JPS6310762B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6310762B2
JPS6310762B2 JP4527180A JP4527180A JPS6310762B2 JP S6310762 B2 JPS6310762 B2 JP S6310762B2 JP 4527180 A JP4527180 A JP 4527180A JP 4527180 A JP4527180 A JP 4527180A JP S6310762 B2 JPS6310762 B2 JP S6310762B2
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JP
Japan
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amount
light
metal foil
copper foil
pattern
Prior art date
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Expired
Application number
JP4527180A
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English (en)
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JPS56141507A (en
Inventor
Moritoshi Ando
Katsumi Fujiwara
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP4527180A priority Critical patent/JPS56141507A/ja
Publication of JPS56141507A publication Critical patent/JPS56141507A/ja
Publication of JPS6310762B2 publication Critical patent/JPS6310762B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はプリント基板上の金属箔パターンに対
し走査光により箔幅を正確に測長してパターンの
良否を検知する装置に関する。
エポキシ材のように不透明さのある絶縁物を基
板にし銅箔を表裏多層に設けて作成したプリント
基板は、銅箔パターンが写真法によつて設計どお
り得られるため、品質に均一性があり自動製造化
が進んでいる。しかし銅箔の幅には製造時のばら
つきがあり、断線・短絡に近い状態を発生するこ
とがある。従来は作業員が拡大鏡を使い基板製品
を1枚ずつ丹念に調べていたが、長時間を要する
割に欠陥を見落すことがあつた。最近の製品では
銅箔の幅は数百ミクロン程度をなつたためこれに
ヘリウム−ネオンの気体レーザから得られる光を
集光した小さな光ビームを照射し、その透過光を
調べることによりパターンを検知することが提案
された。即ちプリント基板に対し垂直上方からレ
ーザ光を照射しながら銅箔幅方向に走査し、基板
下方に設けた光検知器により透過光を検知すれば
走査速度と透過光量との関係で光量の減少した時
間即ちパターン幅が良好に検知でき、自動検知装
置とすることも可能である。しかしながらプリン
ト基板は表裏多層にパターンが存在するため問題
点が発生する。第1図Aに示す最も単純な基板
PTの場合に、太矢印のレーザ光LLが細矢印AR
方向に走査されるとき、銅箔パターンCP1乃至
CP3により透過できない光量を光検知器PHCに
より検知するが、パターンCP2の裏面にそれよ
り走査方向に幅広の裏面パターンRCPが存在す
ると、パターンCP2,CP3の検知が不正確にな
る。第1図Bに光検知器PHC出力を示し、横軸
にプリント基板上の位置をとるとパターンCP1
による検知は明瞭であるが、CP1以後はパター
ンのとおりに検知できない。そのためレーザ光を
銅箔に照射したとき反射してくる光量を測光しパ
ターン検知することが検討された。第1図Cは反
射光量の変化を図示したものであるが、同一箔箱
からの反射についても光強度に大きなばらつきが
あり、パターン幅の測長は不正確になる。それは
銅箔に存在する表面の荒れに基因するためで、受
光側では殆んど処理ができないことである。
本発明の目的は前述の欠点を改善し、通常の時
透過光による測光装置の動作が不十分になつたと
き、反射光による測光装置に切り替えて検知する
ことにより、信頼性の向上した検知装置を提供す
ることにある。
以下図面に示す本発明の実施例について説明す
る。第2図は本発明の実施例を示す構成図で、プ
リント基板1に被検査銅箔2−1,2−2……が
あつて、銅箔2−1を表面パターン、2−2を裏
面パターンとする。レーザ3から発光されたレー
ザ光4はハーフミラー5、走査ミラー6、走査レ
ンズ7を経て集光ビーム8となり、銅箔2−1と
その近傍に照射される。プリント基板1を透過し
或いは銅箔によつて遮断されたレーザ光集光ビー
ム8は透過量測光装置9においてレーザ光を検
知・測光し銅箔パターンの測長を行なう。集光ビ
ーム8のうち銅箔パターン2−1により反射され
たものは走査レンズ7、走査ミラー6を通りハー
フミラー5により反射しレーザ光の検知・測光と
銅箔パターンの測定を行なう。透過量測光装置9
