JPS6293364U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6293364U JPS6293364U JP18282885U JP18282885U JPS6293364U JP S6293364 U JPS6293364 U JP S6293364U JP 18282885 U JP18282885 U JP 18282885U JP 18282885 U JP18282885 U JP 18282885U JP S6293364 U JPS6293364 U JP S6293364U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporated
- vapor deposition
- evaporation source
- evaporated substance
- partition wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例の系統図、第２図
は、従来装置の系統図である。 １…蒸発源、２…隔壁、３…蒸着ロール、４…
フイルム、５…巻出機、６…巻取機、７…カソー
ド、８…高周波電源、９…アノード、１０…直流
電源。
は、従来装置の系統図である。 １…蒸発源、２…隔壁、３…蒸着ロール、４…
フイルム、５…巻出機、６…巻取機、７…カソー
ド、８…高周波電源、９…アノード、１０…直流
電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 蒸発源と蒸発物質とを蒸着させるフイルム状基
盤と、特定方向に蒸発した物質を通すための開口
部をもつ隔壁より成る蒸着装置において、 前記蒸発源上にプラズマ発生装置と、基盤に負
電圧を負荷する直流電源とを設けたことを特徴と
する蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18282885U JPS6293364U (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18282885U JPS6293364U (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293364U true JPS6293364U (ja) | 1987-06-15 |
Family
ID=31128990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18282885U Pending JPS6293364U (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293364U (ja) |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP18282885U patent/JPS6293364U/ja active Pending