JPS6241764A - 窒化珪素焼結体 - Google Patents
窒化珪素焼結体Info
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- JPS6241764A JPS6241764A JP60178654A JP17865485A JPS6241764A JP S6241764 A JPS6241764 A JP S6241764A JP 60178654 A JP60178654 A JP 60178654A JP 17865485 A JP17865485 A JP 17865485A JP S6241764 A JPS6241764 A JP S6241764A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は窒化珪素焼結体に係わり、特に常温における機
械的強度に優れ、しかも高温下においても強度低下の少
ない窒化珪素焼結体に関する。
械的強度に優れ、しかも高温下においても強度低下の少
ない窒化珪素焼結体に関する。
従来、ガスタービン、熱交換器などの材料として、各種
耐熱金属合金が使用されてきたが、近年このような金属
材料では耐え得ない苛酷な使用条件、とりわけ熱効率の
改善、省エネルギー化を目的をして１０００℃を越える
高温度に適用され得る材料として、各種セラミックスの
使用が試みられている。なかでも窒化珪素（ＳｉＪｔ）
焼結体は、強度、耐摩耗性、耐酸化性等に優れ、熱膨張
係数も小さく、かつ高温で強度や化学的安定性にも優れ
ていることから、炭化珪素（ＳｉＣ）焼結体とともに構
造用材料として注目されている。
耐熱金属合金が使用されてきたが、近年このような金属
材料では耐え得ない苛酷な使用条件、とりわけ熱効率の
改善、省エネルギー化を目的をして１０００℃を越える
高温度に適用され得る材料として、各種セラミックスの
使用が試みられている。なかでも窒化珪素（ＳｉＪｔ）
焼結体は、強度、耐摩耗性、耐酸化性等に優れ、熱膨張
係数も小さく、かつ高温で強度や化学的安定性にも優れ
ていることから、炭化珪素（ＳｉＣ）焼結体とともに構
造用材料として注目されている。
しかし、窒化珪素は共有結合性が高いため、焼結性に乏
しく、窒化珪素単体では高密度かつ高強度の焼結体を得
ることは困難である。そのため従来より、窒化珪素を焼
結するに際しては、ＭｇＯ、Ａｌ□０３及び希土類元素
の酸化物を焼結助剤として添加配合し焼結することが試
みられている。配合された焼結助剤は、焼結過程で窒化
珪素粉末の粒子界面に低融点のガラス相を形成し焼結を
促進する。従って、最終の焼結体は窒化珪素と粒界相と
から構成される。
しく、窒化珪素単体では高密度かつ高強度の焼結体を得
ることは困難である。そのため従来より、窒化珪素を焼
結するに際しては、ＭｇＯ、Ａｌ□０３及び希土類元素
の酸化物を焼結助剤として添加配合し焼結することが試
みられている。配合された焼結助剤は、焼結過程で窒化
珪素粉末の粒子界面に低融点のガラス相を形成し焼結を
促進する。従って、最終の焼結体は窒化珪素と粒界相と
から構成される。
この粒界相の物性は、焼結体の機械的特性を支配する大
きな要因である。高温強度に優れた焼結体を得るために
は、この粒界相の結晶化比率が高く、高温強度の大きい
ものでなければならない。従って、焼結助剤としては、
焼結促進効果を有するだけでなく、上記のような物性を
持つ粒界相を形成し得る必要がある。この点を考慮して
、特開昭５９−１４６９８０号公報にはインドリウム酸
化物、ランタン酸化物、プラセオジム酸化物及びネオジ
ム酸化物を構成成分とする特定の配合割合からなる混合
物を焼結助剤とすることにより、焼結体の高温強度を向
上させる方法が述べられている。
きな要因である。高温強度に優れた焼結体を得るために
は、この粒界相の結晶化比率が高く、高温強度の大きい
ものでなければならない。従って、焼結助剤としては、
焼結促進効果を有するだけでなく、上記のような物性を
