JPS6237906A - 抵抗体のトリミング方法 - Google Patents
抵抗体のトリミング方法Info
- Publication number
- JPS6237906A JPS6237906A JP60177956A JP17795685A JPS6237906A JP S6237906 A JPS6237906 A JP S6237906A JP 60177956 A JP60177956 A JP 60177956A JP 17795685 A JP17795685 A JP 17795685A JP S6237906 A JPS6237906 A JP S6237906A
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- JP
- Japan
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- resistor
- trimming
- resistance value
- amount
- desired resistance
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- Pending
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はセラミック基板上などに作製された膜抵抗体の
素子トリミング方法に関するものである。
素子トリミング方法に関するものである。
従来の技術
近年、機器の小型化が進むにつれ、電子部品実装も高密
度化の傾向にある。その実装方法の１つにハイブリッド
ＩＣ（以下ＨＩＣと呼ぶ）がある。
度化の傾向にある。その実装方法の１つにハイブリッド
ＩＣ（以下ＨＩＣと呼ぶ）がある。
このＨＩＣｉに用いられる抵抗体の製造方法はセラミッ
ク基板上に抵抗体電極ならびに配線パターンの形成後、
印刷または描画により抵抗体を形成す２ベーノ る。しかし、作製された抵抗体の抵抗値は印刷・焼成条
件などによりバラツキが生じる。そのため抵抗体にトリ
ミングをおこない、抵抗値を増大させ所望抵抗値を得て
いる。このトリミングには抵抗体単体の抵抗値そのもの
を所定値にトリミングする素子トリミングと、回路部品
を実装後、回路を動作させ所定の回路特性（発振周波数
ａｔｅ ）を得るまで調整用抵抗体をトリミングする機
能トリミングの２種類がある。またトリミング方法には
レーザ光で抵抗体にトリミング溝を形成するレーザトリ
ミング法と、アルミナ微粉末を抵抗体に高圧噴射するこ
とによりトリミング溝を形成するサンドブラスト法があ
る。
ク基板上に抵抗体電極ならびに配線パターンの形成後、
印刷または描画により抵抗体を形成す２ベーノ る。しかし、作製された抵抗体の抵抗値は印刷・焼成条
件などによりバラツキが生じる。そのため抵抗体にトリ
ミングをおこない、抵抗値を増大させ所望抵抗値を得て
いる。このトリミングには抵抗体単体の抵抗値そのもの
を所定値にトリミングする素子トリミングと、回路部品
を実装後、回路を動作させ所定の回路特性（発振周波数
ａｔｅ ）を得るまで調整用抵抗体をトリミングする機
能トリミングの２種類がある。またトリミング方法には
レーザ光で抵抗体にトリミング溝を形成するレーザトリ
ミング法と、アルミナ微粉末を抵抗体に高圧噴射するこ
とによりトリミング溝を形成するサンドブラスト法があ
る。
近年、抵抗体実装は高密度化の傾向にあり、また抵抗体
形状は微小化の傾向にあるため、ますますトリミングに
よる抵抗値調整が重要となりつつある。
形状は微小化の傾向にあるため、ますますトリミングに
よる抵抗値調整が重要となりつつある。
以下図面を参照しながら、従来の抵抗体の素子トリミン
グについて説明する。第３図は膜抵抗体に所望抵抗値を
得るためのトリミング量を抵抗体にほどこしたときの膜
抵抗体を示している。１は電極、２は膜抵抗体、３はト
リミング量ｌのトリミング溝を示している。捷たＷは抵
抗体幅、Ｌは抵抗体長である。
グについて説明する。第３図は膜抵抗体に所望抵抗値を
得るためのトリミング量を抵抗体にほどこしたときの膜
抵抗体を示している。１は電極、２は膜抵抗体、３はト
リミング量ｌのトリミング溝を示している。捷たＷは抵
抗体幅、Ｌは抵抗体長である。
従来の膜抵抗体のトリミング方法では、捷ず抵抗体の電
極１・１に抵抗値測定用のプローブを圧接し、初期抵抗
値を測定する。つぎに抵抗体の形状値（抵抗体幅Ｗ、抵
抗体長Ｌ）および所望抵抗値Ｒｉより所望抵抗値を得る
ためのトリミング量ｌを計算手段を用いて算出し、算出
されたトリミング量ｌを抵抗体長の中火部近傍かつ抵抗
体端のａ点より、トリミング手段を用いてトリミング溝
を形成し、所望抵抗値を得ていた。
極１・１に抵抗値測定用のプローブを圧接し、初期抵抗
値を測定する。つぎに抵抗体の形状値（抵抗体幅Ｗ、抵
抗体長Ｌ）および所望抵抗値Ｒｉより所望抵抗値を得る
ためのトリミング量ｌを計算手段を用いて算出し、算出
されたトリミング量ｌを抵抗体長の中火部近傍かつ抵抗
体端のａ点より、トリミング手段を用いてトリミング溝
を形成し、所望抵抗値を得ていた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記の抵抗体のトリミング方法では、抵
抗体形状値と初期抵抗値および所望抵抗値よりトリミン
グ量を計算により算出しているが、第１図に示すように
、抵抗体の小型化（Ｗ（ｏ、ｓｍｍ、 Ｌ （ｏ、ｓｍ
ｍ ’）につれ、トリミング溝幅（ＹＡＧレーザのスポ
ット径＞ ０−０３ ｍｍ ）の無視できなくなる。そ
のため算ｉｄｉされた１−リミング量ｌを抵抗体にほど
こしても抵抗値へ（（差が生じてし１う。特に抵抗体幅
に比較して抵抗体長が短かい抵抗体（第２図）の形状で
は抵抗体長に対するトリミング溝幅ｄがしめる割合が大
きくなり、太きな抵抗値誤差が生じる。捷だサンドプラ
ス１−法により抵抗体にトリミングをおこなう場合、ｌ
−リミング溝幅は０．２ｍｍ以上にもなるため、非常に
影響が大きい。
抗体形状値と初期抵抗値および所望抵抗値よりトリミン