と反射量測光装置10の具体的構成例を第3図に
示し、その動作を第4図の波形図により説明す
る。第2図においてフオトセル等の光検知器1
1,12のうち前者11は透過光T検出を行な
い、後者12は反射光R検出を行ない、第3図の
比較器13,14,15に印加される。第4図T
はプリント基板の透過光の変化を示し、第4図R
は同反射光の変化を示している。第4図Tにおい
てSL1は銅箔位置の表裏判定用の所定のスライ
スレベル、SL2は銅箔幅測長用スライスレベル
でSL2は通常の銅箔により透過光が小さな値と
なつたレベルと銅箔のないレベルとの間の値と選
定し、SL1は銅箔のないときの透過光のレベル
とSL2との中間に選定する。電源16,17は
前記スライスレベルSL2,SL1を得るため比較
器13,14に与えられる。第4図Rにおいて
SL3は反射光の場合のスライスレベルであつて、
比較器15に対し電源18によつて与えられる。
第4図Tき波形について、通常プリント基板の透
明さはガラスと比較して半透明と言われる程度で
ある。そのため裏面パターンの周辺から廻り込む
光が必ず存在するので、逆凸字波形の透過光が得
られる。各スライスレベルにより透過光と反射光
が処理され、まずスライスレベルSL1によりス
ライスされると第4図SL1と示す波形が得られ、
SL2によりスライスされると第4図SL2と示す
波形が、SL3により第4図SL3と示す波形がそ
れぞれ得られ、それは図示するように二値化信号
であり、論理“1”と“0”で示される。第3図
において19,20,21はそれぞれシフトレジ
スタを示し、ハツチングを施した位置は論理
“1”となつているビツトを、ハツチングを施し
てない所は論理“0”となつているビツトを示
し、時間の経過した信号は順次図の左方に移動し
て行くように示してある。即ち所定の銅箔幅を通
常の速さで走査したとき得られるスライス時間幅
に対応してシフトレジスタ19,20,21の各
ビツトを選定しておけば、透過光により実在の銅
箔を検知したとき、及び裏面パターンにより偽の
信号を得たとき各々複数ビツトの記憶情報を得る
ことができる。各シフトレジスタの全ビツト数は
銅箔パターンの走査と同期してレジスタを駆動し
たとき走査線1本分のデータが蓄積できる数とす
る。今第4図SL1に示す波形信号により第4図
Tに示す立下り信号が銅箔表面パターンによる信
号が裏面パターンによる信号であるかを判別する
ため第4図SL1において“1”→“0”という
信号の変化点を見出す。第4図CHSはシフトレ
ジスタにおいて時刻T1とT2にこの変化点の生
じていることを示す。このとき同時に第4図SL
3の波形において“1”の信号があるか否かを判
定する。
第4図DSはSL3と同一波形を示し、時刻T1
においては“1”信号が現存するため、このとき
は表面パターン有と判断し、銅箔幅の測長には信
号SL2を使用する。即ち時刻T1において第3
図のシフトレジスタ19,20,21の状態は 19 0→1、20 1→0、21 0→1 と変化している。ナンド回路22は時刻T1の直
後に“0”出力を発し、フリツプフロツプ25に
おいてリセツト信号となる。そのときフリツプフ
ロツプ25により駆動されるスイツチ26の状態
の変化を受けず、信号SL2の通過を許す状態を
続行させる。それはスイツチ26の初期位置は信
号SL2の通過を許す状態となつているからであ
る。端子27の出力は図示しない測長器に印加さ
れ銅箔幅の測長を行なう。
次に時刻T2において同様にSL3の波形に
“1”があるか否かを判定する。第3図において
SL1の変化は前述と同様であるが、ナンド回路
23の出力が“1”、アンド回路24の出力が
“1”となりナンド回路28の出力が“0”、した
がつてフリツプフロツプ25のセツト信号が
“1”となりスイツチ26を駆動する。その結果
信号SL3を端子27に伝送させるので、測長は
信号SL3について行なわれる。なおアンド回路
24はSL3の波形に“1”の有無を判断するた
め設けられているが、その判断は時刻T2におけ
るシフトレジスタ21の単一ビツトの状態のみで
行なわず、時間的にT2の前後の複数ビツトの状
態を併せて最終的に判断を行なうよう構成してあ
り、第3図では前1ビツト、後2ビツトを含み都
合4ビツトの状態を調べる例を示している。これ
は反射光の立上り波形が乱れた場合等、回路動作
に時間遅れを生じたと同様になるため誤動作を防
止する構成としたためである。その後フリツプフ
ロツプ25をリセツトするときは時刻T1と同じ
状態になつた場合である。
次に第5図に示す図は銅箔幅の測長に透過光を
使用するか反射光を使用するかについて、その判
断をより確実にできる構成図である。第5図にお
いて第3図と同一符号は同様のものを示してい
る。第6図に示すように透過光Tが時刻T3にお
いて何等かの原因で短時間不透過となり、次に時
刻T4において銅箔パターンにより不透過となつ
た場合は第3図に示すシフトレジスタ21の動作
により時刻T3の前後における反射光の有無を調
べるため、第6図Rに示すように銅箔がない位置
であつても反射光有として透過光による測長から
反射光による測長に切替える恐れがあつた。その
ため第6図の時刻T4における透過光Tをスライ
スした信号SL1のレベル変化1→0、反射光R
をスライスした信号SL3のレベル変化0→1、
及び銅箔パターンが終了した時刻T5において
SL1の変化0→1、SL3の変化1→0との4者
の変化がすべて満足していたとき信号SL1の変