持つ粒界相を形成し得る必要がある。この点を考慮して
、特開昭５９−１４６９８０号公報にはインドリウム酸
化物、ランタン酸化物、プラセオジム酸化物及びネオジ
ム酸化物を構成成分とする特定の配合割合からなる混合
物を焼結助剤とすることにより、焼結体の高温強度を向
上させる方法が述べられている。
しかしながら、前記特開昭５９−１４６９８０号の方法
による焼結体は１３００°Ｃでの曲げ強度（３点曲げ）
は１１０ｋｇ／ｍｍ２程度と確かに大きいが、室温での
強度は８０ ｋｇ ／ ａｍ ２程度と小さくなってし
まう。
による焼結体は１３００°Ｃでの曲げ強度（３点曲げ）
は１１０ｋｇ／ｍｍ２程度と確かに大きいが、室温での
強度は８０ ｋｇ ／ ａｍ ２程度と小さくなってし
まう。
本発明者は、この原因について考察し次の結論を得た。
すなわち、希土類酸化物はいずれも融点付近ではほとん
ど同一の結晶構造で、六方Ｈ相あるいは立方×相構造と
なる。このため、広い組成範囲で固溶体を形成し、液相
を生成する温度はあまり下がらない。たとえば、第１図
に示すように、Ｎ＋ｊｚＯａ−ＹｚＯｘ系においても広
い組成範囲にわたって固溶体を形成して、液相が生成す
る最低温度は約２２５Ｃｌ’ｃとそれぞれの単体化合物
とあまり変わらない。このことは、異なった希土類酸化
物を複数添加した場合にも同様に成立するものと考えら
れる。
ど同一の結晶構造で、六方Ｈ相あるいは立方×相構造と
なる。このため、広い組成範囲で固溶体を形成し、液相
を生成する温度はあまり下がらない。たとえば、第１図
に示すように、Ｎ＋ｊｚＯａ−ＹｚＯｘ系においても広
い組成範囲にわたって固溶体を形成して、液相が生成す
る最低温度は約２２５Ｃｌ’ｃとそれぞれの単体化合物
とあまり変わらない。このことは、異なった希土類酸化
物を複数添加した場合にも同様に成立するものと考えら
れる。
このため、複数の希土類酸化物だけを焼結助剤とする系
においては、粒界を形成する希土類酸化物の生成液相温
度が高いために高温度下においても強度の低下が生じな
い。
においては、粒界を形成する希土類酸化物の生成液相温
度が高いために高温度下においても強度の低下が生じな
い。
しかし、反面このことは、焼結温度（１７５０℃前後）
においても、焼結が生じるために必要な原子の拡散が起
こりにくいため、焼結体の緻密化は十分達成できず、室
温強度が低くなるものと考えられる。
においても、焼結が生じるために必要な原子の拡散が起
こりにくいため、焼結体の緻密化は十分達成できず、室
温強度が低くなるものと考えられる。
室温における強度が小さいという従来の欠点を解消する
ために、窒化珪素焼結体の焼結助剤について種々検討し
た結果、窒化珪素粉末に付加する助剤として酸化クロム
と、希土類元素酸化物との特定の配合割合からなる混合
物を用いることにより、室温の機械強度に優れ、しかも
高温において強度低下の少ない焼結体が得られることを
見い出し本発明に至った。
ために、窒化珪素焼結体の焼結助剤について種々検討し
た結果、窒化珪素粉末に付加する助剤として酸化クロム
と、希土類元素酸化物との特定の配合割合からなる混合
物を用いることにより、室温の機械強度に優れ、しかも
高温において強度低下の少ない焼結体が得られることを
見い出し本発明に至った。
すなわち、本発明は、窒化珪素を主成分とし、これに酸
化クロム粉末と希土類酸化物粉末とをモル比で３／７〜
７／３の割合で１〜１０モル％含有させたことを特徴と
する窒化珪素焼結体である。
化クロム粉末と希土類酸化物粉末とをモル比で３／７〜
７／３の割合で１〜１０モル％含有させたことを特徴と
する窒化珪素焼結体である。
以下本発明の詳細な説明する。
前述のように、室温での強度が大きく、しかも高温での
強度低下の少ない材料を作るためには、次の二要件、す
なわち、 ■緻密化促進のため、できるだけ低温で液相を生成する
系であること、 ■その後の処理により高融点化合物を形成すること、 が必要である。
強度低下の少ない材料を作るためには、次の二要件、す
なわち、 ■緻密化促進のため、できるだけ低温で液相を生成する