グ量を計算により算出しているが、第１図に示すように
、抵抗体の小型化（Ｗ（ｏ、ｓｍｍ、 Ｌ （ｏ、ｓｍ
ｍ ’）につれ、トリミング溝幅（ＹＡＧレーザのスポ
ット径＞ ０−０３ ｍｍ ）の無視できなくなる。そ
のため算ｉｄｉされた１−リミング量ｌを抵抗体にほど
こしても抵抗値へ（（差が生じてし１う。特に抵抗体幅
に比較して抵抗体長が短かい抵抗体（第２図）の形状で
は抵抗体長に対するトリミング溝幅ｄがしめる割合が大
きくなり、太きな抵抗値誤差が生じる。捷だサンドプラ
ス１−法により抵抗体にトリミングをおこなう場合、ｌ
−リミング溝幅は０．２ｍｍ以上にもなるため、非常に
影響が大きい。
したがって従来の抵抗体のトリミング方法では、抵抗体
の微小化および抵抗体形状により所望抵抗値からの誤差
が大きく々るという問題点を有していた。
の微小化および抵抗体形状により所望抵抗値からの誤差
が大きく々るという問題点を有していた。
本発明の抵抗体のトリミング方法は、上記問題点に鑑み
、従来の問題点を排除した抵抗体のトリミング方法を提
供するものである。
、従来の問題点を排除した抵抗体のトリミング方法を提
供するものである。
問題点を解決するだめの手段
」−記問題点を解決するために本発明の抵抗体のトリミ
ング方法では、絶縁基板上に作製された膜抵抗体の形状
寸法と初期抵抗値とトリミング溝幅と所望抵抗値により
所望抵抗値を得るだめのトリミング量を算出する抵抗体
のトリミング方法である。
ング方法では、絶縁基板上に作製された膜抵抗体の形状
寸法と初期抵抗値とトリミング溝幅と所望抵抗値により
所望抵抗値を得るだめのトリミング量を算出する抵抗体
のトリミング方法である。
作用
本発明はトリミングにより生じるトリミング溝幅を考慮
し、所望抵抗値を得るためのトリミング量を求めるもの
であるから、抵抗値誤差を大幅に減少させることのでき
るものである。
し、所望抵抗値を得るためのトリミング量を求めるもの
であるから、抵抗値誤差を大幅に減少させることのでき
るものである。
実施例
以下本発明の抵抗体のトリミング方法について第１図を
参照しながら説明する。まず抵抗体の電極１・１に抵抗
値測定用のプローブを圧接し、初期抵抗値Ｒｏを測定す
る。つぎに測定された初期抵抗値ＲＯと抵抗体形状値（
Ｗ、Ｌ）と所望抵抗値Ｒｔおよびトリミング溝幅ｄによ
り所望抵抗値Ｒｔ を得るためのトリミング量ｌを計算
手段で求める。また通常、１−ＩＪミング溝溝幅上レー
ザのスポット径で代用できる。トリミング量ｐは次式を
解くことにより求まる。
参照しながら説明する。まず抵抗体の電極１・１に抵抗
値測定用のプローブを圧接し、初期抵抗値Ｒｏを測定す
る。つぎに測定された初期抵抗値ＲＯと抵抗体形状値（
Ｗ、Ｌ）と所望抵抗値Ｒｔおよびトリミング溝幅ｄによ
り所望抵抗値Ｒｔ を得るためのトリミング量ｌを計算
手段で求める。また通常、１−ＩＪミング溝溝幅上レー
ザのスポット径で代用できる。トリミング量ｐは次式を
解くことにより求まる。
６１−ジ
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ （１）次
に算出されたトリミング量ｌの長さだけトリミング手段
を用い、抵抗体長中央近傍かつ抵抗体端のａ点よりトリ
ミング溝を形成し、トリミングは終了する。
に算出されたトリミング量ｌの長さだけトリミング手段
を用い、抵抗体長中央近傍かつ抵抗体端のａ点よりトリ
ミング溝を形成し、トリミングは終了する。
発明の効果
以上の説明から明らかなようにトリミング溝幅を考慮し
、トリミング量を求めることにより、高精度の抵抗体ト
リミングをおこなえるため、その生産性にあたえる効果
は大である。
、トリミング量を求めることにより、高精度の抵抗体ト
リミングをおこなえるため、その生産性にあたえる効果
は大である。
第１図、第２図、第３図は膜抵抗体に本発明によるトリ
ミング方法をおこなったときの平面図である。 １・・・・・・抵抗体電極、２・・・・・・膜抵抗体、
３・・・・・・トリミング溝。
ミング方法をおこなったときの平面図である。 １・・・・・・抵抗体電極、２・・・・・・膜抵抗体、
３・・・・・・トリミング溝。
Claims (1)
- 絶縁基板上に形成される膜抵抗体のトリミング方法で
あって、前記膜抵抗体の形状の寸法と初期抵抗値とトリ
ミング溝幅と所望抵抗値により、所望抵抗値を得るトリ
ミング量を算出する抵抗体のトリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177956A JPS6237906A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 抵抗体のトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177956A JPS6237906A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 抵抗体のトリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237906A true JPS6237906A (ja) | 1987-02-18 |
Family
ID=16040020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60177956A Pending JPS6237906A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 抵抗体のトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237906A (ja) |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP60177956A patent/JPS6237906A/ja active Pending
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