JPS6247783U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6247783U JPS6247783U JP13859285U JP13859285U JPS6247783U JP S6247783 U JPS6247783 U JP S6247783U JP 13859285 U JP13859285 U JP 13859285U JP 13859285 U JP13859285 U JP 13859285U JP S6247783 U JPS6247783 U JP S6247783U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- pump case
- head
- ultra
- panels
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000008014 freezing Effects 0.000 claims 1
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図は本考案に係るクライオポンプの縦断面
図、第２図は従来のクライオポンプの縦断面図、
第３図は従来の接合構造を示す断面図である。 １０……クライオポンプ、１１……ポンプケー
ス、１２……冷凍機、１３，１４……エキスパン
シヨンヘツド、１５……シールドパネル、１６…
…クライオパネル、１７……バツフルパネル、１
８……吸着剤、１９……高圧真空バルブ、２０…
…真空チヤンバ、２１……溝部、２２……補強用
突条部、２３……インジウムシート、２４……ネ
ジ。
図、第２図は従来のクライオポンプの縦断面図、
第３図は従来の接合構造を示す断面図である。 １０……クライオポンプ、１１……ポンプケー
ス、１２……冷凍機、１３，１４……エキスパン
シヨンヘツド、１５……シールドパネル、１６…
…クライオパネル、１７……バツフルパネル、１
８……吸着剤、１９……高圧真空バルブ、２０…
…真空チヤンバ、２１……溝部、２２……補強用
突条部、２３……インジウムシート、２４……ネ
ジ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ポンプケース内に配設された冷凍機のエキスパ
ンシヨンヘツドと、このヘツドに金属ガスケツト
を介して接合され、ポンプケース内を超低温状態
に保つシールドパネル、クライオパネル等のパネ
ル類とを備え、 上記超低温に冷却されたパネル表面上に空気中
のガスを凍結、吸着させることにより、真空チヤ
ンバ側からポンプケース側へ吸気を行なうクライ
オポンプにおいて、 前記パネル類とエキスパンシヨンヘツドとの接
合面は、その一方側面に溝部が、他方側面に補強
用突条部がそれぞれ形成され、上記溝部内に補強
用突条部が嵌合された状態で締結されていること
を特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13859285U JPH0113821Y2 (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13859285U JPH0113821Y2 (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6247783U true JPS6247783U (ja) | 1987-03-24 |
| JPH0113821Y2 JPH0113821Y2 (ja) | 1989-04-24 |
Family
ID=31043720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13859285U Expired JPH0113821Y2 (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0113821Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-09-10 JP JP13859285U patent/JPH0113821Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0113821Y2 (ja) | 1989-04-24 |
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