系であること、 ■その後の処理により高融点化合物を形成すること、 が必要である。
上記相反する２つの要件を両立させる方法を検討した結
果、希土類酸化物と酸化クロムとを特定Ｍ混合させるこ
とにより実現できることが明らかになった。
果、希土類酸化物と酸化クロムとを特定Ｍ混合させるこ
とにより実現できることが明らかになった。
一例として、第２図にＣｒｚＯ３−ＮｄｚＯ３状態図を
示す。ＣｒｚＯ３、ＮｄｚＯ：＋の融点はいずれも２３
００°Ｃ以上と高いが、結晶構造が異なるため、中間層
ＮｄＣｒ０：＋を生ずる。この融点は、２４２０°Ｃと
Ｃｒ２Ｏ３あるいはＮｄｚＯｉよりも１００°Ｃ以上高
い。
示す。ＣｒｚＯ３、ＮｄｚＯ：＋の融点はいずれも２３
００°Ｃ以上と高いが、結晶構造が異なるため、中間層
ＮｄＣｒ０：＋を生ずる。この融点は、２４２０°Ｃと
Ｃｒ２Ｏ３あるいはＮｄｚＯｉよりも１００°Ｃ以上高
い。
またこれと同時にＮｄ２Ｏ３側では２０１０℃、Ｃｒ２
Ｏ２側でも２１８０°Ｃの共晶点を有している。
Ｏ２側でも２１８０°Ｃの共晶点を有している。
いま、〜ｄ Ｃｒ Ｏ、、組成の焼結助剤を添加した場
合の焼結過程を考える。窒化珪素粉末に存在するＣｒ２
Ｏ３粉末とＮｄ、０３扮末との界面では焼結温度におい
ては、中間相ＮｄＣｒ０．と同時に比較的融点の低い共
晶組成も存在している。この低融点組成でも焼結温度（
１７５０’ｃ程度）ではまだ液相の生成は見られないが
、第１図のＹｚＯ：＋−ＮｄｚＯ３系に比べると、２５
０°Ｃ程度液相生成温度が低いことから、原子の拡散は
ずっと活発で、焼結中葉性流動等が起こりやすく、緻密
な焼結体が得られる。
合の焼結過程を考える。窒化珪素粉末に存在するＣｒ２
Ｏ３粉末とＮｄ、０３扮末との界面では焼結温度におい
ては、中間相ＮｄＣｒ０．と同時に比較的融点の低い共
晶組成も存在している。この低融点組成でも焼結温度（
１７５０’ｃ程度）ではまだ液相の生成は見られないが
、第１図のＹｚＯ：＋−ＮｄｚＯ３系に比べると、２５
０°Ｃ程度液相生成温度が低いことから、原子の拡散は
ずっと活発で、焼結中葉性流動等が起こりやすく、緻密
な焼結体が得られる。
一方焼結が完了する時点には、ＣｒｚＯ，とＮｄ２Ｏ３
との反応が充分に進みこれらの低融点組成はもはや存在
しなくなり、すべて高融点のＮｄＣｒＯ３の組成にな−
っている。この融点は２４２０℃であるため、高温まで
強度低下はない。
との反応が充分に進みこれらの低融点組成はもはや存在
しなくなり、すべて高融点のＮｄＣｒＯ３の組成にな−
っている。この融点は２４２０℃であるため、高温まで
強度低下はない。
以上の理由により、本発明の焼結体は高密度のため室温
強度が大きく、しかも粒界に高融点化合物を形成するた
め高温での強度低下の少ない特性を有する。
強度が大きく、しかも粒界に高融点化合物を形成するた
め高温での強度低下の少ない特性を有する。
本発明の焼結体を得るには、酸化クロムと希土類酸化物
とをモル比で３７７〜７／３になるように配合した粉末
を窒化珪素に対して１〜１０モル％含有するように配合
すればよい。粉末組成として、上記の組成範囲に限定さ
れる理由を次に示す。
とをモル比で３７７〜７／３になるように配合した粉末
を窒化珪素に対して１〜１０モル％含有するように配合
すればよい。粉末組成として、上記の組成範囲に限定さ
れる理由を次に示す。
◎酸化クロムと希土類酸化物との配合比を３／７〜７／
３に限定する理由 配合比がこの範囲外であると、Ｃｒ；４０：ｌ−希土類
酸化物系で生成する共晶組成範囲に近いため、焼結終了
時の焼結体の粒界の融点は低くなり、焼結体の高温強度
が劣化するため上記組成範囲とした。
３に限定する理由 配合比がこの範囲外であると、Ｃｒ；４０：ｌ−希土類
酸化物系で生成する共晶組成範囲に近いため、焼結終了
時の焼結体の粒界の融点は低くなり、焼結体の高温強度
が劣化するため上記組成範囲とした。
◎上記酸化クロムと希土類酸化物との混合粉末の窒化珪
素粉末に対する配合割合を１〜１０モル％に限定する理
