ｂ方向に往復駆動する為のタイミングベルト６ａ
とよりなるIC供給搬送手段が設けられる。更に、
検査済のICを矢印ｃの如く分類搬送レーン４ａ
〜４ｃに搬送する為の真空吸着器５ｂおよびタイ
ミングベルト６ｂよりなるIC送り出し搬送手段
が設けられる。矢印ｄは分類搬送レーン４ａ〜４
ｃの搬送方向を示している。
れを矢印ｂの如くIC検査ソケツトに供給する為
の真空吸着器５ａと、この真空吸着機５ａを矢印
ｂ方向に往復駆動する為のタイミングベルト６ａ
とよりなるIC供給搬送手段が設けられる。更に、
検査済のICを矢印ｃの如く分類搬送レーン４ａ
〜４ｃに搬送する為の真空吸着器５ｂおよびタイ
ミングベルト６ｂよりなるIC送り出し搬送手段
が設けられる。矢印ｄは分類搬送レーン４ａ〜４
ｃの搬送方向を示している。
前記の真空吸着器５ａ，５ｂはそれぞれ昇降ロ
ツド５a-1，５b-1および真空吸着パツド５a-2，
５b-2を備えていて、該真空吸着器の真下にある
IC（図示せず）を吸着、持上げ、持ち下げ、開放
することができる。
ツド５a-1，５b-1および真空吸着パツド５a-2，
５b-2を備えていて、該真空吸着器の真下にある
IC（図示せず）を吸着、持上げ、持ち下げ、開放
することができる。
上記のように構成されたICハンドラ用の搬送
機構において、真空吸着器５ａで吸着保持した
ICをIC検査ステーシヨン１に供給する際、ミク
ロンオーダーの精密な位置合わせが困難であると
いう技術的不具合が有る。
機構において、真空吸着器５ａで吸着保持した
ICをIC検査ステーシヨン１に供給する際、ミク
ロンオーダーの精密な位置合わせが困難であると
いう技術的不具合が有る。
上記の不具合の原因は次記の如くである。即
ち、吸着保持したICを高い精度でIC検査ソケツ
ト１に供給する為(イ)真空吸着器５ａによつて吸着
される時点におけるIC（例えばプリヒータ用搬送
レーン２ｂの終点位置のIC９）の位置がミクロ
ンオーダーで規則されていなければならないが、
この位置で精密な位置規則をすることは極めて困
難である。(ロ)タイミングベルト６ａによつて真空
吸着器５ａを矢印ｂ方向に駆動する構造であるか
ら、該真空吸着器５ａの駆動ストロークをミクロ
ンオーダーで制御することは困難である。
ち、吸着保持したICを高い精度でIC検査ソケツ
ト１に供給する為(イ)真空吸着器５ａによつて吸着
される時点におけるIC（例えばプリヒータ用搬送
レーン２ｂの終点位置のIC９）の位置がミクロ
ンオーダーで規則されていなければならないが、
この位置で精密な位置規則をすることは極めて困
難である。(ロ)タイミングベルト６ａによつて真空
吸着器５ａを矢印ｂ方向に駆動する構造であるか
ら、該真空吸着器５ａの駆動ストロークをミクロ
ンオーダーで制御することは困難である。
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、
プリヒータ用搬送レーン終点における被搬送IC
の位置を超高精度で規制する必要なく、かつ真空
吸着器とタイミングベルトによる搬送ストローク
を超高精度で規制する必要なく、しかも被搬送
ICを超高精度でIC検査ソケツトに供給でき、そ
の上、複数列のプリヒータ用搬送レーンから複数
基のIC検査ソケツトに対してICを樹渡しできる
搬送機構を提供すようとするものである。ただし
前記の超高精度とは、誤差500ミクロン以下の意
である。
プリヒータ用搬送レーン終点における被搬送IC
の位置を超高精度で規制する必要なく、かつ真空
吸着器とタイミングベルトによる搬送ストローク
を超高精度で規制する必要なく、しかも被搬送
ICを超高精度でIC検査ソケツトに供給でき、そ
の上、複数列のプリヒータ用搬送レーンから複数
基のIC検査ソケツトに対してICを樹渡しできる