化は正規の銅箔パターンに基づくことと判断し、
スライスした信号SL2の幅を測長した値を正規
なものとして処理する。信号SL1に対するシフ
トレジスタ20は時刻T4において変化1→0の
起つたことをゲート22が検出し、対応する反射
光Rの信号SL3について同時刻に変化0→1の
起つたことをゲート23が検出し、ゲート29は
ゲート22,23の検出信号を論理演算してフリ
ツプフロツプ30をセツトする。次に時刻T5に
おいて、T4と逆の変化が起つたことをゲート3
1,32,33により検出し、フリツプフロツプ
34をセツトする。そしてフリツプフロツプ3
0,34が共にセツトされたことをゲート35に
より検出するとき前述の条件を満足したことであ
るから、そのとき信号SL2による測長結果を正
規の値として処理する。即ち信号SL2をスイツ
チ26を介して測長器36において測長し、その
結果を制御回路37を経て取出すようにし、制御
回路37は前述のゲート35による検出信号によ
り測長結果を取出可能に制御する。また信号SL
3により測長するときはその結果を制御回路37
を介して取出す。測長結果を取出したとき、或い
は条件が満足されず取出不可能となつたとき、そ
の後においてフリツプフロツプ30,34をリセ
ツトし、次の動作に対し準備する。
このようにして本発明によるとプリント基板を
透過した光を遮蔽する金属箔の幅を測長しパター
ンの良否を正確に検知することができる。若し透
過光が遮敏されたときそれが基板の裏面に設けら
れた金属箔に基因することが判別できたとき以後
の金属箔検知は反射量測光装置を使用するように
切替えるため、従来のように裏面パターンのため
に測長が不正確とならず、また反射量測光を行な
う場合は裏面パターンにより表面パターンを遮蔽
する所のみであり、反射光測光のときもスライス
処理により強度の変化することを防止しているか
ら、反射量測光のため正確さを損う場合も最小限
に止められている。
【図面の簡単な説明】
第1図はプリント基板における銅箔パターンの
検知装置を説明する図、第2図は本発明の実施例
を示す構成図、第3図は第2図中の透過量測光装
置と反射量測光装置の具体的構成例を示す図、第
4図は第3図の動作波形図、第5図は第3図を改
良した構成を示す図、第6図は第5図の動作波形
図である。 PT,1……プリント基板、CP1,CP2,CP
3,2−1……銅箔パターン(表面)、RCP,2
−2……銅箔パターン(裏面)、3……レーザ、
5……ハーフミラー、6……走査ミラー、9……
透過量測光装置、10……反射量測光装置、1
1,12,PHC……光検知器、13,14,1
5……比較器、16,17,18……電源、1
9,20,21……シフトレジスタ、22,2
3,24,28,29,31,32,33,35
……ゲート回路、25,30,34……フリツプ
フロツプ、26……スイツチ、36……測長器、
37……制御回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 半透明絶縁基板に金属箔を処理して得られた
    プリント基板に対し、照射した光の透過量を測定
    することにより金属箔パターンを検知する装置に
    おいて、 スライスレベルを2段階設けた透過量測光装置
    と、 照射した光のうち金属箔により反射した光量を
    測光する反射量測光装置と、 透過量測光装置と反射量測光装置とを切り替え
    る切替装置とを具備し、 且つ前記スライスレベルの一方は金属箔パター
    ンの存在により減少する透過光量の最小値より大
    きな値に対応するレベルとし、他方のレベルは前
    記一方のレベルと透過光量レベルとの中間の値に
    対応するレベルであつて、 また切替装置は、前記透過量測光装置の入力が
    前記他方のスライスレベル以下となり、そのとき
    反射量測光装置が反射光を検知してないときは反
    射量測光装置により金属箔パターン幅を検知する
    ように切替えること を特徴とするプリント基板における金属箔パター
    ンの検知装置。
JP4527180A 1980-04-08 1980-04-08 Detector for metallic foil pattern in printed substrate Granted JPS56141507A (en)

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Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS56141507A JPS56141507A (en) 1981-11-05
JPS6310762B2 true JPS6310762B2 (ja) 1988-03-09

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JP4527180A Granted JPS56141507A (en) 1980-04-08 1980-04-08 Detector for metallic foil pattern in printed substrate

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JPS56141507A (en) 1981-11-05

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