JPS6289469A - 小型リニアパルスモ−タの製造方法 - Google Patents

小型リニアパルスモ−タの製造方法

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JPS6289469A
JPS6289469A JP22923985A JP22923985A JPS6289469A JP S6289469 A JPS6289469 A JP S6289469A JP 22923985 A JP22923985 A JP 22923985A JP 22923985 A JP22923985 A JP 22923985A JP S6289469 A JPS6289469 A JP S6289469A
Authority
JP
Japan
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yoke
teeth
linear pulse
pulse motor
mover
Prior art date
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Pending
Application number
JP22923985A
Other languages
English (en)
Inventor
Masashi Tamegai
爲我井 昌司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフロッピーディスク装置等のヘッド等を直線的
に移動させる小型リニアパルスモータの製造方法に関す
るものである。
〔従来の技術〕
従来、小型リニアパルスモータは励磁コイルを挿入する
ヨークの先端の歯の成形は歯幅0,4mm程度であるた
め砥石によるスライシング加工、あるいは旋盤、プレス
盤等の機械加工であり、さらにヨーク先端の歯と対抗す
る櫛歯状の移動子も前記同様砥石によるスライシング加
工あるいは機械加工で形成していた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記、従来の製造方法によると、ヨーク先端の歯と、そ
の歯に対抗する櫛歯状の移動子が、砥石加工および機械
加工のため加工精度±10μm〜±30μmと精度が悪
いという問題点、さらに加工中パリや被加工物の反りが
発生し、後工事が必要であるという問題点などがあった
。しかしながら、装置等の小形化が進むにつれ小型リニ
アパルスモータも小形化し、位置決め精度も高精度を要
求され、従来の製造方法では、微少送り、高精度位置決
め、小形化の点において満足できない。
本発明の目的は上記の様な欠点をなくし、機構が比較的
簡単でしかも小形で位置決め精度が良く高トルクの小型
リニアパルスモータを製造する方法を提供することにあ
る。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明によれば、先端に第一の歯を有する複数の直方体
部を板状部に一体に結合し前記板状部のほぼ中央部に永
久磁石を有するヨークと、前記第一の歯に結合する第二
の歯を一方の面に有し磁性材からなる移動子と、前記ヨ
ーク、移動子間に介在し前記直方体部を巻回する励磁コ
イルとを具備する小型リニアパルスモータの製造方法に
おいて、前記第一、第二の歯をケミカルエツチングによ
り形成することを特徴とする小型リニアパルスモータの
製造方法が得られる。
〔牛用〕
本発明は上記のケミカルエツチングで微細な加工をする
ことにより、従来の問題点を解決した。
まず励磁コイルを有するヨークの先端の歯をケミカルエ
ツチングで微細な溝加工して形成することにより、歯と
溝の形状精度は±2μm以下、歯のピッチ精度は±1μ
m以下に形成することができる。このヨークの歯と対向
する移動子も前記同様ケミカルエツチングで微細な溝と
備を精度良く加工することが可能である。
〔実施例〕
以下本発明の実施例について図面を参照して詳細に説明
する。
図は本発明の一実施例による小型リニアパルスモータを
示す図で、ヨーク1には先端にケミカルエツチングで加
工された歯11が構成されている。
励磁コイル2は導電線をうず巻状に形成しリード線21
を設けてヨーク1に挿入されている。移動子3は磁性材
からなりヨーク1の先端の歯11に対向する部分にヨー
ク1より若干幅広く歯(図示せず)がケミカルエツチン
グで櫛状に構成されている。永久磁石4はヨークの中央
に置くことにより移動子3とともに磁気回路を構成する
〔発明の効果〕
本発明の製造方法にて製作した小型リニアパルスモーク
は、ステップピッチ30μm程度の微細(ヒはもちろん
位置決め精度は±2μmが得られ、大きさは従来と比較
して(H7,5mmxW20m m X L 35 m
 m >と約1 、/ 2〜1 / 3にコンパクト化
が可能である。また出力トルクは200?v程度あり記
録再生l\ラッドの駆動には十分である。さらにケミカ
ルエツチング加工法により同時大量製作が容易で安価に
できるなどの効果がある。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例を示す分解斜視図である。 1はヨーク、2は励磁コイル、3は移動子、4は永久磁
石である。 代理人 弁理士  内 原  晋 〔

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 先端に第一の歯を有する複数の直方体部を板状部に一体
    に結合し前記板状部のほぼ中央部に永久磁石を有するヨ
    ークと、前記第一の歯に結合する第二の歯を一方の面に
    有し磁性材からなる移動子と、前記ヨーク、移動子間に
    介在し前記直方体部を巻回する励磁コイルとを具備する
    小型リニアパルスモータの製造方法において、前記第一
    、第二の歯をケミカルエッチングにより形成することを
    特徴とする小型リニアパルスモータの製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999043073A1 (en) * 1998-02-20 1999-08-26 Northern Magnetics, Inc. Linear stepper motor

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6055852A (ja) * 1983-08-31 1985-04-01 Fujitsu Ltd 有極形リニアパルスモ−タ

Patent Citations (1)

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