JPS6284448A - 光メモリ素子基板用スタンパ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はレーザ光等の光学的手段により情報の記録・再
生・消去等を行う光メモリ素子の製造に用いられる光メ
モリ素子基板用スタンパの改良に関するものである。

（従来の技術） 近年、大容量、高密度、高速アクセス化の可能な光メモ
リ素子への要望が高まる中で、アクリル樹脂等の合成樹
脂を基板とする光メモリ素子の研究開発が活発に行われ
ている。

従来、このような合成樹脂基板の製造にはスタンパを必
要とし、この種のスタンパは多くの場合衣の２種の方法
で製造された。

第１の方法は、ガラス板−にに感光層を形成し、その感
光層にレーザ光等で情報信号またはガイドトラックを記
録した後、導電膜をコートし、次に電鋳法によりスタン
パを製造する方法である。

また、第２の方法は、金属板上に感光層を形成し、その
感光層にレーザ光等で情報信号またはガイドトラックを
記録した後、前記感光層をマスクとして金属板をエツチ
ングし、この金属板をスタンパとする方法である。

（発明が解決しようとする問題点） ところで、従来、上記第２の方法において使用される金
属にはＮｉが用いられてきたが、スタンパとしての表面
硬度が十分ではなく、このため繰り返し使用していくう
ちに表面形状が崩れてくるという問題点があった。この
ような現象は、基板に使用する合成樹脂の粘度が高い場
合や流動性の悪い状態での使用時に顕著で、スタンパの
寿命を縮める原因となってきた。

（問題点を解決するための手段） 本発明の光メモリ素子基板用スタンパは、基材上に窒化
物層が形成され、この窒化物層に情報ビット、ガイドト
ラック等が形成されたものである。

（作用） 情報ビット、ガイドトラック等が形成されるスタンパ表
面が窒化物層であることにより、スタンパの表面硬度が
高く、耐久性に優れたものとなる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第４図において、本発明に係る光メモリ素子基板用スタ
ンパは、例えばガラス板またはＡｊ！、Ｎｉ等の金属板
からなる基材ｌ上に窒化物層２が形成され、この窒化物
層２に情報ビット、ガイドトラック等が形成されたもの
である。

上記窒化物層２としては、例えばＡ　Ｉ　Ｎ、　ＳｉＮ
。

ＴｉＮ、ＴａＮ、ＢＮ等が挙げられる。

次に、上記のようになる光メモリ素子基板用スタンパの
製造方法の一実施例を第１図乃至第４図により説明する
。

工程ｆｉｌ・・・第１図 ガラス板、またはＡｆｆ、Ｎｉ等の金属板ｌの上にＡ／
Ｎ層２をスパッタ法等により形成し、そのＡ７！Ｎ層２
−１−に感光層３をスピナー法、スプレー法またはディ
ップ方式等により形成する。

工程（２）・・・第２図 上記感光層３にレーザ光等で情報信号またはガイドトラ
ックを記録し、その後現像する。第２図は現像した後の
状態を示している。

工程（３）・・・第３図 次にＣＦ、またはＣＨＦ　３のブラズーンガスで感光層
３をマスクとしてＡ７！Ｎ層２をガイドトラックに必要
な深さだけエツチングする。第３図はエツチング終了後
の状態を示している。

工程（４）・・・第４図 ＡＩＮ層２−１−の感光層３を酸素プラズマ等で取り除
き表面が／ｌｔＮ層２であるスタンパを得る。

本発明によれば、スタンパ表面はモース硬度の極めて硬
い窒化物層２であるため（Ａ　ＩｌＮの場合モース硬度
は７）、耐摩耗性は大幅に向上する。

なお、情報信号やガイドトラックを記録するのはレーザ
光以外に紫外線を用いて密着露光方式にて行なってもよ
い。

（発明の効果） 以−Ｌ、本発明によれば、スタンパの寿命が大幅に長く
なるだけでなく、スタンパの金属にＮｉ以外の材料が使
えるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は、本発明に係る光メモリ素子基板用
スタンパの製造方法の一実施例を示す工程図である。 １・・・基材　　　　　２・・・窒化物層３・・・感光
層 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）基材上に窒化物層が形成され、この窒化物層に情報
   ビット、ガイドトラック等が形成されたことを特徴とす
   る光メモリ素子基板用スタンパ。