JPS62298027A - 薄膜型磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
薄膜型磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS62298027A JPS62298027A JP13990786A JP13990786A JPS62298027A JP S62298027 A JPS62298027 A JP S62298027A JP 13990786 A JP13990786 A JP 13990786A JP 13990786 A JP13990786 A JP 13990786A JP S62298027 A JPS62298027 A JP S62298027A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、鉄を主材料とした薄膜型磁気記録媒体の製造
方法に関する。
方法に関する。
薄膜型磁気記録媒体は高密度磁気記録媒体として実用化
が図られつ＼ある。
が図られつ＼ある。
この種の高密度磁気記録媒体で磁気特性に最も優れた磁
性膜は、鉄または鉄合金等の強磁性体の蒸気を、窒素と
酸素を含む混合ガスのイオンと共に非磁性の基材の上に
照射することにより成膜して作られる。この方法で成膜
された磁性膜の磁気特性は、上記混合ガスの酸素濃度が
約２０％、入射角が基材の法線に対して８０°のときが
最も良く、保磁力が１６０００ｅ、角型比が０．９以上
である。
性膜は、鉄または鉄合金等の強磁性体の蒸気を、窒素と
酸素を含む混合ガスのイオンと共に非磁性の基材の上に
照射することにより成膜して作られる。この方法で成膜
された磁性膜の磁気特性は、上記混合ガスの酸素濃度が
約２０％、入射角が基材の法線に対して８０°のときが
最も良く、保磁力が１６０００ｅ、角型比が０．９以上
である。
しかし、より高い出力を有する高密度磁気記録媒体とし
て、従来よりさらに高い保磁力を有する磁性膜が要望さ
れていたが、上記の保磁力を越えるものは未だ得られて
いない。
て、従来よりさらに高い保磁力を有する磁性膜が要望さ
れていたが、上記の保磁力を越えるものは未だ得られて
いない。
本発明は、このような問題を解消するためなされたもの
で、その目的は、より高い保磁力の磁性膜を持った薄膜
型磁気記録媒体が製造できる方法を提供することにある
。
で、その目的は、より高い保磁力の磁性膜を持った薄膜
型磁気記録媒体が製造できる方法を提供することにある
。
この発明による薄膜型磁気記録媒体の製造方法は、基材
上に鉄の蒸気を入射させると共に。
上に鉄の蒸気を入射させると共に。
窒素と酸素を含む混合ガスの励起された分子（以下「励
起種」という。）を上記基材上に照射するものである。
起種」という。）を上記基材上に照射するものである。
上記励起種（ｅｘｃｉｔｅｄ ５ｐｅｃｉｅｓ ）とは
、量子力学系の定常状態のうち、基底状態より高いエネ
ルギー準位にある電気的に中性な分子をいい。
、量子力学系の定常状態のうち、基底状態より高いエネ
ルギー準位にある電気的に中性な分子をいい。
励起分子ともいわれる。準安定状態にある励起種は２例
えば図面において６で示すような励起種発生装置で作ら
れ、基材２の上に照射される。
えば図面において６で示すような励起種発生装置で作ら
れ、基材２の上に照射される。
即ち、パルプ４側から混合ガスを反応管３の中に導入し
、フィラメント８を加熱して１反応管３内に熱電子を放
出させると共に、上記反応管３とグリッド７にプラス数
十ボルトの電圧を印加することにより、上記励起種が発
生し、これが基材２に照射される。
、フィラメント８を加熱して１反応管３内に熱電子を放
出させると共に、上記反応管３とグリッド７にプラス数
十ボルトの電圧を印加することにより、上記励起種が発
生し、これが基材２に照射される。
上記混合ガス中に含まれる酸素ガスの濃度は。
１０〜３０％の範囲が適当であり、特に２０％前後の濃
度で最も良好な結果が得られる。混合ガスの酸素ガスの
濃度がこれより低くなると、磁性膜の角型比が悪くなり
、また逆に酸素ガスの濃度が高くなると磁性が低下し、
約５０％程で蒸着膜かはｙ非磁性となる。
度で最も良好な結果が得られる。混合ガスの酸素ガスの
濃度がこれより低くなると、磁性膜の角型比が悪くなり
、また逆に酸素ガスの濃度が高くなると磁性が低下し、
約５０％程で蒸着膜かはｙ非磁性となる。
次に、この発明の構成を実施例に基づき、さらに具体的
に説明する。
に説明する。
図面で示すような装置において、蒸発ｔＡ１として純度
９９．９％の鉄を、非磁性の基材２として３５ｍｍ角の
ガラス製基板を用い、この上に次の方法で磁性膜を形成
した。
９９．９％の鉄を、非磁性の基材２として３５ｍｍ角の
ガラス製基板を用い、この上に次の方法で磁性膜を形成
した。
真空槽内の気圧を１０”’ Ｔｏｒｒ以下の真空状態と
し、電子銃５から上記蒸発源１に電子線を照射して、同
蒸発源１を蒸発させ、これから発生した鉄の蒸気を８０
°の入射角で基板２の上に照射した。
し、電子銃５から上記蒸発源１に電子線を照射して、同
蒸発源１を蒸発させ、これから発生した鉄の蒸気を８０
°の入射角で基板２の上に照射した。
またこれと同時に、バルブ４を介して励起種発生装置６
の反応管３に窒素ガスと酸素ガスを含む混合ガスを導入
し、これを励起して基板２の上に照射した。このとき、
励起種発生装置６の熱電子放出用タングステンフィラメ
ント８の電圧を８Ｖ、電流を１６Ａ１反応管３とクラッ
ト７の電圧を５０Ｖとし、真空槽内の真空度を１×１０
−’ Ｔｏｒｒ、混合ガス導入量を１〜２ ｓｃｃ／ｍ
ｉｎとした。
の反応管３に窒素ガスと酸素ガスを含む混合ガスを導入
し、これを励起して基板２の上に照射した。このとき、
励起種発生装置６の熱電子放出用タングステンフィラメ
ント８の電圧を８Ｖ、電流を１６Ａ１反応管３とクラッ
ト７の電圧を５０Ｖとし、真空槽内の真空度を１×１０
