JPS62298022A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔発明の属する技術分野〕 本発明は固定磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒
体の製造方法に関し、詳しくは磁気記録媒体の表面膜面
上の微少突起を除去する製造方法に関する。

〔従来技術とその問題点〕

磁気記録媒体（以下、単に媒体とも称する）は一般にア
ルミニウム合金９強化ガラス、ポリイミドなどからなる
非磁性ディスク状基板の鏡面仕上げされている表面にア
ルマイト処理あるいはＮ１−Ｐ無電解めっき処理などの
下地処理を施し、形成された下地膜上に磁性膜を均一に
形成し、さらに、その上に保護潤滑膜を形成して作製さ
れる。しかし、このようにして作製された媒体の表面に
は、基板表面の加工むら、その上に各膜を形成するとき
の異物や塵埃、あるいは成膜材料の凝集などの要因によ
り微少突起が存在する。固定磁気ディスク装置において
は通常コンタクト・スタート・ストップ（Ｃ３Ｓ）　　
方式が採られるが、このような微少突起は磁気ヘッドの
浮動の安定性に悪影響を及ぼす。従って、通常これらの
突起は磁性膜、保護潤滑膜形成後最終的に研摩などによ
り取り除かれていた。例えば、バニッンユヘッドを用い
る方法が多く行われている。これは、サファイアやアル
ミナなどの硬い材料で作製されたバニッシュヘッドを用
い、磁気ヘッドの場合と同様に回転している媒体上に浮
上させる。このときのバニソシニヘッドの浮上量を通常
の磁気ヘッドの浮上量より少なくし、媒体上の微少突起
にバニッシュヘッドを衝突させて微少突起を折損し、通
常の磁気ヘッドの場合には磁気ヘッドに衝突しないよう
にしてしまう方法である。しかし、この方法では、折損
後の突起の根本部は媒体上に残っており、媒体の駆動開
始時、停止時にはこの残存突起に磁気ヘッドが衝突する
という問題があり、また、微少突起が比較的大きい場合
には、突起が折損することにより磁性膜に欠陥部が生じ
ることもある。しかも、バニッシュヘッドを媒体の半径
方向に数回往復運動させる必要があり非常に時間がかか
る。

そこで媒体表面に微少突起が発生する原因の大部分が基
板にあることに着目し、下地処理を施された磁性膜形成
前の基板表面に前述のバニッシュヘッドによる仕上げ加
工を行うことが知られている。しかし、この場合にも残
存突起の影響や下地膜がバニッシュヘッドにより受ける
損傷により、その上に形成される磁性膜に欠陥部が発生
する欠点がある。その対策として、下地処理前の基板表
面、あるいは下地処理後で磁性膜形成前の基板表面にラ
フピングテープを圧着接触させて、基板を回転させて一
種の研摩を行う方法が提案されている。この方法によれ
ば基板表面の微少突起は根本から確実にとれ良好な基板
表面が得られるが、ラフピングテープはテープ基材にア
ルミナなどの硬い粒子を接着剤で固着させたものであり
、この方法で処理された基板表面には微少ながら加工の
痕跡が残り、充分満足すべき平滑な面が得られるにはい
たってない。

〔発明の目的〕

本発明は、上述の欠点を除去して、下地膜形成後の基板
表面、または、磁性膜、保護潤滑膜まで形成後の媒体表
面に存在する微少突起を、基板表面または媒体表面を損
傷することなく、確実に短時間で除去し、特性の優れた
媒体を製造する方法を提供することを目的とする。

〔発明の要点〕

本発明の目的は、非磁性基板に下地処理を施し下地膜を
形成後、その上に磁性膜、保護潤滑膜を形成する媒体の
製造方法において、前記下地膜形成後および保護潤滑膜
形成後、または、少なくともどちらか一方の後に、クリ
ーニングテープをその膜面に圧着接触せしめ、該膜面と
クリーニングテープとを相対移動させ膜面上の微少突起
を除去することによって達成される。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。

第１図は本発明の方法を実施し得る装置の一実施例の要
部構成を示す上面図である。第１図に見られるように実
施例の装置は４つのブロックからなる。各ブロックは基
板１に対して対象的に配置されており、架台７に回転可
能に取り付けられたコンタクトゴムローラ３．供給リー
ル４１巻取りリール５．テンシミンローラ６およびそれ
らの間に張られたクリーニングテープ２で構成されてい
る（図において番号は１ブロツクについてのみ付し他も
同様の構成であるので略す）。

