JPS622537U - - Google Patents

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JPS622537U
JPS622537U JP9281885U JP9281885U JPS622537U JP S622537 U JPS622537 U JP S622537U JP 9281885 U JP9281885 U JP 9281885U JP 9281885 U JP9281885 U JP 9281885U JP S622537 U JPS622537 U JP S622537U
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wafers
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wafer
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例によるウエハ分離装置
の要部構成図、第２図は第１図のウエハ分離装置
のウエハを進退させる進退機構を示す構造図、第
３図は第１図のウエハ分離装置によりウエハを分
離するときの状況を示す動作説明図である。 １：吸着パツド、２：真空源、３：進退機構、
４：マガジン、６：ウエハ、Ｘ：開放端面、Ｙ：
吸着面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数枚積み重ねられたウエハを１枚づつ分離す
    る装置であつて、前記積み重ねられたウエハが載
    置されこの積重ね方向に進退する進退機構と、前
    記積み重ねられたウエハの反進退機構側が開放さ
    れた開放端面を有し該ウエハを取り囲み前記進退
    機構の進退時に該ウエハをこの進退方向に案内す
    るマガジンと、真空源と接続され前記マガジンの
    前記開放端面との間のギヤツプが前記ウエハの１
    放分より大きく２枚分より小さい吸着面を備えて
    前記ウエハの積重ね方向と直角の方向に移動可能
    に構成された吸着パツドとを備え、前記ウエハの
    分離時に、前記進退機構が前進してウエハを前記
    吸着パツドに押し着けるとともに前記真空源を作
    動させてウエハを吸着させた後前記進退機構を後
    退させ、しかる後前記吸着パツドをウエハの積重
    ね方向と直角の方向に移動させることによりウエ
    ハを１枚づつ分離することを特徴とするウエハ分
    離装置。
JP9281885U 1985-06-19 1985-06-19 Expired JPH0344754Y2 (ja)

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JP9281885U JPH0344754Y2 (ja) 1985-06-19 1985-06-19

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JP9281885U JPH0344754Y2 (ja) 1985-06-19 1985-06-19

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JPS622537U true JPS622537U (ja) 1987-01-09
JPH0344754Y2 JPH0344754Y2 (ja) 1991-09-20

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ID=30649951

Family Applications (1)

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JP9281885U Expired JPH0344754Y2 (ja) 1985-06-19 1985-06-19

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JP (1) JPH0344754Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017080862A (ja) * 2015-10-30 2017-05-18 日本電気硝子株式会社 板ガラスの製造方法及び製造装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017080862A (ja) * 2015-10-30 2017-05-18 日本電気硝子株式会社 板ガラスの製造方法及び製造装置

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JPH0344754Y2 (ja) 1991-09-20

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