JPS63122018A - 金属薄膜磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 膜磁気記録媒体の製造装置に関するものである。

従来の技術 近年、高密度記録を目的とした磁気記録媒体の開発が活
発にな嘔れており、この磁気記録媒体の一例として、強
磁性金属薄膜を記録層とした金属薄膜磁気記録媒体があ
る。

この金属薄膜磁気記録媒体を用いて高密度で記録再生す
るには、磁気ヘッドと金属薄膜磁気記録媒体の間のスペ
ーシングを極めて小さくする必要がある。また再生信号
のモジュレーションを良くするには、上記スペーシング
量の変動を小さくしなければならない。さらに、ドロッ
プアクト、ドロップインをなくすには、上記スペーシン
グ量の急激な変動を防止する必要がある。

以上のように記録密度特性、モジュレーション、ドロッ
プアクトなどの点から、磁気ヘッドと金属薄膜磁気記録
媒体の間のスペーシングを小さくし、しかもその変動を
少なくすることが高密度記録の実用化に不可欠である。

このスペーシングの変動は主に金属薄膜磁気記録媒体の
うねりや金属薄膜磁気記録媒体の表面性に左右される。

特にドロップアクトは金属薄膜磁気記録媒体の表面に生
じる突起による大きなスペーシングによって生じる。

このため、金属薄膜磁気記録媒体に突起が生じないよう
に種々の製造上の工夫がなされている。

例えば、空中の塵が金属薄膜磁気記録媒体の製造中に付
着して突起が生じる場合には、製造工程全体を無塵室に
設置して塵の付着を防止する対策が採られている。また
一方では、記録層−である金属薄膜を形成する基材とし
て、表面性の良い高分子フィルムを用いたり、帯電によ
る塵の付着を防ぐために高分子フィルムの表面を改質す
る方法が採られている。

このような対策は、金属薄膜磁気記録媒体の表面に生じ
る突起が塵等の異物の付着により生じる場合や高分子フ
ィルム自身のフィッシュアイ等による凸状形状による場
合に有効である。

特に高分子フィルムは絶縁性であるため、極めて帯電し
易く、たとえ帯電防止剤等を添加しても大気中では効果
があるが、真空中ではその効果が充分に発揮されず、時
には、高分子フィルムの走行駆動系である各ローラと高
分子フィルムとの間で放電を生じたりする。この帯電は
各種の塵を吸引し、高分子フィルムに付着させる。

通常、金属薄膜磁気記録媒体を製造する装置は、蒸室蒸
着法やスパッタリング法のいずれも真空中で強磁性金属
を蒸発させ、高分子フィルム上にその金属の薄膜を形成
することを原理としている。

以下、従来の真空蒸着による金属薄膜磁気記録媒体の製
造装置の概略について第２図を参照しながら説明する。

第２図に示すように真空槽２１内に長尺の非磁性基材（
通常、高分子フィルム）２２が巻かれた原反ロール２３
、この原反ロール２３より繰り出された非磁性基材２２
を沿わせ、非磁性基材２２の温度を一定に保つためのキ
ャンロール２４、非磁性基材２２を巻き取る巻き取すロ
ール２５、非磁性基材２２を原反ロール２３とキャンロ
ール２４及びキャンロール２４と巻き取りロール２５の
間でガイドするガイドロール２６．２７からなる非磁性
基材２２の走行駆動系と、強磁性金属を蒸発させる蒸発
源２８とが備えられている。

次に上記従来例の動作について説明する。非磁性基材２
２は原反ロール２３からガイドロール２６を経てキャン
ロール２４に密着して走行し、ガイドロール２７を経て
巻き取りロール２５に巻き取られる。そして蒸発源２８
より蒸発した強磁性金属がキャンロール２４に密着して
走行している非磁性基材２２上に蒸着され、強磁気金属
薄膜が形成される。このとき、蒸発源２８より飛び出し
た強磁性金属原子は非磁性基材２２上以外に真空槽２１
の内壁上にも付着する。

発明が解決しようとする問題点 しかし、上記従来例の構成では、上記のように高分子フ
ィルムよりなる非磁性基材２２が各ロール２６．２４．
２７に密着して走行する間に摩擦により強い帯電を生じ
るため、真空槽２１の内壁に付着した強磁性金属が剥離
し、微粉末となると、上記静電気により非磁性基材２２
上に吸引されて付着する。このような異物が付着した非
磁性基材２２上に金属薄膜を形成すると、異物を覆い、
突起が形成される。その結果、上記のように高記録密度
での出力の低下、モジニレ−シコンの悪化、ドロップア
クトを生じる。これはスパッタリング法を用いた場合も
同様でるる。

この対策として、真空槽２１の内壁に特別な材質の防着
板を用いて剥離が生じないようにしたり、コロナ処理を
同一の真空槽内で行い、帯電電荷を中和したりする手段
が採られている。

しかも、いずれの手段もある程度の効果はあるが充分で
はない。特に、走行する非磁性基材２２が接触する各ロ
ーラ２６．２４．２７に異物が付着しており、この異物
が非磁性基材に転写する場合には有効に作用しない。

そこで、本発明は、上記従来の問題点を解決するもので
、金属薄膜磁気記録媒体の表面に突起が生じるのを防止
し、高記録密度での出力を向上させ、モジュレーション
を向上させ、ドロップアウトを防止することができるよ
うにした金属薄膜磁気記録媒体の製造装置を提供しよう
とするものである。

問題点を解決するための手段 そして上記問題点を解決するための本発明の技術的な手
段は、真空槽と、この真空槽内で長尺の非磁性基材を走
行させる走行駆動系と、走行中の非磁性基材に対し、強
磁性金属の薄膜が形成される手前に位置し、上記非磁性
基材に近接して設置された磁石とを備えたものである。