搬送機構を提供すようとするものである。ただし
前記の超高精度とは、誤差500ミクロン以下の意
である。
上記の目的を達成するため、本発明の搬送機構
は、プリヒータ及び恒温槽の何れか一方を備えた
ICハンドラにおいて、プリヒータ若しくは恒温
槽の終点とIC検査ソケツトとを結ぶ水平な搬送
路の途中にICを精密に位置ぎめするIC位置ぎめ
ステーシヨンを設け、前記終点と位置ぎめステー
シヨンとの間にタイミングベルト及び真空吸着装
置を用いたIC供給搬送手段を設け、前記位置決
めステーシヨンと検査ソケツトとの間にカムで駆
動されるIC移し替え搬送手段を設け、検査ソケ
ツトと検査済IC搬送レーンとの間にタイミング
ベルト及び真空吸着装置を用いたIC送り出し搬
送手段を設け、 前記位置決めステーシヨンの設置個数をｍと
し、 前記検査ソケツトの設置個数をｎとし、 前記IC供給搬送手段のサイクルタイムをTイ秒
とし、 前記IC移し替え搬送手段のサイクルタイムを
Tロ秒とし、 前記IC送り出し搬送手段のサイクルタイムを
Tハ秒とし、 Tイ：Tロ：Tハ＝ｎ：ｍ：ｍならしめたこと
を特徴とする。
は、プリヒータ及び恒温槽の何れか一方を備えた
ICハンドラにおいて、プリヒータ若しくは恒温
槽の終点とIC検査ソケツトとを結ぶ水平な搬送
路の途中にICを精密に位置ぎめするIC位置ぎめ
ステーシヨンを設け、前記終点と位置ぎめステー
シヨンとの間にタイミングベルト及び真空吸着装
置を用いたIC供給搬送手段を設け、前記位置決
めステーシヨンと検査ソケツトとの間にカムで駆
動されるIC移し替え搬送手段を設け、検査ソケ
ツトと検査済IC搬送レーンとの間にタイミング
ベルト及び真空吸着装置を用いたIC送り出し搬
送手段を設け、 前記位置決めステーシヨンの設置個数をｍと
し、 前記検査ソケツトの設置個数をｎとし、 前記IC供給搬送手段のサイクルタイムをTイ秒
とし、 前記IC移し替え搬送手段のサイクルタイムを
Tロ秒とし、 前記IC送り出し搬送手段のサイクルタイムを
Tハ秒とし、 Tイ：Tロ：Tハ＝ｎ：ｍ：ｍならしめたこと
を特徴とする。
次に、本発明の１実施例を第２図について説明
する。この実施例は第１図に示した従来の搬送機
構に本発明を適用して改良した１例であつて、第
１図と同一の図面参照番号を付したIC検査ソケ
ツト１、プリヒータ用搬送レーン２ａ〜２ｄ、不
良品アンローダ３、分類搬送レーン４ａ〜４ｃ、
真空吸着器５ｂ、及びタイミングベルト６ｂは従
来装置におけると同様乃至類似の構成部材であ
る。第１図と同一の図面参照番号にダツシを付し
て示した真空吸着器５a′およびタイミングベルト
６a′は前記従来例における真空吸着器５ａおよび
タイミングベルト６ａと類似の構成部材でその搬
送方向矢印b′ほ従来装置における矢印ｂと同方向
であるが、その搬送ストロークは後述の如くであ
る。
する。この実施例は第１図に示した従来の搬送機
構に本発明を適用して改良した１例であつて、第
１図と同一の図面参照番号を付したIC検査ソケ
ツト１、プリヒータ用搬送レーン２ａ〜２ｄ、不
良品アンローダ３、分類搬送レーン４ａ〜４ｃ、
真空吸着器５ｂ、及びタイミングベルト６ｂは従
来装置におけると同様乃至類似の構成部材であ
る。第１図と同一の図面参照番号にダツシを付し
て示した真空吸着器５a′およびタイミングベルト
６a′は前記従来例における真空吸着器５ａおよび
タイミングベルト６ａと類似の構成部材でその搬
送方向矢印b′ほ従来装置における矢印ｂと同方向
であるが、その搬送ストロークは後述の如くであ
る。
プリヒータ用搬送レーン２ａ〜２ｄの終点と
IC検査ソケツト１とを結ぶ水平な搬送路の途中
に、即ち前記矢印b′の線上に、位置決めステーシ
ヨン７を設ける。
IC検査ソケツト１とを結ぶ水平な搬送路の途中
に、即ち前記矢印b′の線上に、位置決めステーシ
