JPH0322061U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0322061U JPH0322061U JP8030889U JP8030889U JPH0322061U JP H0322061 U JPH0322061 U JP H0322061U JP 8030889 U JP8030889 U JP 8030889U JP 8030889 U JP8030889 U JP 8030889U JP H0322061 U JPH0322061 U JP H0322061U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate holder
- thin film
- lamps
- holds
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案装置の要部構成を示した模式断
面図、第２図は太陽電池の構成を示した模式断面
図、第３図は従来の蒸着装置の要部構成を示した
模式断面図である。 １……基板、３……低抵抗ＣｕＩｎＳｅ２薄膜
、４……高抵抗ＣｕＩｎＳｅ２薄膜、９……真空
容器、１０……Ｃｕ蒸発源容器、１１……Ｉｎ蒸
発源容器、１２……Ｓｅ蒸発源容器、１３……シ
ヤツター、１４……加熱ランプ、１５……Ｓｅ用
膜厚モニター、１６ａ……Ｃｕ用膜厚モニター、
１６ｂ……Ｉｎ用膜厚モニター、１７……基板ホ
ルダー、１８……回転軸。
面図、第２図は太陽電池の構成を示した模式断面
図、第３図は従来の蒸着装置の要部構成を示した
模式断面図である。 １……基板、３……低抵抗ＣｕＩｎＳｅ２薄膜
、４……高抵抗ＣｕＩｎＳｅ２薄膜、９……真空
容器、１０……Ｃｕ蒸発源容器、１１……Ｉｎ蒸
発源容器、１２……Ｓｅ蒸発源容器、１３……シ
ヤツター、１４……加熱ランプ、１５……Ｓｅ用
膜厚モニター、１６ａ……Ｃｕ用膜厚モニター、
１６ｂ……Ｉｎ用膜厚モニター、１７……基板ホ
ルダー、１８……回転軸。
Claims (1)
- 真空容器内に、基板を保持する基板ホルダー、
前記基板を加熱する複数個のランプ、多元系化合
物薄膜の各成分元素を収容しこれら元素を別々に
蒸発させる複数個の蒸発源容器、前記蒸発元素の
通過時に開口するシヤツターを備え、前記基板上
に前記多元系化合物薄膜を蒸着する装置であつて
、前記基板ホルダーとして床面と平行に中心を通
る回転軸に取り付け外側面に前記基板を保持する
中空の多角柱状体を用い、この基板ホルダーの内
面近傍に前記複数個のランプを配置したことを特
徴とする多元系化合物薄膜の蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8030889U JPH0322061U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8030889U JPH0322061U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0322061U true JPH0322061U (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=31625250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8030889U Pending JPH0322061U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322061U (ja) |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP8030889U patent/JPH0322061U/ja active Pending