由 １モル％以下であると焼結助剤の量が足りず、焼結性が
劣化し、緻密な焼結体が得られない。
素粉末に対する配合割合を１〜１０モル％に限定する理
由 １モル％以下であると焼結助剤の量が足りず、焼結性が
劣化し、緻密な焼結体が得られない。
一方、１０モル％以Ｆであると粒界相の量が増加し室温
強度が低下するので１〜１０モル％とした。
強度が低下するので１〜１０モル％とした。
なお、酸化クロム及び希土類酸化物の粒径は５μｍ以下
が望ましい。これら粉末の粒径が５７１ ｍ以上である
と、焼結時における中間相の生成及び軟化領域の生成が
不均一となり、緻密化の妨げになるからである。また、
これらの純度は９９．９％以上であることが望ましい。
が望ましい。これら粉末の粒径が５７１ ｍ以上である
と、焼結時における中間相の生成及び軟化領域の生成が
不均一となり、緻密化の妨げになるからである。また、
これらの純度は９９．９％以上であることが望ましい。
不純物成分はガラス相を形成し易く、焼結体の高温強度
を下げるためである。
を下げるためである。
以上の本発明の窒化珪素焼結体は次のように製造する。
酸化クロムと希土類酸化物とを所定のモル比で混合し、
これを窒化珪素に対して１〜１０モル％になるように調
整する。これを混合粉砕した後、加圧成形等によって成
形体を形成する。これらの混合粉砕にはボールミル等を
用いればよく、また加圧成形の際の圧力は１ ｔｏｎ／
ｃｄ程度が望ましい。成形体の焼結は１６００〜１９０
０”ｃの温度範囲で、非酸化雰囲気中で常圧焼結あるい
は加圧焼結を行う。焼結温度が１６００°Ｃより低いと
充分繊密化した焼結体が得られず、また１９００℃を越
えると窒化珪素自身の分解が激しくなり、健全な焼結体
は得られない。
これを窒化珪素に対して１〜１０モル％になるように調
整する。これを混合粉砕した後、加圧成形等によって成
形体を形成する。これらの混合粉砕にはボールミル等を
用いればよく、また加圧成形の際の圧力は１ ｔｏｎ／
ｃｄ程度が望ましい。成形体の焼結は１６００〜１９０
０”ｃの温度範囲で、非酸化雰囲気中で常圧焼結あるい
は加圧焼結を行う。焼結温度が１６００°Ｃより低いと
充分繊密化した焼結体が得られず、また１９００℃を越
えると窒化珪素自身の分解が激しくなり、健全な焼結体
は得られない。
以」二のようにして製造した酸化クロムと希土類酸化物
とを焼結助剤とした窒化珪素焼結体は、緻密化が生じ易
く、１００ ｋｇ ／ ａｍ ２程度の室温強度を容易
に得ることができる。また、１３００℃での高温強度も
、焼結体粒界部に高融点組成の中間相を形成するため１
００ｋｇ／ｍ■２と室温とほぼ同等の値が得られる。
とを焼結助剤とした窒化珪素焼結体は、緻密化が生じ易
く、１００ ｋｇ ／ ａｍ ２程度の室温強度を容易
に得ることができる。また、１３００℃での高温強度も
、焼結体粒界部に高融点組成の中間相を形成するため１
００ｋｇ／ｍ■２と室温とほぼ同等の値が得られる。
このため、本発明の窒化珪素焼結体は高温構造用部材と
して最適な材料になる。
して最適な材料になる。
以下本発明の詳細な説明する。
平均粒径２μｍ、純度９９．９％の酸化クロムＣｒｚＯ
：＋粉末とＮｄｚＯ３粉末とをそれぞれ５０モル％ずつ
混合し、Ｎｄ２Ｏ３側成とした。このＮｄＣｒ０３ｍ成
粉末を、平均粒径０．６μｍの窒化珪素（α化率９０％
）に対して０．６〜１２モル％になるように混合し、第
１表に示す試料番号１〜５の組成とした。
：＋粉末とＮｄｚＯ３粉末とをそれぞれ５０モル％ずつ
混合し、Ｎｄ２Ｏ３側成とした。このＮｄＣｒ０３ｍ成
粉末を、平均粒径０．６μｍの窒化珪素（α化率９０％
）に対して０．６〜１２モル％になるように混合し、第
１表に示す試料番号１〜５の組成とした。
粉末の粉砕・混合はボートミルで４８時間行い、１００
０ ｋｇ ／ ｃｕｔの圧力で成形した。次ぎにこの成
形体を１８５０°Ｃ１１気圧の窒素雰囲気中で２時間、
３００ ｋｇ ／ ｃａｌの圧力でホットプレス焼結し
た。この焼結体から３×４×３５１１の試験片を切り出
