JPS6248367B2 - - Google Patents

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JPS6248367B2
JPS6248367B2 JP15640281A JP15640281A JPS6248367B2 JP S6248367 B2 JPS6248367 B2 JP S6248367B2 JP 15640281 A JP15640281 A JP 15640281A JP 15640281 A JP15640281 A JP 15640281A JP S6248367 B2 JPS6248367 B2 JP S6248367B2
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JP
Japan
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weight
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pbo
sio
semiconductor
Prior art date
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JP15640281A
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JPS5857722A (ja
Inventor
Kyoshi Murase
Nobutate Yamaoka
Masayuki Fujimoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Publication date
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Priority to DE8282108979T priority patent/DE3274734D1/de
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Publication of JPS5857722A publication Critical patent/JPS5857722A/ja
Publication of JPS6248367B2 publication Critical patent/JPS6248367B2/ja
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  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
本発明は、見掛け比誘電率が大きく、損失が低
く、誘電率の温度変化率が小さいチタン酸ストロ
ンチウム系の粒界層型(境界層型)半導体磁器コ
ンデンサの磁器及びその製造方法に関するもので
ある。 コンデンサの小型化の要求に応えるために、例
えば、BaTiO3系えん層容量型コンデンサ、
BaTiO3系還元再酸化型コンデンサ、BaTiO3粒界
絶縁型コンデンサSrTiO3系粒界層型コンデンサ
等が開発されている。これ等の内の1つの
SrTiO3系粒界層型半導体磁器コンデンサとし
て、特公昭55−25489号公報に示されている
SrTiO3,Nb2O3,GeO2から成る磁器の結晶粒界
にPbO,Bi2O3,B2O3を含有させてなる半導体磁
器は、BaTiO3系半導体磁器コンデンサとほぼ同
じ見掛け比誘電率55000〜65000を有し、且つ
SrTiO3常誘電体を使用しているため小型で損失
係数tanδが小さく且つ比誘電率の温度特性も良
好なコンデンサを提供することが出来る。従つ
て、この磁器コンデンサをマイラコンデンサの領
域に使用することが可能になり、磁器コンデンサ
の市場が一段と拡大された。しかし、アルミ電解
コンデンサ、タルタルコンデンサ等の代りに磁器
コンデンサを使用するために、見掛け比誘電率の
一層の向上が要求されている。 そこで、本発明の目的は、見掛け比誘電率の高
いSrTiO3系粒界層型半導体磁器コンデンサのた
めの磁器及びその製造方法を提供することにあ
る。 上記目的を達成するための本願の第1番目の発
明は、SrTiO390.68〜99.88重量%、Nb2O50.07〜
5.32重量%、及びGeO20.05〜4.00重量%で100重
量%となる組成の主成分100重量部と、副成分と
して、SiO2の重量部/Al2O3の重量部が1.5〜5と
なるように前記SiO20.02〜0.10重量部及び前記
Al2O30.01〜0.03重量部と、を含有し、且つ半導
体結晶粒界に、PbOとBi2O3とB2O3とから成る絶
縁化物質を、PbO11.0〜58重量%、Bi2O339.0〜
