JPH0465970U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0465970U JPH0465970U JP10755090U JP10755090U JPH0465970U JP H0465970 U JPH0465970 U JP H0465970U JP 10755090 U JP10755090 U JP 10755090U JP 10755090 U JP10755090 U JP 10755090U JP H0465970 U JPH0465970 U JP H0465970U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refrigerator
- compressor
- compression ratio
- expansion rate
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 2
- 230000008014 freezing Effects 0.000 claims 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 claims 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図は本考案に係る真空ポンプの実施例を示
す要部断面側面図、第２図は従来の真空ポンプの
具体例を示す要部断面側面図である。 ７……ポンプ容器、１１……冷凍機、１２……
コンプレツサ、１３……フイードバツク手段。
す要部断面側面図、第２図は従来の真空ポンプの
具体例を示す要部断面側面図である。 ７……ポンプ容器、１１……冷凍機、１２……
コンプレツサ、１３……フイードバツク手段。
Claims (1)
- 供給された圧縮気体を急激に膨張させて冷却す
ると共に、膨張率を可変にした冷凍機と、上記冷
凍機を収納し、その周囲の気体分子を冷凍吸着さ
せて真空引きするポンプ容器と、上記冷凍機に圧
縮気体を供給して膨張気体を還流させると共に、
圧縮比を可変にしたコンプレツサと、上記ポンプ
容器内の圧力を検知して上記冷凍機とコンプレツ
サにフイードバツクし、その圧力に応じて上記膨
張率と圧縮比を変えるようにしたフイードバツク
手段とを具備したことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10755090U JPH0465970U (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10755090U JPH0465970U (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0465970U true JPH0465970U (ja) | 1992-06-09 |
Family
ID=31854119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10755090U Pending JPH0465970U (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0465970U (ja) |
-
1990
- 1990-10-11 JP JP10755090U patent/JPH0465970U/ja active Pending
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