JPS626261A - 印刷配線基板の自動露光装置 - Google Patents
印刷配線基板の自動露光装置Info
- Publication number
- JPS626261A JPS626261A JP60145264A JP14526485A JPS626261A JP S626261 A JPS626261 A JP S626261A JP 60145264 A JP60145264 A JP 60145264A JP 14526485 A JP14526485 A JP 14526485A JP S626261 A JPS626261 A JP S626261A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- printed wiring
- exposure
- machine
- glass plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は印刷配線基板の外側に設けられた銅箔に、必
要な回路ぷターンを露光する自動露光機に関するもので
ある。
要な回路ぷターンを露光する自動露光機に関するもので
ある。
印刷配線基板は、外側に銅箔を一体に成形後。
必要な回路パターンを露光し、不要部を剥離後残った部
分にメッキ等の表面処理を行ない完成する。第5図は従
来の例による印刷配線基板に必要な回路パターンを、露
光する自動露光機を示す断面図である。
分にメッキ等の表面処理を行ない完成する。第5図は従
来の例による印刷配線基板に必要な回路パターンを、露
光する自動露光機を示す断面図である。
図において、:1)は印刷配線基板(2)を乗せ、順に
搬送機(3)に送る投入機で、投入機駆動部(4)によ
り常に一定の位置に基板12)を保持している。また(
5)は基板(2)を1枚ずつ吸上げ搬送する搬送用吸盤
(6)を備えたキャリヤで、矢印Aの左右方向にガイド
(7)に沿って移動部(8)により移動する。(9)は
搬送機(3)により運ばれ、露光部ガラス板a・の上に
置かれた基板(2)を押える基板押えで、矢印B方向に
上下し、真空吸盤部aDにて基板(2)を固定する。@
は固定後の基板(2)に露光部ガラス板aQを経由して
露光する光源である。峙は露光後、搬送機(3)にて運
ばれた基板(2)を受取る受取り機である。
搬送機(3)に送る投入機で、投入機駆動部(4)によ
り常に一定の位置に基板12)を保持している。また(
5)は基板(2)を1枚ずつ吸上げ搬送する搬送用吸盤
(6)を備えたキャリヤで、矢印Aの左右方向にガイド
(7)に沿って移動部(8)により移動する。(9)は
搬送機(3)により運ばれ、露光部ガラス板a・の上に
置かれた基板(2)を押える基板押えで、矢印B方向に
上下し、真空吸盤部aDにて基板(2)を固定する。@
は固定後の基板(2)に露光部ガラス板aQを経由して
露光する光源である。峙は露光後、搬送機(3)にて運
ばれた基板(2)を受取る受取り機である。
従来の例による印刷配線基板の自動露光装置は以上の様
に構成され2次の様に露光される0露光前の基板(2)
は投入機(!)により順に一定の位置に保持され、搬送
機(3)にある搬送用吸盤(6)にて吸い上げられ、キ
ャリヤ(5)に固定される。次にキャリヤ(5)はガイ
ド(7)に沿って矢印A方向に露光部ガラス板α呻の上
に移動し、搬送用吸盤(6)による吸上げは解除されて
基板(2)は露光部ガラス板α〔の上に乗せられ、キャ
リヤ(5)は投入機(1)の上に戻る。
に構成され2次の様に露光される0露光前の基板(2)
は投入機(!)により順に一定の位置に保持され、搬送
機(3)にある搬送用吸盤(6)にて吸い上げられ、キ
ャリヤ(5)に固定される。次にキャリヤ(5)はガイ
ド(7)に沿って矢印A方向に露光部ガラス板α呻の上
に移動し、搬送用吸盤(6)による吸上げは解除されて
基板(2)は露光部ガラス板α〔の上に乗せられ、キャ
リヤ(5)は投入機(1)の上に戻る。
その後基板押え(9)が矢印Bの方向に移動し、基板(
2)を所定の位置に置き、真空吸盤部aυにて基板(2
)を露光部ガラス板α1に密着固定後、光源azよりの
光により基板(2)の銅箔部に所定の回路パターンを露
光する。露光完了後基板押え(9)は矢印Bの上方に移
動し、投入機(1)の上に戻っていたギヤリヤ(5)が
露光完了した基板(2)の上に移動し、搬送用吸盤(6
)にて基板(2)を吸上げ受取り機@3に移動し、受取
り機構に基板(2)は置かれ9次の工程に備える。
2)を所定の位置に置き、真空吸盤部aυにて基板(2