86.9重量%、B2O30.3〜3.5重量%で100重量%と
なる組成比で前記主成分と前記副成分との合計
100重量部に対して0.3〜5重量部含有しているこ
とを特徴とする半導体磁器コンデンサの半導体磁
器に係わるものである。 上記本発明によれば、主成分と、副成分と、絶
縁化物質とを特定された状態に含有させることに
より、tanδと抵抗率を良好に保つた状態で見掛
け比誘電率を増大させることが可能になり、例え
ば、見掛け比誘電率が約100000以上、tanδが1
%以下、抵抗率が1011Ω・cm以上の半導体磁器コ
ンデンサを提供することが可能になる。 本願の第2番目の発明は、上記半導体磁器を製
造する方法に係わるものであり、PbO,Bi2O3
及びB2O3又はこれ等を得ることが出来る物質を
含むペーストを半導体磁器の表面に塗布し、拡散
することによつて半導体結晶粒界にPbO,
Bi2O3、及びB2O3を含有させることを特徴とする
ものである。この方法によれば、所望特性の半導
体磁器を容易に得ることが可能になる。 ところで、上記本発明は次の様な経緯によつて
完成した。一般に、粒界層型半導体磁器コンデン
サの場合、見掛けの比誘電率(εAPP)は、複雑
で半導体部の結晶粒子の大きさ(Gr)と粒界層
の厚み(Bt)と、粒界層に偏析する物質の比誘
電率(εb)とで決定され、次式で示される。 εAPP∝εb・Gr/Bt 従つて、見掛け比誘電率を大きくするには、半
導体部の結晶粒子を大きくすること、粒界層の厚
みを薄くすること、粒界層に偏析する物質の比誘
電率を大きくすることが重要である。本願出願人
等に係わる前述の特公昭55−25489号公報に示さ
れているSrTiO3系半導体磁器コンデンサでは、
粒界偏析物をBi2O3又はPbO―Bi2O3―B2O3系の
複合組成とすることによつて粒界層の比誘電率が
大きくなり、結果として性能良好なコンデンサが
得られた。又、SrTiO3系の半導体磁器の結晶粒
子を大きくする物質として、Nb2O5、GeO2の組
合せが良いことを示した。この時のSrTiO3系半
導体磁器の結晶粒子径は40〜60μmである。尚こ
れ以上の大きさになるものもあるが、小さいもの
も混在し、結果として、40〜60μm程度の結晶粒
子に基づく見掛けの比誘電率しか得られない。そ
こで、結晶粒子を更に大きくすることについて
種々の実験及び検討を行つた。その中の1つとし
て、ボールミルで半導体磁器原料を混合する時に
磁器ボールミルから混入する微量のAl2O3、SiO2
がどのように影響するかを検討した。従来、ボー
ルミルで半導体磁器原料を混合する際に、メデイ
アの不純物としてAl2O3、SiO2が混入することは
知られており、これ等が合計で1重量%以下であ
れば特性上問題ないとされていた。しかし、本願
発明者が、ゴムライニングボールを用いてSiO2
とAl2O3のメデイアからの混入を阻止し、今迄不
純物として混入されていたAl2O3とSiO2と結晶粒
子との関係を調べたところ、主成物がSrTiO3
Nb2O5とGeO2とから成り、絶縁化物質がPbOと
Bi2O3とB2O3とから成る半導体磁器に於いては、
Al2O3とSiO2との間に極めて重要な関係があるこ
とが判明した。即ち、SiO2/Al2O3の重量比が1.5
〜5となる範囲で且つ100重量部の主成分に対し
てSiO2を0.02〜0.10重量部、Al2O3を0.01〜0.03重
量部の範囲で付加すれば、tanδ及び抵抗率を良
好に保つた上で、半導体結晶粒子を大きくするた
めの添加物Nb2O5、GeO2の効果を増大させる働
きが生じ、平均結晶粒径が60〜120μmになるこ
とが判つた。 以下、実施例について述べる。 実施例 1 工業用のSrTiO3(不純物として、Ba、Fe、
Mn、Ca、Na、K等を微量含有)、Nb2O5
GeO2、SiO2及びAl2O3を第1表に示す組成となる
ように配合し、これ等に不純物が混入することを
防止するためにゴムライニングボール使用のゴム
ライニングミルで湿式混合をし、乾燥した後、ポ
リビニルアルコールのような公知のバインダを加
え、加圧成形機にて円板状に成形し、1000℃1時
間の熱処理によりバインダを除去した後、99%
N2―1%H2の弱還元性の雰囲気中において、
1350〜1450℃、2〜4時間焼結し、大きさがそれ
ぞれ直径約8mm、厚さ約0.4mmの円板状半導体磁
器を作製した。 次に、これらの円板状半導体磁器の片主面に
PbO粉末50重量%、Bi2O3粉末45重量%、B2O3
末5重量%で100重量%となるように配合された
絶縁化物質に有機バインダとしてニトロセルロー
ス及びブチルカルビトールを加えてペーストを作
製し、これを半導体磁器(重量約100mg)に対し