−’ Ｔｏｒｒ、混合ガス導入量を１〜２ ｓｃｃ／ｍ
ｉｎとした。
蒸発源１からの蒸発速度は、基板２に隣接し。
かつこれと同じ高さに設置したセンサで測定しながら、
これと連動させた水晶振動式膜厚計（ＸＴＭ）の指示値
が２０人／ｓｅｃになるように制御した。
これと連動させた水晶振動式膜厚計（ＸＴＭ）の指示値
が２０人／ｓｅｃになるように制御した。
混合ガスについては、酸素ガスの濃度を０゜５、１０．
２０．３０．５０％と６段階に分けて実施した。なお、
これら混合ガスの残部は、殆どが窒素ガスである。
２０．３０．５０％と６段階に分けて実施した。なお、
これら混合ガスの残部は、殆どが窒素ガスである。
次に、こうして形成された磁気記録媒体についてそれぞ
れ試料振動型磁力計によって磁性膜のＭ−Ｈ特性を測定
し、保磁力と角型比を求め。
れ試料振動型磁力計によって磁性膜のＭ−Ｈ特性を測定
し、保磁力と角型比を求め。
さらに触針式膜厚計によって磁性膜の膜厚を測定した。
この結果を表１に示す。なお磁性膜の膜厚は、何れの磁
気記録媒体も１０００〜１５００人程度であった。
気記録媒体も１０００〜１５００人程度であった。
また、これらの磁気記録媒体を濃度５％の食塩水に３ケ
月間浸漬した後取り出し、磁性膜の外観及び磁気特性を
調べたところ、浸漬前と比べて変化は見られなかった。
月間浸漬した後取り出し、磁性膜の外観及び磁気特性を
調べたところ、浸漬前と比べて変化は見られなかった。
表１の結果から明らかなように、上記混合ガスの酸素ガ
ス濃度を１０％としたときの磁性膜は。
ス濃度を１０％としたときの磁性膜は。
鉄の蒸気と共に酸素濃度２０％の混合ガスのイオンを入
射して成膜した従来の磁性膜とほぼ同等の磁気特性が得
られた。さらに、酸素濃度を２０％としたときは、それ
以上の磁気特性が得られた。
射して成膜した従来の磁性膜とほぼ同等の磁気特性が得
られた。さらに、酸素濃度を２０％としたときは、それ
以上の磁気特性が得られた。
表 １
〔発明の効果〕
以上説明した通り３本発明によれば、従来の磁気記録媒
体に比べて、保磁力の高い磁性膜を持った薄膜型磁気記
録媒体を提供することができる効果がある。
体に比べて、保磁力の高い磁性膜を持った薄膜型磁気記
録媒体を提供することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明を実施するための装置の一例を示す概念図
である。 １・・−蒸発源 ２−基材 ３−反応管 ４−・・パルプ５・−電子銃
６−励起種発生装♂７・−グリッド
８−フィラメント発明者宇野 着払 有用 節 龍野 哲男 飯１）英世
である。 １・・−蒸発源 ２−基材 ３−反応管 ４−・・パルプ５・−電子銃
６−励起種発生装♂７・−グリッド
８−フィラメント発明者宇野 着払 有用 節 龍野 哲男 飯１）英世
Claims (1)
- 非磁性の基材上に、磁性材料を真空蒸着して薄膜型磁気
記録媒体を製造する方法において、基材上に鉄の蒸気を
入射させると共に、窒素と酸素を含む混合ガスの励起さ
れた分子を、上記基材上に照射することを特徴とする薄
膜型磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13990786A JPS62298027A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | 薄膜型磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13990786A JPS62298027A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | 薄膜型磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62298027A true JPS62298027A (ja) | 1987-12-25 |
| JPH054729B2 JPH054729B2 (ja) | 1993-01-20 |
Family
ID=15256406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13990786A Granted JPS62298027A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | 薄膜型磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62298027A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0262724A (ja) * | 1988-08-30 | 1990-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60231924A (ja) * | 1984-04-28 | 1985-11-18 | Taiyo Yuden Co Ltd | 薄膜型磁気記録媒体の製造方法 |
-
1986
- 1986-06-16 JP JP13990786A patent/JPS62298027A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60231924A (ja) * | 1984-04-28 | 1985-11-18 | Taiyo Yuden Co Ltd | 薄膜型磁気記録媒体の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0262724A (ja) * | 1988-08-30 | 1990-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH054729B2 (ja) | 1993-01-20 |
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