ヨン７を設ける。
上記の位置決めステーシヨン７は、mmオーダー
の位置誤差で供給されたIC９を受け取り、その
位置をミクロンオーダーで所定の位置に合わせる
機能を有する機器で、本実施例の位置ぎめステー
シヨン７は１mm以内の誤差で受渡されたIC９の
位置を、誤差50ミクロン以内で所定の位置に合わ
せるように構成してある。前記の真空吸着器５
a′は、プリヒータ用搬送レーン終点位置のIC（図
示せず）を吸着して、位置誤差１mm以内で位置決
めステーシヨン７に供給する。
の位置誤差で供給されたIC９を受け取り、その
位置をミクロンオーダーで所定の位置に合わせる
機能を有する機器で、本実施例の位置ぎめステー
シヨン７は１mm以内の誤差で受渡されたIC９の
位置を、誤差50ミクロン以内で所定の位置に合わ
せるように構成してある。前記の真空吸着器５
a′は、プリヒータ用搬送レーン終点位置のIC（図
示せず）を吸着して、位置誤差１mm以内で位置決
めステーシヨン７に供給する。
前記の位置決めステーシヨン７上で50ミクロン
以内の超高精度に位置決めされたIC９を吸着保
持してIC検査ソケツト１に供給するカム式搬送
手段８を設ける。
以内の超高精度に位置決めされたIC９を吸着保
持してIC検査ソケツト１に供給するカム式搬送
手段８を設ける。
上記カム式搬送手段８のベース部材８ａは案内
軸８ｂに案内されて往復矢印ｅ−e′の如く矢印
b′及び同ｃと平行に案内され、カム手段（図示せ
ず）によつて往復駆動される。
軸８ｂに案内されて往復矢印ｅ−e′の如く矢印
b′及び同ｃと平行に案内され、カム手段（図示せ
ず）によつて往復駆動される。
カム式駆動手段の一般的特性として、作動スト
ロークを任意に増減できず、かつ長ストロークの
駆動に適しないが、そのストローク寸法は高精度
で一定値を保つ。
ロークを任意に増減できず、かつ長ストロークの
駆動に適しないが、そのストローク寸法は高精度
で一定値を保つ。
前記カム式搬送手段８は昇降ロツド８ｃ及び真
空吸着パツド８ｄを備えていて、IC９を吸着保
持したり放したりすることができる。
空吸着パツド８ｄを備えていて、IC９を吸着保
持したり放したりすることができる。
以上のように構成した搬送機構において、プリ
ヒータ用搬送レーン２ａ〜２ｄの終点に達した
ICはタイミングベルト６a′で駆動される真空吸着
器５a′によつて位置決めステーシヨン７に搬送さ
れる。この搬送は複数列のプリヒート用搬送レー
ン２ａ〜２ｄのそれぞれからICをピツクアツプ
しなければならない為、その搬送ストロークをそ
の都度増減しなければならない。こうした搬送は
カム手段で駆動するに適しないが、タイミングベ
ルト６a′によつて駆動する構造であるから円滑、
静粛に、位置誤差１mm以内で行なうことができる
が、超高精度の位置精度は期待できない。
ヒータ用搬送レーン２ａ〜２ｄの終点に達した
ICはタイミングベルト６a′で駆動される真空吸着
器５a′によつて位置決めステーシヨン７に搬送さ
れる。この搬送は複数列のプリヒート用搬送レー
ン２ａ〜２ｄのそれぞれからICをピツクアツプ
しなければならない為、その搬送ストロークをそ
の都度増減しなければならない。こうした搬送は
カム手段で駆動するに適しないが、タイミングベ
ルト６a′によつて駆動する構造であるから円滑、
静粛に、位置誤差１mm以内で行なうことができる
が、超高精度の位置精度は期待できない。
位置決めステーシヨン７に供給されたIC９は
位置誤差50ミクロン以内に位置を修正され、カム
式搬送手段８の吸着パツド８ｄに吸着されてIC
検査ソケツト１の上に位置誤差50ミクロン以内で
供給される。
位置誤差50ミクロン以内に位置を修正され、カム
式搬送手段８の吸着パツド８ｄに吸着されてIC
検査ソケツト１の上に位置誤差50ミクロン以内で
供給される。