て10重量%(10mg)、スクリーン印刷で塗布し、
酸化雰囲気中で1150〜1300℃の範囲の一定温度で
2時間焼成し、半導体磁器粒界層に拡散し、この
粒界層を絶縁体化した。尚、ペーストの配合を絶
縁化物質約80重量%、有機バインダ約10重量%、
溶媒約10重量%とした。これにより、第1図に模
式的に示す半導体結晶粒子1と絶縁化された粒界
層2とから成る半導体磁器3が完成した。しかる
後、この半導体磁器3の両主面に銀ペーストを塗
布し、焼付けることによつて一対のコンデンサ電
極4,5を形成し、半導体磁器コンデンサとし
た。尚上記ペースト中のPbO、Bi2O3及びB2O3
上記焼成時における蒸発等のために半導体磁器中
に全部拡散せず、一部のみが拡散する。即ち、各
成分の拡散量は半導体磁器の組成によつて異な
り、本実施例の組成の磁器に於ける塗布量に対す
る拡散量の割合は、PbOで6.16〜14.36%の範
囲、Bi2O3で12.82〜29.91%の範囲、B2O3で3.0〜
7.2%の範囲である。従つて、磁器中に於ける各
成分の拡散量は、100重量部の磁器に対して、
PbOが0.308〜0.718重量部、Bi2O3が0.577〜1.346
重量部、B2O3が0.015〜0.036重量部となる。そし
て、100重量部の磁器に対するPbOとBi2O3
B2O3の合計拡散量は0.9〜2.1重量部となる。 このようにして得られた各試料について、見掛
けの比誘電率ε、誘電体損失tanδ、抵抗率ρを
測定したところ、第1表に示す結果が得られた。
尚、εとtanδは1kHzで測定し、ρは直流50Vを
印加して1分間経過した後に測定した。 第1表に於いて、主成分のSrTiO3とNb2O5
GeO2との重量%の総和が100重量%である。また
副成分のSiO2とAl2O3とは、主成分100重量部に
対する重量部で示されている。
【表】
【表】
【表】 第1表から明らかなように、本発明で特定され
ている範囲に入る組成比を有する試料番号7,
8,10〜19,21〜32,34〜36,38〜42の磁器によ
れば、εが77000〜153000、tanδが0.4〜0.8%ρ
が1〜2×1011Ω・cmとなる。一方、本発明の範
囲外である試料番号1〜6,9,20,33,37,43
〜48の磁器から明らかなように、SiO2/Al2O3
重量比が1.5未満範囲では80000以上のεを得るこ
とが出来ず、また上記比が5を越えた範囲では、
tanδ又はρが悪くなる。また、SiO2が100重量部
の主成分に対して0.02重量部未満であるとεを
80000以上にすることが出来ず、またこれが0.1重
量部を越すと、大きなεが得られなくなる。また
Al2O3が0.01重量部末満であると、80000以上のε
を得ることが不可能になり、これが0.03重量部を
越えると、εが80000以下になる。従つて、SiO2
及びAl2O3の好ましい範囲は、SiO2/Al2O3の重
量比が1.5〜5であると共に、SiO2が0.02〜0.1〜
重量部、Al2O3が0.01〜0.03重量部の範囲であ
る。 尚本発明の範囲内の試料の比誘電率εの温度特
性は第2図に示されるように、20℃の比誘電率を
基準にし、−25℃〜+85℃の範囲において負の温
度側で+15%以内の斜線領域、正の温度側で−15
%以内の斜線領域にすべての試料のものが入つ
た。 実施例 2 実施例1に於けるペーストの絶縁化物質(拡散
物質)としてのPbO、Bi2O3、B2O3の比率のみを
第2表に示すように変化させ、製造方法は実施例
1と同一として磁器コンデンサを作製し、電気的
特性を測定したところ、第2表に示す結果が得ら
れた。
【表】
【表】 この第2表の試料番号49,52,54〜57,59,62
〜66,69,71〜73,75,77〜79から明らかなよう
に、PbOが32〜61重量%、Bi2O334〜64重量%、
B2O3が2〜10重量%の範囲では大きなεを有
し、tanδ及びρも優れている磁器を得ることが
出来る。一方、本発明の範囲外である試料番号
50,51,53,58,60,61,67,68,70,74,76か
ら明らかなように、PbO、Bi2O3、B2O3の比が本
発明の範囲外となれば所望の特性を得ることが不
可能になる。従つて、絶縁化物質の好ましい組成
比は、PbOが32〜61重量%、Bi2O3が34〜64重量
%、B2O3が2〜10重量%である。 また、絶縁化物質の塗布量及び加熱温度及び加
熱時間等を種々変えることによつて、絶縁化物質
の拡散量の異なる磁器を作製し、所望特性が得ら
れる磁器に於ける絶縁化物質の拡散量を求めたと
ころ、磁器100重量部に対して0.3〜5重量部であ
つた。そして、絶縁化物質の組成比の範囲は、
PbO11〜58重量%、Bi2O339〜86.9重量%、
B2O30.3〜3.5重量%であつた。絶縁化物質が0.3