)を露光部ガラス板α1に密着固定後、光源azよりの
光により基板(2)の銅箔部に所定の回路パターンを露
光する。露光完了後基板押え(9)は矢印Bの上方に移
動し、投入機(1)の上に戻っていたギヤリヤ(5)が
露光完了した基板(2)の上に移動し、搬送用吸盤(6
)にて基板(2)を吸上げ受取り機@3に移動し、受取
り機構に基板(2)は置かれ9次の工程に備える。
従来の例による印刷配線基板の自動露光装置は以上のよ
うに基板は搬送機により露光部ガラス板の上まで搬送さ
れ基板が露光部ガラス板に乗せられた後1次に基板押え
が上から降りて基板を所定の位置に固定し、真空吸盤部
により露光部ガラス板に密着、固定される装置となって
いる。従って搬送機と基板押えの2つの装置によ6基板
が搬送される構造であるため、はこり等が基板及び露光
部ガラス板へはこばれて乗りやすく、はこりにより異常
な回転パターンが露光されてしまうという問題点があっ
た。
うに基板は搬送機により露光部ガラス板の上まで搬送さ
れ基板が露光部ガラス板に乗せられた後1次に基板押え
が上から降りて基板を所定の位置に固定し、真空吸盤部
により露光部ガラス板に密着、固定される装置となって
いる。従って搬送機と基板押えの2つの装置によ6基板
が搬送される構造であるため、はこり等が基板及び露光
部ガラス板へはこばれて乗りやすく、はこりにより異常
な回転パターンが露光されてしまうという問題点があっ
た。
また搬送機と基板押えの2つの機構により基板を搬送し
、固定しているため、設備が大型になりやすく、占有面
積、コスト等が大きくなるという問題点があった。
、固定しているため、設備が大型になりやすく、占有面
積、コスト等が大きくなるという問題点があった。
この発明による印刷配線基板の自動露光装置は上記の問
題点を解決するためになされたもので。
題点を解決するためになされたもので。
搬送機で基板を露光機上に搬送後、そのまま固定し基板
を押えた後、露光し受取り機まで引き続いて搬送する作
業を1つの機構で行なわせ、小型で効率の良い装置を得
ることを目的とする。
を押えた後、露光し受取り機まで引き続いて搬送する作
業を1つの機構で行なわせ、小型で効率の良い装置を得
ることを目的とする。
この発明による印刷配線基板の自動露光装置は。
印刷配線基板の投入機と、軟質フィルムが支持板に設け
られ、印刷配線基板を吸着して露光機へ搬送する搬送用
吸盤を有し、露光部ガラス盤の上に搬送後、露光部に設
けられた吸引口から真空引きして軟質フィルムにより基
板を固定し、露光の後真空引きを解除した基板を受取り
機まで搬送する一連の作業を行なう搬送機を有する自動
露光装置である。
られ、印刷配線基板を吸着して露光機へ搬送する搬送用
吸盤を有し、露光部ガラス盤の上に搬送後、露光部に設
けられた吸引口から真空引きして軟質フィルムにより基
板を固定し、露光の後真空引きを解除した基板を受取り
機まで搬送する一連の作業を行なう搬送機を有する自動
露光装置である。
この発明による印刷配線基板の自動露光装置は。
搬送機により基板t″露光機まで搬送し、露光機に設け
られた真空引き装置と合わせて基板を固定し露光する。
られた真空引き装置と合わせて基板を固定し露光する。
露光後真空引きを解除して基板を搬送機により受取り機
まで続けて搬送し、l!先光時独立した基板押え機構を
不要にする。
まで続けて搬送し、l!先光時独立した基板押え機構を
不要にする。
第1〜第4図はこの発明の一実施例による印刷用配線基
板の自動露光装置を示し、第1図はこの装置の正面図、
第2図は第1図の矢印Cの方向から見た側面図である。
板の自動露光装置を示し、第1図はこの装置の正面図、
第2図は第1図の矢印Cの方向から見た側面図である。
第3図、第4図は第2図のD −D断面図で第3図は基
板t−露光機に搬送した状態を示し、第4図は基板が固
定された状態を示す図であル。図にオイテIx+ 、
(21、(4) 〜(81、al 、αa。
板t−露光機に搬送した状態を示し、第4図は基板が固
定された状態を示す図であル。図にオイテIx+ 、
(21、(4) 〜(81、al 、αa。
復尋は従来の例と同一または相崩品である。(至)は合
成樹脂またはゴム等の軟質フィルム(40) ’iキャ
リヤ(5)の搬送用吸盤(6)の支持板(50)に設け
、基板(2)を搬送する搬送機である。(60)は露光
部にあり、露光部ガラス板lleが固定された支持部で
、露光部ガラス仮置が乗る面には、ゴムまたは合成樹脂
等のパツキン(70)が露光部ガラス仮置を囲んで設け
られている。
成樹脂またはゴム等の軟質フィルム(40) ’iキャ