次にこの装置を用いて本発明の磁気記録媒体の製造方法
について説明する。第１図における矢印のａ方向・へ各
ブロックを移動させて離間させる（移動機構は図示せず
）。表面に下地処理を施された基板１を基板駆動軸８に
装着し、軸を中心に基板１を回転駆動させる。各ブロッ
クを矢印のｂ方向に移動させ、各ブロックのクリーニン
グテープ２をコンタクトゴムローラ３により基板１の両
面に圧着接触させ、基板１の両面を２個づつのクリーニ
ングテープ、従って、合計４個のクリーニングテープを
巻き取り移動させながら同時に研摩する。その状態を側
面より見たＡ−Ａ断面図が第２図、Ｂ−Ｂ断面図が第３
図である。第３図に示すように回転している基板１０両
面にクリーニングテープ２をテンンヨンローラ６により
たわまないようにテンションをかけながらコンタクトゴ
ムローラ３で圧着接触した状態で、第２図に示す矢印の
方向すなわちクリーニングテープ２の各り一ルの回転軸
方向に基板１０半径内で架台７と共にカム構造を用いて
（図示はされてない）往復運動させる。かくして、基板
１の両面全面が４個のりリーニングテープ２により研摩
され、微少突起が短時間に効率良く除去される。

クリーニングテープは、例えば、天然繊維ポリエステル
混合の不織紙からなり、コンタクトゴムローラは、例え
ばエアシリンダの押圧力で圧接される。従って、クリー
ニングテープと基板表面との相対運動の摩擦による研摩
面には、硬質の研摩粒子を利用しているラフピングテー
プの場合の様な鋭角的な加工跡は生じない。

さらに、研摩中クリーニングテープ２は第３図の矢印に
示すように供給リール４より新しいクリーニングテープ
２が送り出され、研摩に使用され表面が汚染されたクリ
ーニングテープ２は巻取りリール５に巻き取られ、研摩
面には常に清浄なりリーニングテープが存在することに
なるので基板表面より除去された微少突起により基板表
面が汚染損傷されることもない。

本実施例は下地処理を施された基板の微少突起の除去の
場合について述べたが、最終的に保護潤滑膜まで形成し
た媒体の表面の微少突起の除去にも有効である。媒体の
製造において、下地処理を施した基板表面および最終的
な媒体表面についてそれぞれ本実施例による微少突起の
除去を行っても良く、また、いずれか一方の面について
のみ行ってもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、クリーニングテープを用いることによ
り、下地処理を施された基板表面あるいは保護潤滑膜ま
で形成した媒体表面にある微少突起を、その表面を損傷
することなく、確実に短時間で効率良く除去することが
でき、磁気記録媒体の製造時間を大幅に短縮することが
できる。本発明によれば表面を損傷することなく確実に
痕跡の残らぬように微少突起を除去できるので、基板に
適用した場合には、非常に良好な平滑性を有する磁性膜
を形成することが可能となり、磁気特性の優れた磁気記
録媒体を得ることができ、磁気記録媒体の表面に適用し
た場合には極めて平滑な表面が得られるので、磁気ヘッ
ドの浮上量を少なくしても安定した浮上性が確保でき、
高記録密度を指向する固定磁気ディスク装置に用いられ
る薄膜磁気記録媒体の製造に極めて有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法を実施し得る装置の一実施例の要
部構成を示す上面図、第２図は第１図のＡ　−Ａ断面図
、第３図は第１図のＢ−Ｂ断面図である。 １　基板、２　クリーニングテープ、３　コンタクトゴ
ムローラ、４　供給リール、５　巻取りリール、６　テ
ンションローラ、Ｔ　架台、８第　ｊ　図 １２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）非磁性基板に下地処理を施し下地膜を形成後、該下
   地膜上に磁性膜、保護潤滑膜を形成する磁気記録媒体の
   製造方法において、前記下地膜形成後および保護潤滑膜
   形成後または少なくともどちらか一方の後に、クリーニ
   ングテープをその膜面に圧着接触せしめ、該膜面とクリ
   ーニングテープとを相対移動させることによって、該膜
   面上の微少突起を除去するようにしたことを特徴とする
   磁気記録媒体の製造方法。