JPS6284447A - 光メモリ素子基板用スタンパ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、レーザ光等の光学的手段により情報の記録・
再生・消去等を行う光メモリ素子の製造に用いられる光
メモリ素子基板用スタンパの改良に関するものである。

（従来の技術） 近年、大容置、高密度、高速アクセス化の可能な光メモ
リ素子への要望が高まる中で、アクリル樹脂等の合成樹
脂を基板とする光メモリ素子の研究開発が活発に行われ
ている。

従来、このような合成樹脂基板の製造にはスタンパを必
要とし、この種のスタンパは多くの場合衣の２種の方法
で製造された。

第１の方法は、ガラス板−１−に感光層を形成し、その
感光層にレーザ光等で情作信号またはガイドトランクを
記録した後、導電膜をコートし、次に電鋳法によりスタ
ンパを製造する方法である。

また、第２の方法は、Ｎｉ等の金属板上に感光層を形成
し、その感光層にレーリ′光等で情報信号またはガイド
トラックを記録した後、前記感光層をマスクとして金属
板をエツチングし、この金属板をスタンパとする方法で
ある。この第２の方法により製造されたスタンパの一例
を第２図に示す。

なお、図中、符号ａは金属板、ｂは情報ビットまたはガ
イドトランクである。

（発明が解決しようとする問題点） ところで、従来、上記第２の方法において使用される金
属にはＮｉが用いられてきたが、スタンパとしての表面
硬度が十分ではなく、このため繰り返し使用していくう
ちに表面形状が崩れてくるという問題点があった。この
ような現象は、基板に使用する合成樹脂の粘度が高い場
合や、流動性の悪い状態での使用時に顕著で、スタンパ
の寿命を縮める原因となってきた。

（問題点を解決するための手段） 本発明の光メモリ素子基板用スタンパは、表面が窒化物
でコーティングされたものである。

（作用） 表面にコーティングされた窒化物により、スタンパの表
面硬度が高められ、耐久性が改善される。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図は、本発明に係る光メモリ素子基板用スタンパの
構成を示し、このスタンパは、例えばＮｉ等の金属板１
の表面にｊＩＮ層２が形成されたものである。

金属板１は、Ｎｉ板の表面に感光層を形成し、その感光
層にレーザ光等で情報信号またはガイドトランクを記録
した後、前記感光層をマスクとして表面をエツチングす
ることにより製造されたもので、表面には情報ビットま
たはガイドトラック３・・・が形成されている。

ＡＪＮ層２は、」二記のようにして形成された金属板１
の表面にスパッタ法に３Ｌり適宜の厚みに形成されたも
のである。このＡＮＮ層２は、そのモース硬度が７であ
り、Ｎ１の金属板１のモース硬度が３．８であるのに対
して極′めて高く、したがってスタンパの表面硬度が従
来のものよりも高いものである。

なお、金属板１の表面にコーティングする窒化物は本発
明の主旨の範囲であればＡＩＮに限定されるものではな
く、例えばＳｉＮ、ＢＮ、ＴＩＮ。

ＴａＮ等の他の窒化物であってもよい。また、金属板ｌ
もＮｉに限定されるものではない。

（発明の効果） 本発明によれば、スタンパの耐久性が従来のものに比べ
て大幅に長くなるだけでなく、光メモリ素子の基板とし
て、従来使用不可能であった粘度の高い合成樹脂や流動
性の低い状態での合成樹脂が使用可能となる。また、ス
タンパの金属も硬度が従来はど高いものである必要はな
くなるため、Ｎｉ以外の選択が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る光メモリ素子基板用スタンパの一
実施例を示す断面図、第２図は従来の光メモリ素子基板
用スタンパを示す断面図である。 １・・・金属板　　　　　２・・・ＡＩＮ層第７図 ト

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）金属板を素材とする光メモリ素子基板用スタンパに
   おいて、 表面が窒化物でコーティングされたことを特徴とする光
   メモリ素子基板用スタンパ。