し、表面を研摩した後、スパン３’ Ｏ＊ｍクロスヘッ
ドスピード０．５ ｍｍ／ｍｉｎの条件で３点曲げ試験
を行い室温と１３００℃での強度を測定した。その結果
を第１表に示す。
０ ｋｇ ／ ｃｕｔの圧力で成形した。次ぎにこの成
形体を１８５０°Ｃ１１気圧の窒素雰囲気中で２時間、
３００ ｋｇ ／ ｃａｌの圧力でホットプレス焼結し
た。この焼結体から３×４×３５１１の試験片を切り出
し、表面を研摩した後、スパン３’ Ｏ＊ｍクロスヘッ
ドスピード０．５ ｍｍ／ｍｉｎの条件で３点曲げ試験
を行い室温と１３００℃での強度を測定した。その結果
を第１表に示す。
（以下来夏余白）
第１表より、窒化珪素にＮｄＣｒ０．を１〜１０モル添
加することにより、１３００ ’Ｃまで室温強度が維持
でき、その値は１０１〜１１４ ｋｇ ／ ｔｍ ２程
度と大きいことがわかる。
加することにより、１３００ ’Ｃまで室温強度が維持
でき、その値は１０１〜１１４ ｋｇ ／ ｔｍ ２程
度と大きいことがわかる。
一方、本発明の組成範囲外の試料番号４，５は室温およ
び１３００″Ｃ強度が本発明品より劣ることがわかる。
び１３００″Ｃ強度が本発明品より劣ることがわかる。
実施例 ２
実施例１と同じ窒化珪素、Ｃｒ２Ｏ２、ＮｄｚＯｉ粉末
を用い、ＣｒｚＣｈとＮｄｚＯ３との配合比を変えて、
窒化珪素に対して焼結助剤量が５ｍｏｌχになるように
調整、混合した。
を用い、ＣｒｚＣｈとＮｄｚＯ３との配合比を変えて、
窒化珪素に対して焼結助剤量が５ｍｏｌχになるように
調整、混合した。
これを実施例１と同じ方法でホットプレス焼結したあと
、室温及び１３００″Ｃでの曲げ強度を測定した。この
結果を第２表に示す。
、室温及び１３００″Ｃでの曲げ強度を測定した。この
結果を第２表に示す。
（以下来夏余白）
Ｃｒ ２０１ とＮｄｚＯ：＋ との混合割合が３／７
〜７／３のときに、室温及び１３００°Ｃ強度ともに高
強度になることがわかる。
〜７／３のときに、室温及び１３００°Ｃ強度ともに高
強度になることがわかる。
一方、本発明の組成範囲外の試料番号９．１０は１３０
０’Ｃ強度において本発明品より劣ることがわかる。
０’Ｃ強度において本発明品より劣ることがわかる。
なお、実施例１、実施例２ではＣｒｚＯｘ−ＮｄｚＯ３
系について述べたが、その他にＣｒｚＯ３−Ｙ２Ｏ２、
ＣｒｚＯ：＋−ＬａｚＯ：＋ 、ＣｒｚＯ３−ＣｅＯｚ
、ＣｒｚＯｘ−Ｐｒ６０＋ ｌ、ＣｒｚＯｚ−５ｍｚ０
３、ＣｒｚＯ３−ＥｕｚＯ３、ＣｒｚＯ３−Ｇｄ、、０
．、、ＣｒｚＯ，３−Ｔｂ４Ｏ７、ＣｒｚＯ：＋−Ｄｙ
ｚＯ：＋ 、ＣｒｚＯ：＋−Ｈ０ｚＯ３、Ｃｒ２Ｏ：＋
−Ｅｒｚ０３、Ｃｒｚ（１３−ＹｂｚＯ３系についても
同様の効果が認められた。
系について述べたが、その他にＣｒｚＯ３−Ｙ２Ｏ２、
ＣｒｚＯ：＋−ＬａｚＯ：＋ 、ＣｒｚＯ３−ＣｅＯｚ
、ＣｒｚＯｘ−Ｐｒ６０＋ ｌ、ＣｒｚＯｚ−５ｍｚ０
３、ＣｒｚＯ３−ＥｕｚＯ３、ＣｒｚＯ３−Ｇｄ、、０
．、、ＣｒｚＯ，３−Ｔｂ４Ｏ７、ＣｒｚＯ：＋−Ｄｙ
ｚＯ：＋ 、ＣｒｚＯ：＋−Ｈ０ｚＯ３、Ｃｒ２Ｏ：＋
−Ｅｒｚ０３、Ｃｒｚ（１３−ＹｂｚＯ３系についても
同様の効果が認められた。
また、焼結方法としてはホットプレス焼結の場合につい
てのべたが、この方法に限らず、常圧焼結、雰囲気加圧
焼結、ＨＩＰ焼結等によっても本発明品を容易に得るこ
とができる。
てのべたが、この方法に限らず、常圧焼結、雰囲気加圧
焼結、ＨＩＰ焼結等によっても本発明品を容易に得るこ
とができる。
さらに、本発明の窒化珪素焼結体が好適である新しい技
術として、次のようなものがある。
術として、次のようなものがある。
すなわち、石炭と水とを混合したスラリ りＣＷＭ）を
火力発電用燃料として用いる新しい技術が開発中である
。第３図はこの燃料スラリを噴霧状にするバーナノズル
チップ部を示す。この部分には次の特性が要求される。
火力発電用燃料として用いる新しい技術が開発中である
。第３図はこの燃料スラリを噴霧状にするバーナノズル
チップ部を示す。この部分には次の特性が要求される。