IC検査ソケツト１において検査を終えたICは
従来装置（第１図）におけると同様にして真空吸
着器５ｂで吸着されて矢印ｃ方向に搬送され、検
査不合格品は不良品アンローダ３に投入され、検
査合格品はグレード別に振り分けてそれぞれ分類
搬送レーン４ａ〜４ｃの内の何れかにローデイン
グされる。
従来装置（第１図）におけると同様にして真空吸
着器５ｂで吸着されて矢印ｃ方向に搬送され、検
査不合格品は不良品アンローダ３に投入され、検
査合格品はグレード別に振り分けてそれぞれ分類
搬送レーン４ａ〜４ｃの内の何れかにローデイン
グされる。
上述の構造機能に示されたように、本実施例の
機構においてはプリヒータ用搬送レーン２ａ〜２
ｄからIC検査ソケツト１までの搬送作業を、位
置決めステーシヨン７までとそれ以降とに分割
し、比較的長距離でかつストロークを増減しなけ
ればならない前半部はタイミングベルト６a′と真
空吸着器５a′とによつて、ややラフな位置精度で
搬送する。そして、比較的短距離で、かつストロ
ークの増減を要しない後半はカム式搬送手段８に
よつて超高精度（50ミクロン以内）で行なう。
機構においてはプリヒータ用搬送レーン２ａ〜２
ｄからIC検査ソケツト１までの搬送作業を、位
置決めステーシヨン７までとそれ以降とに分割
し、比較的長距離でかつストロークを増減しなけ
ればならない前半部はタイミングベルト６a′と真
空吸着器５a′とによつて、ややラフな位置精度で
搬送する。そして、比較的短距離で、かつストロ
ークの増減を要しない後半はカム式搬送手段８に
よつて超高精度（50ミクロン以内）で行なう。
本発明を実施する場合、位置決めステーシヨン
７およびIC検査ソケツト１、並びにプリヒータ
用搬送レーン２ａ〜２ｄその他の関連機器それぞ
れの処理能率に応じて、各機器の総合能率をバラ
ンスさせるよう、これら各機器と設置個数を任意
に設定することができる。この場合、(イ)プリヒー
ト用搬送レーンの終点と位置決めステーシヨンと
の間の搬送を行うタイミングベルト駆動の真空吸
着器（前列における５a′）を用いたIC供給用の搬
送手段と、(ロ)ICを位置ぎめステーシヨン７から
IC検査ソケツト１に移し替えるためのカム式搬
送手段（前列における８）と、(ハ)IC検査ソケツ
ト以降のタイミングベルト駆動の真空吸着器（前
列における５ｂ）を用いたIC送り出し用の搬送
手段と、前記(イ)，(ロ)，(ハ)各搬送手段の作動サイク
ルタイムを相互に整数比ならしめることにより円
滑に搬送作動せしめ得る。前記実施例（第２図）
の如く位置決めステーシヨン７及びIC検査ソケ
ツト１の設置個数が各１である場合は前記(イ)，
(ロ)，(ハ)各搬送手段のサイクルタイムは１：１：１
で同期させれば良い。複数個ずつの機器を設ける
場合は次記の如く設定する。
７およびIC検査ソケツト１、並びにプリヒータ
用搬送レーン２ａ〜２ｄその他の関連機器それぞ
れの処理能率に応じて、各機器の総合能率をバラ
ンスさせるよう、これら各機器と設置個数を任意
に設定することができる。この場合、(イ)プリヒー
ト用搬送レーンの終点と位置決めステーシヨンと
の間の搬送を行うタイミングベルト駆動の真空吸
着器（前列における５a′）を用いたIC供給用の搬
送手段と、(ロ)ICを位置ぎめステーシヨン７から
IC検査ソケツト１に移し替えるためのカム式搬
送手段（前列における８）と、(ハ)IC検査ソケツ
ト以降のタイミングベルト駆動の真空吸着器（前
列における５ｂ）を用いたIC送り出し用の搬送
手段と、前記(イ)，(ロ)，(ハ)各搬送手段の作動サイク
ルタイムを相互に整数比ならしめることにより円
滑に搬送作動せしめ得る。前記実施例（第２図）
の如く位置決めステーシヨン７及びIC検査ソケ
ツト１の設置個数が各１である場合は前記(イ)，