重量部未満の場合及び5重量部を越える場合のい
ずれに於いても所望の特性を得ることが困難にな
る。 以上、本発明の実施例について述べたが、本発
明はこれに限定されるものではなく、更に変形可
能なものである。例えば、本発明の特徴を阻害し
ない範囲で他の特性改善物質を付加しても差支え
ない。また、PbO、Bi2O3、B2O3の粉末にてペー
ストを作製せずに、絶縁化のための拡散加熱で
PbO、Bi2O3、B2O3に変換される物質を磁器の一
方又は両方の主面に塗布して、最終的に磁器の中
にPbO、Bi2O3、B2O3を偏在させてもよい。ま
た、PbO、Bi2O3、B2O3に変換することが出来る
物質の配合物を作り、これを例えば1000℃で焼成
し、PbO―Bi2O3―B2O3の組成物を作り、これを
粉砕した粉末でペーストを作つて塗布してもよ
い。また、最初の原料をSrTiO3、Nb2O5
GeO2、SiO2、Al2O3、PbO、Bi2O3、B2O3等とせ
ずに、これ等を得るための物質を原料としてもよ
い。例えばSrTiO3を炭酸ストロンチウムと酸化
チタンとから得るようにしてもよい。またゴムラ
イニングボールに限らずに、SiO2とAl2O3とが不
純絶物として混入する恐れのない他の容器を使用
して主成分と副成分との原料を混合するようにし
てもよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例に係わる磁器コンデン
サを模式的に示す断面図、第2図は温度変化に対
する比誘電率の変化率を示す特性図である。 尚図面に用いられている符号に於いて、1は粒
子、2は粒界層、3は磁器、4,5は電極であ
る。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 SrTiO390.68〜99.68重量部とNb2O50.07〜
    5.32重量%とGeO20.05〜4.00重量%とで100重量
    %となる主成分100重量部、 SiO2 0.02〜0.10重量部、 Al2O3 0.01〜0.03重量部、 (但し、前記SiO2の重量部及び前記Al2O3の重
    量部は、SiO2の重量部/Al2O3の重量部が1.5〜
    5.0となる範囲内である) を有し、更に、PbO11.0〜58重量%とBi2O339.0
    〜86.9重量%とB2O30.3〜3.5重量%とで100重量
    %になる比率で前記PbOと前記Bi2O3と前記B2O3
    とを含有し、前記PbOと前記Bi2O3と前記B2O3
    の合計重量部が前記主成成分と前記SiO2と前記
    Al2O3との合計100重量部に対して0.3〜5重量部
    とされていることを特徴とするコンデンサ用半導
    体磁器。 2 SrTiO390.68〜99.68重量%とNb2O50.07〜
    5.32重量%とGeO20.05〜4.00重量%とで100重量
    %となる主成分100重量部、 SiO2 0.02〜0.10重量部、 Al2O3 0.01〜0.03重量部、 (但し、前記SiO2の重量部及び前記Al2O3の重
    量部は、SiO2の重量部/Al2O3の重量部が1.5〜
    5.0となる範囲内である) から成る半導体磁器を作製する工程と、 前記半導体磁器の少なくとも一方の主面にPbO
    又は加熱処理によつてPbOになる物質と、Bi2O3
    又は加熱処理によつてBi2O3になる物質と、B2O3
    又は加熱処理によつてB2O3になる物質とをPbO
    に換算して32〜61重量%、Bi2O3に換算して34〜
    64重量%、B2O3に換算して2〜10重量%で100重
    量%となるような比で含むペーストを、前記半導
    体磁器100重量部に対して1〜15重量部塗布し、
    しかる後加熱処理することによつて前記半導体磁
    器の結晶粒界にPbO,Bi2O3、及びB2O3を拡散さ
    せる工程と、 を含む半導体磁器の製造方法。
JP15640281A 1981-10-01 1981-10-01 半導体磁器コンデンサの半導体磁器及びその製造方法 Granted JPS5857722A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63199895U (ja) * 1987-06-13 1988-12-22

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JPS63199895U (ja) * 1987-06-13 1988-12-22

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