■点火時あるいは燃料遮断時に対する耐熱衝撃性のある
こと（室温及び高温強度が大きい程良好）。
こと（室温及び高温強度が大きい程良好）。
■燃料を噴霧するために圧力媒体を用いるが、この圧力
に対する耐クリープ性のあること。
に対する耐クリープ性のあること。
■石炭に対する耐摩耗性の大きいこと。
■耐酸化性のあること。
従来の金属材料では上記特性を満足するものはなく、ノ
ズルチップのセラミクス化が検討されている。本発明の
窒化珪素焼結体は室温及び高温強度が大きく、その他の
特性も満たすことからＣＷ Ｍ用ハーナチソプ、石炭焼
焼ボイラバーナ材、石炭ガス化バーナ材として好適であ
る。
ズルチップのセラミクス化が検討されている。本発明の
窒化珪素焼結体は室温及び高温強度が大きく、その他の
特性も満たすことからＣＷ Ｍ用ハーナチソプ、石炭焼
焼ボイラバーナ材、石炭ガス化バーナ材として好適であ
る。
以上のように、本発明によれば室温ならびに高温強度に
優れた窒化珪素焼結体を得ることができるので、他軸性
の高いガスタービン部品等の高温構造材料を容易に製造
できる。更に、複数の希土類酸化物を用いる従来法に比
べると、安価なＣｒ２Ｏ３を用いるため低コストで製造
できる。
優れた窒化珪素焼結体を得ることができるので、他軸性
の高いガスタービン部品等の高温構造材料を容易に製造
できる。更に、複数の希土類酸化物を用いる従来法に比
べると、安価なＣｒ２Ｏ３を用いるため低コストで製造
できる。
第１図はＮｄｚＯ３−ＹｚＯ３系の状態図、第２図はＣ
ｒｚＯ，−Ｎｄ２０．系の状態図。第３図（イ）及び（
ロ）は火力発電用バーナーノズルチップである。 Ａ、Ｈ・・・・・・六方晶構造 Ｂ ・・・・・・・・・単斜晶構造 Ｃ，Ｘ・・・・・・立方晶構造 Ｐ ・・・・・・・・・ペロブスカイト構造代理人 弁
理士 平 木 祐 輔 第２図 Ｃｒ２０３−Ｎｄ２Ｏ３ 第３図 （イ） （ロ）
ｒｚＯ，−Ｎｄ２０．系の状態図。第３図（イ）及び（
ロ）は火力発電用バーナーノズルチップである。 Ａ、Ｈ・・・・・・六方晶構造 Ｂ ・・・・・・・・・単斜晶構造 Ｃ，Ｘ・・・・・・立方晶構造 Ｐ ・・・・・・・・・ペロブスカイト構造代理人 弁
理士 平 木 祐 輔 第２図 Ｃｒ２０３−Ｎｄ２Ｏ３ 第３図 （イ） （ロ）
Claims (3)
- （１）主成分としての窒化珪素の粉末に、酸化クロムと
希土類酸化物の配合割合がモル比で３／７〜７／３であ
る両酸化物粉末の混合粉末を、１〜１０モル％含有する
ように配合したことを特徴とする窒化珪素焼結体。 - （２）酸化クロム粉末及び、希土類酸化物がともに平均
粒径５μｍ以下、純度９９．９％以上であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の窒化珪素焼結体。 - （３）希土類酸化物は、イットリウム酸化物、ランタン
酸化物、セリウム酸化物、プラセオジム酸化物、ネオジ
ム酸化物、サマリウム酸化物、ユーロピウム酸化物、ガ
ドリニウム酸化物、テルビニウム酸化物、ジスプロシウ
ム酸化物、ホルミウム酸化物、エルビウム酸化物、イッ
テルビウム酸化物であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の窒化珪素焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178654A JPH0692270B2 (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 窒化珪素焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178654A JPH0692270B2 (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 窒化珪素焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6241764A true JPS6241764A (ja) | 1987-02-23 |
| JPH0692270B2 JPH0692270B2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=16052239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60178654A Expired - Lifetime JPH0692270B2 (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 窒化珪素焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0692270B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63248773A (ja) * | 1987-04-02 | 1988-10-17 | 京セラ株式会社 | 黒色系窒化けい素質焼結体 |
| JPH0259472A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 窒化珪素焼結体 |
| US5114888A (en) * | 1989-11-21 | 1992-05-19 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Silicon nitride sintered body and method for producing same |
| US8388848B2 (en) | 2006-03-31 | 2013-03-05 | Toray Industries, Inc. | Liquid separation device, flow channel material and process for producing the same |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5433511A (en) * | 1977-08-19 | 1979-03-12 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Method of making sintered body |
| JPS5860676A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-11 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 |
| JPS6077173A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-05-01 | 工業技術院長 | 窒化けい素焼結体およびその製造法 |
| JPS61151066A (ja) * | 1984-12-22 | 1986-07-09 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
-
1985
- 1985-08-15 JP JP60178654A patent/JPH0692270B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8388848B2 (en) | 2006-03-31 | 2013-03-05 | Toray Industries, Inc. | Liquid separation device, flow channel material and process for producing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0692270B2 (ja) | 1994-11-16 |
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