(ロ)，(ハ)各搬送手段のサイクルタイムは１：１：１
で同期させれば良い。複数個ずつの機器を設ける
場合は次記の如く設定する。
位置決めステーシヨン７の設置個数をｍ個と
し、IC検査ソケツト１の設置個数をｎ個とする。
（上記のｍ及びｎはそれぞれ正の整数である。）前
記(イ)のIC供給用搬送手段のサイクルタイムをTイ
秒とし、前記(ロ)のIC移し替え用搬送手段のサイ
クルタイムをTロ秒とし、前記(ハ)のIC送り出し用
搬送手段のサイクルタイムをTハ秒とすると、 Tイ：Tロ：Tハ＝ｎ：ｍ：ｍ 〔発明の効果〕 以上詳述したように本発明の搬送機構によれ
ば、プリヒータ用搬送レーン終点における被搬送
ICの位置を超高精度で規制する必要なく、かつ
真空吸着器とタイミングベルトによる搬送ストロ
ークを超高精度で規制する必要なく、しかも被搬
送ICを超高精度でIC検査ソケツトに供給でき、
その上、複数列のプリヒータ用搬送レーンから複
数基のIC検査ソケツトに対してICを受渡しでき
るという優れた実用的効果を奏する。
し、IC検査ソケツト１の設置個数をｎ個とする。
（上記のｍ及びｎはそれぞれ正の整数である。）前
記(イ)のIC供給用搬送手段のサイクルタイムをTイ
秒とし、前記(ロ)のIC移し替え用搬送手段のサイ
クルタイムをTロ秒とし、前記(ハ)のIC送り出し用
搬送手段のサイクルタイムをTハ秒とすると、 Tイ：Tロ：Tハ＝ｎ：ｍ：ｍ 〔発明の効果〕 以上詳述したように本発明の搬送機構によれ
ば、プリヒータ用搬送レーン終点における被搬送
ICの位置を超高精度で規制する必要なく、かつ
真空吸着器とタイミングベルトによる搬送ストロ
ークを超高精度で規制する必要なく、しかも被搬
送ICを超高精度でIC検査ソケツトに供給でき、
その上、複数列のプリヒータ用搬送レーンから複
数基のIC検査ソケツトに対してICを受渡しでき
るという優れた実用的効果を奏する。
第１図はICハンドラにおける従来の搬送機構
を説明するための概要的な斜視図、第２図は本発
明の搬送機構の１実施例の概要的な斜視図であ
る。 １……IC検査ソケツト、２ａ〜２ｄ……プリ
ヒータ用搬送レーン、３……不良品アンローダ、
４ａ〜４ｃ……分類搬送レーン、５ａ，５a′，５
ｂ……真空吸着器、６ａ，６a′，６ｂ……タイミ
ングベルト、７……位置決めステーシヨン、８…
…カム式搬送手段、８ａ……ベース部材、８ｂ…
…案内軸、８ｃ……昇降ロツド、８ｄ……真空吸
着パツド、９，９′……IC。
を説明するための概要的な斜視図、第２図は本発
明の搬送機構の１実施例の概要的な斜視図であ
る。 １……IC検査ソケツト、２ａ〜２ｄ……プリ
ヒータ用搬送レーン、３……不良品アンローダ、
４ａ〜４ｃ……分類搬送レーン、５ａ，５a′，５
ｂ……真空吸着器、６ａ，６a′，６ｂ……タイミ
ングベルト、７……位置決めステーシヨン、８…
…カム式搬送手段、８ａ……ベース部材、８ｂ…
…案内軸、８ｃ……昇降ロツド、８ｄ……真空吸
着パツド、９，９′……IC。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ プリヒータ及び恒温槽の何れか一方を備えた
ICハンドラにおいて、プリヒータ若しくは恒温
槽の終点とIC検査ソケツトとを結ぶ水平な搬送
路の途中にICを精密に位置ぎめするIC位置ぎめ
ステーシヨンを設け、前記終点と位置ぎめステー
シヨンとの間にタイミングベルト及び真空吸着装
置を用いたIC供給搬送手段を設け、前記位置決
めステーシヨンと検査ソケツトとの間にカムで駆
動されるIC移し替え搬送手段を設け、検査ソケ
ツトと検査済IC搬送レーンとの間にタイミング
ベルト及び真空吸着装置を用いたIC送り出し搬
送手段を設け、 前記位置決めステーシヨンの設置個数をｍと
し、 前記検査ソケツトの設置個数をｎとし、 前記IC供給搬送手段のサイクルタイムをTイ秒
