JPH0322061U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0322061U JPH0322061U JP8030889U JP8030889U JPH0322061U JP H0322061 U JPH0322061 U JP H0322061U JP 8030889 U JP8030889 U JP 8030889U JP 8030889 U JP8030889 U JP 8030889U JP H0322061 U JPH0322061 U JP H0322061U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate holder
- thin film
- lamps
- holds
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案装置の要部構成を示した模式断
面図、第２図は太陽電池の構成を示した模式断面
図、第３図は従来の蒸着装置の要部構成を示した
模式断面図である。 １……基板、３……低抵抗ＣｕＩｎＳｅ２薄膜
、４……高抵抗ＣｕＩｎＳｅ２薄膜、９……真空
容器、１０……Ｃｕ蒸発源容器、１１……Ｉｎ蒸
発源容器、１２……Ｓｅ蒸発源容器、１３……シ
ヤツター、１４……加熱ランプ、１５……Ｓｅ用
膜厚モニター、１６ａ……Ｃｕ用膜厚モニター、
１６ｂ……Ｉｎ用膜厚モニター、１７……基板ホ
ルダー、１８……回転軸。
面図、第２図は太陽電池の構成を示した模式断面
図、第３図は従来の蒸着装置の要部構成を示した
模式断面図である。 １……基板、３……低抵抗ＣｕＩｎＳｅ２薄膜
、４……高抵抗ＣｕＩｎＳｅ２薄膜、９……真空
容器、１０……Ｃｕ蒸発源容器、１１……Ｉｎ蒸
発源容器、１２……Ｓｅ蒸発源容器、１３……シ
ヤツター、１４……加熱ランプ、１５……Ｓｅ用
膜厚モニター、１６ａ……Ｃｕ用膜厚モニター、
１６ｂ……Ｉｎ用膜厚モニター、１７……基板ホ
ルダー、１８……回転軸。
Claims (1)
- 真空容器内に、基板を保持する基板ホルダー、
前記基板を加熱する複数個のランプ、多元系化合
物薄膜の各成分元素を収容しこれら元素を別々に
蒸発させる複数個の蒸発源容器、前記蒸発元素の
通過時に開口するシヤツターを備え、前記基板上
に前記多元系化合物薄膜を蒸着する装置であつて
、前記基板ホルダーとして床面と平行に中心を通
る回転軸に取り付け外側面に前記基板を保持する
中空の多角柱状体を用い、この基板ホルダーの内
面近傍に前記複数個のランプを配置したことを特
徴とする多元系化合物薄膜の蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8030889U JPH0322061U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8030889U JPH0322061U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0322061U true JPH0322061U (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=31625250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8030889U Pending JPH0322061U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322061U (ja) |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP8030889U patent/JPH0322061U/ja active Pending