JPS6271863U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6271863U JPS6271863U JP16280385U JP16280385U JPS6271863U JP S6271863 U JPS6271863 U JP S6271863U JP 16280385 U JP16280385 U JP 16280385U JP 16280385 U JP16280385 U JP 16280385U JP S6271863 U JPS6271863 U JP S6271863U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- implantation
- shutter
- ion
- ion beam
- amount
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 7
- 239000007943 implant Substances 0.000 claims description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図はイオン注入装置の概略説明図、第２図
はビームシヤツターとビームの相対位置関係図、
第３図は分割型ビームシヤツターの概略図である
。 １…イオン源、２…イオンビーム、３…ビーム
シヤツター、４…シヤツター駆動装置、５…ウエ
ーハ、６…ウエーハ搬送装置、７…打込みチヤン
バー。
はビームシヤツターとビームの相対位置関係図、
第３図は分割型ビームシヤツターの概略図である
。 １…イオン源、２…イオンビーム、３…ビーム
シヤツター、４…シヤツター駆動装置、５…ウエ
ーハ、６…ウエーハ搬送装置、７…打込みチヤン
バー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 固定した大口径イオンビームを用い、固定し
た基板（ウエーハ）に所定の注入量を均一にイオ
ン注入するイオン打込装置において、注入口径の
開口を中央にもつビームシヤツターを一方行に移
動することにより、イオン注入の開始から終了ま
でを一連の動作で行い、シヤツターの移動期間に
おける基板両端の注入量を等しくすることを特徴
とするイオンビームシヤツター。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項において、注
入の開始と終了をイオンビームシヤツター移動方
向を逆転することにより行うことを特徴とするイ
オンビームシヤツター。 ３ 実用新案登録請求の範囲第１項において、ビ
ームシヤツターの開口部周辺を分割し、それぞれ
にイオン電流検出器を接続し、イオン注入開始前
、注入中、注入後のイオン量を検出することによ
りイオン量と分布を測定し、イオンビームの偏向
、注入時間を観測、制御することを特徴とするイ
オンビームシヤツター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16280385U JPS6271863U (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16280385U JPS6271863U (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6271863U true JPS6271863U (ja) | 1987-05-08 |
Family
ID=31090411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16280385U Pending JPS6271863U (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6271863U (ja) |
-
1985
- 1985-10-25 JP JP16280385U patent/JPS6271863U/ja active Pending
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