JPS628560Y2 - - Google Patents

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JPS628560Y2
JPS628560Y2 JP1977074388U JP7438877U JPS628560Y2 JP S628560 Y2 JPS628560 Y2 JP S628560Y2 JP 1977074388 U JP1977074388 U JP 1977074388U JP 7438877 U JP7438877 U JP 7438877U JP S628560 Y2 JPS628560 Y2 JP S628560Y2
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JP
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scanning
power supply
output
supply device
electron beam
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JP1977074388U
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Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、電子線照射装置に係り、特にその
走査電源の改良に関する。
第1図は、一般的な電子線照射装置の要部を概
略的に示すもので、1はフイラメントなどよりな
る電子銃、2は電子銃1より発生された電子線を
加速する加速管、3は走査管、4はチタン等薄い
金属箔で走査管3の端部を閉塞する照射窓、5は
走査コイルである。
而して、この電子線照射装置においては、電子
銃1、加速管2、走査管3および照射窓4は一直
線上に配置されてあり、電子線の照射を行なうと
き、走査コイル5を駆動してこれによつて電子線
を照射窓4上において走査しなければ、電子線は
スポツト状に照射窓4の中心を通過する。しか
し、照射窓4が支障なく電子線を通過させうる量
は通常0.2mA/cm2程度に制限されており、この制
限値を超えると過度の発熱のために照射窓4は瞬
時に破壊される。従つて、電子線を照射するとき
は、第2図に示すように、走査コイル5を走査電
源装置10の出力により駆動するのが普通であ
る。図において、11は例えば200Hzの走査波形
出力を有する走査波形発振器、12は増巾器、6
は必要により設けられる絶縁変圧器である。
ところが、近時電子線照射装置の応用分野が拡
大するに伴なつて、その出力容量が増大してくる
と、必然的に走査電源装置10の出力の増加が要
求されて大形化が促進される。このため、走査波
形発振器11の構成部品が増大するとともに、回
路構成が複雑化してきて故障が発生しやすくな
る。そして、インダクタンス分が大半である走査
コイル5に大電流を供給する増巾器12の負担は
大となり、発熱などによる故障が起りやすくな
る。従つて、これらの結果走査電源装置10は、
電子線照射装置の大形化に伴なつて故障を起しや
すくなり、その出力に異常をきたして走査コイル
5を駆動できなくなるようなことが生ずる。
一般に走査電源装置10が故障した場合、保護
装置によりフイラメントへの電力供給は停止され
るが、フイラメントの熱的時定数のために電子の
放出は直ちに停止することはない。このため走査
電源装置10が故障を起こしてその出力に異常が
生ずると、走査されない電子線が照射窓4に局部
的に集中して当り、照射窓4が過熱により破壊さ
れるに至る。そしてこの照射窓4の破壊はフイラ
メントの断線、加速管2の汚染など電子照射装置
の二次的破壊を誘発することとなる。
この考案は、上述の事柄に留意して提案された
もので、正常運転からの異変、例えば走査波形発
振器11や増巾器12の内部故障により走査電源
装置10の出力が零となつたとき、フイラメント
からの電子放出がなくなるまでの短時間におい
て、走査コイル5の走査機能が停止しないように
し、照射窓上における電子線の走査を継続して行
なえるようにした電子線照射装置を提供すること
を目的とする。
この考案を第3図に示す一実施例に基づいて詳
細に説明する。図において、第2図と同一符号の
ものは同一物を示している。20は走査電源装置
10とは別に設けられる補助走査電源装置、30
は切換器、40は出力監視装置、50は検出抵
抗、7は必要により設けられる絶縁変圧器であ
る。
走査コイル5の入力側には切換器30が設けら
れてあり、走査電源装置10、補助走査電源装置
20が端子31,32にそれぞれ接続されてい
る。そして、正常運転時走査コイル5は走査電源
装置10の出力により駆動される。出力監視装置
40は検出抵抗50により走査電源装置10の出
力を監視し、その出力が所定値より低下した際、
切換器30に切換指令を与える。そして、切換器
30は前記出力監視装置40の切換指令により電
源接続を切換えるものである。
補助走査電源装置20は、走査電源装置10の
出力異常時走査コイル5の走査機能の停止を防止
するようなものであればよい。従つて、その出力
は直流的なものでは不適で、交流的変化をするも
のが適当である。そして、この補助走査電源装置
20で走査コイル5が駆動される時間は、フイラ
メントからの電子放出がなくなるまでの短時間で
あるから小容量小出力のものでよい。そして更
に、走査コイル5は大部分がインダクタンス分で
あるところから、周波数の低いものほどそのイン
ピーダンスは小となり、補助走査電源装置20の
負荷が軽減されるところから、走査電源装置10
よりも低い周波数のものが好ましい。例えば商用
周波数の交流電源を用いるときは、補助走査電源
装置20の構成は極めて簡単となり、また安価に
なる。
この考案のものでは、出力監視装置40が走査
電源装置10の出力を監視し、所定値例えばその
出力が零となつたときは、切換器32に指令を与
えて補助走査電源装置20の出力が走査コイル5
に供給されるように構成されている。従つて、走
査電源装置10の内部故障によりその出力がなく
なつたとき、フイラメントからの電子放出が継続
していても、走査コイル5は補助走査電源装置2
0の出力により駆動され、照射窓上における電子
線の走査を継続して行なうことができる。この結
果、電子線が照射窓4に局部的に集中して当るこ
とを防止し、照射窓4の熱的破壊を防止すること
ができる。従つて、照射窓4の破壊に伴なう電子
線照射装置の二次的破壊を未然に防止できる。そ
して、この考案においては、切換器30を走査コ
イル5の入力側すなわち直前に設けているので、
走査電源装置側の全ての故障、更には停電にも対
応して補助走査電源装置20を用いることがで
き、より信頼性の高い運転が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は一般的な電子線照射装置の要部を示す
概略構成図、第2図は従来の走査コイルと走査電
源装置の結果関係を示すブロツク図、第3図はこ
の考案による走査コイルと走査電源装置及び走査
補助電源装置の結線関係を示すブロツク図であ
る。 4……照射窓、5……走査コイル、10……走
査電源装置、11……走査波形発振器、20……
補助走査電源装置、30……切換器。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 走査コイルの入力側に切換器を介して走査波
    形発振器を含む走査電源装置と、その出力が交
    流的変化をなす補助走査電源装置を接続すると
    ともに、前記走査電源装置の出力を監視する出
    力監視装置を設け、この出力監視装置により前
    記走査電源装置の出力が所定値より低下した
    際、前記切換器に切換指令を与え、前記補助走
    査電源装置の出力を走査コイルに供給すること
    を特徴とする電子線照射装置。 2 補助走査電源装置の出力周波数を走査波形発
    振器の周波数よりも低くしてなる実用新案登録
    請求の範囲第1項記載の電子線照射装置。 3 補助走査電源装置が商用周波数の交流電源で
    ある実用新案登録請求の範囲第1項記載の電子
    線照射装置。
JP1977074388U 1977-06-07 1977-06-07 Expired JPS628560Y2 (ja)

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JP1977074388U JPS628560Y2 (ja) 1977-06-07 1977-06-07

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JPS541800U JPS541800U (ja) 1979-01-08
JPS628560Y2 true JPS628560Y2 (ja) 1987-02-27

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JPS5993868U (ja) * 1982-12-14 1984-06-26 京都機械工具株式会社 円形ワイヤブラシ

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JPS541800U (ja) 1979-01-08

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