とし、 前記IC移し替え搬送手段のサイクルタイムを
Tロ秒とし、 前記IC送り出し搬送手段のサイクルタイムを
Tハ秒とし、 Tイ：Tロ：Tハ＝ｎ：ｍ：ｍならしめたこと
を特徴とするICハンドラの同期搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59067417A JPS60211900A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | Ｉｃハンドラの同期搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59067417A JPS60211900A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | Ｉｃハンドラの同期搬送機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60211900A JPS60211900A (ja) | 1985-10-24 |
| JPH0340942B2 true JPH0340942B2 (ja) | 1991-06-20 |
Family
ID=13344310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59067417A Granted JPS60211900A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | Ｉｃハンドラの同期搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60211900A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6193966A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-12 | Sharp Corp | 半導体素子の試験方法 |
| JPS6373934U (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-17 | ||
| JP2524547Y2 (ja) * | 1990-01-31 | 1997-02-05 | 安藤電気株式会社 | デバイスの位置決め機構 |
| CN105217358A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-01-06 | 盐城市华森机械有限公司 | 一种自动吸盘式收放料装置 |
| CN108045942A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-05-18 | 安徽派日特智能装备有限公司 | 一种单工位上料台 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6080238A (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-08 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | パツケ−ジ型回路素子の検査装置 |
-
1984
- 1984-04-06 JP JP59067417A patent/JPS60211900A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60211900A (ja) | 1985-10-24 |
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