作　　　用 上記技術的手段による作用は次のようになる。

すなわち、非磁性基材に対し、強磁性金属薄膜を形成す
る手前の位置で磁石により非磁性基材上に付着している
異物である強磁性金属粉を吸着して除去し、また非磁性
基材上に付着しようとする強磁性金属粉を吸着して非磁
性基材に付着するのを防止することができる。従って金
属薄膜磁気記録媒体の表面に突起が生じるのを防止する
ことができる。

実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。第１図は本発明の一実施例における製造装置を示
す一部破断概略正面図である。

第１図に示すように真空槽１内に高分子フィルムよりな
る長尺の非磁性基材２が巻かれた原反ロール３、この原
反ロール３より繰り出された非磁性基材２を沿わせ、非
磁性基材２の温度を一定に保つだめのキャンロール４、
非磁性基材２を巻き取りロール５、非磁性基材２を原反
ロール３とキャンロール４及びキャンロール４ト巻キ取
１）ロール５の間でガイドするガイドロール６．７から
なる非磁性基材２の走行駆動系と、強磁性金属を蒸発さ
せる蒸発源８とが備えられている。キャンロール４上を
走行している非磁性基材に対し、強磁性金属の薄膜を形
成する手前の直前位置に非磁性基材２に近接して磁石９
が設けられている。またキャンロール４、ガイドロール
６．７における非磁性基材２の通過しない位置で、これ
らキャンロール４、ガイドロール６．７の外周面に近接
して磁石１０．１１．１２が設けられている。

次に上記実施例の動作について説明する。

非磁性基材２は原反ロール３からガイドロール６を経て
キャンロールに密着して走行し、ガイドロール７を経て
巻き取りロール５に巻き取られる。

そして蒸発源８より蒸発した強磁性金属がキャンロール
４に密着して走行している非磁性基材２上に蒸着され、
強磁性金属薄膜が形成される。蒸発源８より飛び出した
強磁性金属原子は非磁性基材２上以外に真空槽１の内壁
に付着し、この強磁性金属が内壁より剥離し、微粉末と
なって真空槽１内に浮遊するが、非磁性基材２に対し、
強磁性金属薄膜を形成する手前の位置で、磁石９により
非磁性基材２上に付着している強磁性金属粉を吸着して
除去し、また非磁性基材２に付着しようとする強磁性金
属粉を吸着して非磁性基材２に付着するのを防止するこ
とができる。従って金属薄膜磁気記録媒体の表面に突起
が生じるのを防止することができる。

また上記実施例においては、各ロール４．６．７上に付
着し、また付着しようとする強磁性金属粉を吸着し、ロ
ール４．６．７のクリーニングを行い、非磁性基材２に
ロール４．６．７から強磁性金属粉が転写するのを防止
しているので、更に一層効果的となる。

上記実施例に用いる磁石９．１０．１１．１２はプマリ
ュームーコバルト系の永久棒磁石が最適であり、この棒
磁石を一例に並べ、固定したアセングリ−を容易に取り
替ることができるように設置すればよい。また電磁石を
用いれば、非磁性基材２などから吸着した強磁性金属粉
を電磁石に流す電流を遮断することにより容易に取り除
くことができる。

上記実施例では、連続蒸着により強磁性金属薄膜を形成
する場合について説明したが、Ｃｏ　Ｃｒ合金などのタ
ーゲットを用いることに連続スパッタにより強磁性金属
薄膜を形成することができる。

次に連続スパッタ手段による試験例について説明する。

ｉ径６闘、長さｌｏｍ（７）プマリュームーコバルト系
の磁石４０個を一列に韮べ、エポキシ樹脂で固定した。

この磁石アセンブリを非磁性基材２面及びロール４．６
．７面から１ｆｉ離して真空槽１に離脱可能に固定した
。そしてターゲットＣ０Ｃｒ合金を用いて連続してスパ
ッタを行い、高分子フィルム（ＰＥＴ）上に上記金属の
薄膜を形成し、金属薄膜磁気記録媒体を製造した。この
金属薄膜磁気記録媒体の突起数を測定した結果、０．３
〜０．５個／７であり、従来の製造装置により製造した
金属薄膜磁気記録媒体の突起数、２８〜５６個／ｄと比
較すると、極めて突起数が減少しており、充分効果のあ
ることがわかった。

本発明の製造装置は、従来の製造装置に磁石９．１０．
１１．１２を設置するだけでよく、安価に得られる。

発明の効果 以上述べたように本発明によれば、非磁性基材に対し、
強磁性金属薄膜を形成する手前の位置で磁石により非磁
性基材上に付着している異物である強磁性金属粉を吸着
して除去し、また非磁性基材上に付着しようとする強磁
性金属粉を吸着して非磁性基材に付着するのを防止する
ことができ、金属薄膜磁気記録媒体の表面に突起が生じ
るのを防止することができる。従って高記録密度での出
力を向上させ、モジュレーションを向上させ、ドロップ
アクトを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における金属薄膜磁気記録媒
体の製造装置を示す一部破断概略正面−１第２図は従来
の製造装置を示す一部破断概略正面図である。 １・・・・・・真空槽、２・・・・・・非磁性基材、３
・・・・・・原反ロール、４……キヤンロール、５・・
・・・・巻キ取りロール、６．７・・・・・・ガイドロ
ール、８・・・・・・蒸発源、９．１０．１１．１２・
・・・・・磁石。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空槽と、この真空槽内で長尺の非磁性基材を走行させ
   る走行駆動系と、走行中の非磁性基材に対し、強磁性金
   属の薄膜が形成される手前に位置し、上記非磁性基材に
   近接して設置された磁石とを備えたことを特徴とする金
   属薄膜磁気記録媒体の製造装置。