リヤ(5)の搬送用吸盤(6)の支持板(50)に設け
、基板(2)を搬送する搬送機である。(60)は露光
部にあり、露光部ガラス板lleが固定された支持部で
、露光部ガラス仮置が乗る面には、ゴムまたは合成樹脂
等のパツキン(70)が露光部ガラス仮置を囲んで設け
られている。
(80)は露光部の支持部(60)に設けられた吸引孔
で、露光部に設けられた真空装置(図示していない)に
直結している。
で、露光部に設けられた真空装置(図示していない)に
直結している。
一実施例による印刷配線基板の自動露光装置は以上のよ
うに構成され、基板は次の様に露光される。まず投入機
(1)により所定の高さに維持されている基板(2)の
上に搬送機(至)のキャリヤ(5)が移動し。
うに構成され、基板は次の様に露光される。まず投入機
(1)により所定の高さに維持されている基板(2)の
上に搬送機(至)のキャリヤ(5)が移動し。
搬送用吸盤(6)にて基板(2)を持ち上げ、矢印Eの
方向に移動し、露光部ガラス板α呻の上に到り、第3図
に示す様に露光部ガラス装置の所定の位置に基板(2)
t−置く。
方向に移動し、露光部ガラス板α呻の上に到り、第3図
に示す様に露光部ガラス装置の所定の位置に基板(2)
t−置く。
ここで露光部に設けられた真空装置(図示していない)
により第4図の矢印Fの方向に吸引孔(80)から真空
引きを行なうと、軟質フィルム(40) 。
により第4図の矢印Fの方向に吸引孔(80)から真空
引きを行なうと、軟質フィルム(40) 。
支持部(60) 、パツキン(70)で構成される空間
の空気が吸引され、大気圧により軟質フィルム(40)
は第4図に示すように基板(2)や搬送用吸盤((i)
、 パツキン(70)に沿って変形し、基板(2)に
密着し、基板(2)を固定する。次に光源Q3からの光
が露光部ガラス板αIt通過して基板(2)に到り、露
光部ガラス板α呻に書かれた回路パターンで露光される
。露光後真空装置(図示していない)による真空引きを
解除し、搬送用吸盤(6)で基板(2)を持ち上げ、キ
ャリヤ(5)を右に移動し、受取り機0上に搬送し、搬
送用吸盤(6)の吸上げを解除し、基板(2)は受取り
機Q3に置かれ、露光は完了する。
の空気が吸引され、大気圧により軟質フィルム(40)
は第4図に示すように基板(2)や搬送用吸盤((i)
、 パツキン(70)に沿って変形し、基板(2)に
密着し、基板(2)を固定する。次に光源Q3からの光
が露光部ガラス板αIt通過して基板(2)に到り、露
光部ガラス板α呻に書かれた回路パターンで露光される
。露光後真空装置(図示していない)による真空引きを
解除し、搬送用吸盤(6)で基板(2)を持ち上げ、キ
ャリヤ(5)を右に移動し、受取り機0上に搬送し、搬
送用吸盤(6)の吸上げを解除し、基板(2)は受取り
機Q3に置かれ、露光は完了する。
以上の様に、この発明による印刷配線基板の自動露光装
置は印刷配線基板を自動的に投入する投入機と、投入後
の印刷配線基板を吸着し搬送する吸盤により、吸盤を支
持する支持板に設けられた軟質フィルムを伴って横方向
に露光機へ搬送し。
置は印刷配線基板を自動的に投入する投入機と、投入後
の印刷配線基板を吸着し搬送する吸盤により、吸盤を支
持する支持板に設けられた軟質フィルムを伴って横方向
に露光機へ搬送し。
上下方向に移動し所定の位置に基板を設置後、露光機に
設けられた真空装置により真空引きし、軟質フィルムを
密着させ、露光し、真空引きを解除してそのまま吸盤に
て基板を持ち上げ受取り機へ搬送する搬送機と、搬送後
の基板を受取る受取り機で構成されているので、露光時
に基板を別途押える押え機構を不要にする効果がある。
設けられた真空装置により真空引きし、軟質フィルムを
密着させ、露光し、真空引きを解除してそのまま吸盤に
て基板を持ち上げ受取り機へ搬送する搬送機と、搬送後
の基板を受取る受取り機で構成されているので、露光時
に基板を別途押える押え機構を不要にする効果がある。
またキャリヤの支持板に軟質フィルムを設け。
この支持板に支持されている吸盤により基板を吸上げ、
露光部ガラス板の上に乗せ、露光部に設けられた真空装
置により真空引きすると吸盤の形状に係わりなく軟質フ
ィルムが基板に密着するため。
露光部ガラス板の上に乗せ、露光部に設けられた真空装
置により真空引きすると吸盤の形状に係わりなく軟質フ
ィルムが基板に密着するため。
基板と露光部ガラス板が確実に密着し、精度良く露光さ
れる効果がある。
れる効果がある。
あるいは搬送機と基板押え機構により基板を移しかえて
露光することがないので、露光部ガラス板へのほこりの
介入する頻度が少なくなり、異常な回路パターンが露光
されることが防止される効果がある。
露光することがないので、露光部ガラス板へのほこりの
介入する頻度が少なくなり、異常な回路パターンが露光
されることが防止される効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による印刷配線基板の自動
露光装置を示す正面図、第2図は第1図の側面板、第3
図、第4図は第2図のD−D断面図である。第5図は従
来の例による印刷配線基板の自動露光装置を示す図であ
る。 図において(1)は投入機、(2)は印刷配線基板、(
6)は搬送用吸盤、 IIIは露光部ガラス板、(1:
Iは受取り機、 (40)は軟質フィルム、 (50)
は叉持台、 (80)は吸引口である。 各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
露光装置を示す正面図、第2図は第1図の側面板、第3
図、第4図は第2図のD−D断面図である。第5図は従
来の例による印刷配線基板の自動露光装置を示す図であ
る。 図において(1)は投入機、(2)は印刷配線基板、(
6)は搬送用吸盤、 IIIは露光部ガラス板、(1:
Iは受取り機、 (40)は軟質フィルム、 (50)
は叉持台、 (80)は吸引口である。 各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 印刷配線基板を自動的に投入する投入機と、この投入
された印刷配線基板を吸着し搬送する搬送用吸盤を有し
、横方向および上下方向に移動する搬送機と、この搬送
機により搬送され、露光部ガラス板上で位置合わせされ
た印刷配線基板を露光する露光機と、露光後搬送機によ
り搬送された印刷配線基板を受取る受取機とからなる印
刷配線基板の自動露光装置において、搬送用吸盤を支持
している支持板に軟質フィルムを取付け、印刷配線基板
の露光時露光部ガラス板の支持部に設けられた吸引口か
ら真空引きして、この軟質フィルムを印刷配線用基板に
密着固定するとともに、露光後は真空引きを解除して印
刷配線基板を搬出することを特徴とする印刷配線基板の
自動露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60145264A JPS626261A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 印刷配線基板の自動露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60145264A JPS626261A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 印刷配線基板の自動露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS626261A true JPS626261A (ja) | 1987-01-13 |
Family
ID=15381107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60145264A Pending JPS626261A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 印刷配線基板の自動露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS626261A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5122347A (en) * | 1990-12-31 | 1992-06-16 | Ag Communication Systems Corporation | Vertical ultraviolet exposure unit |
-
1985
- 1985-07-02 JP JP60145264A patent/JPS626261A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5122347A (en) * | 1990-12-31 | 1992-06-16 | Ag Communication Systems Corporation | Vertical ultraviolet exposure unit |
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