JPS63127836A - 微小物体のクランプ機構 - Google Patents
微小物体のクランプ機構Info
- Publication number
- JPS63127836A JPS63127836A JP61272784A JP27278486A JPS63127836A JP S63127836 A JPS63127836 A JP S63127836A JP 61272784 A JP61272784 A JP 61272784A JP 27278486 A JP27278486 A JP 27278486A JP S63127836 A JPS63127836 A JP S63127836A
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- JP
- Japan
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- clamp
- cam
- members
- spring
- minute
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- Automatic Assembly (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、数10μm〜数100μm程度の微小物体、
例えば、発光ダイオード(LED)や半導体レーザ(L
D)の光半導体素子を、光ファイバー等の先導波路と光
軸を合せて組み付ける場合のハンドリング装置に用いる
クランプ機構に関するものである。
例えば、発光ダイオード(LED)や半導体レーザ(L
D)の光半導体素子を、光ファイバー等の先導波路と光
軸を合せて組み付ける場合のハンドリング装置に用いる
クランプ機構に関するものである。
(従来の技術)
従来、例えば、第5図に示すように、LDチップにヒー
トシンクを予じめハンダ付けしであるLD組立としての
微小物体1をハンドリングして、光ファイバー2と光軸
を合せてハンダ3付する際のハンドリングには、主に真
空チャック4が用いられている。
トシンクを予じめハンダ付けしであるLD組立としての
微小物体1をハンドリングして、光ファイバー2と光軸
を合せてハンダ3付する際のハンドリングには、主に真
空チャック4が用いられている。
(発明が解決しようとする問題点)
ところが、上記真空チャック4によるハンドリング構造
では、微小物体1が、数10μm〜数100μmと微小
なため、真空チャック4先端のキャピラリ(毛細管)の
吸引口径dを大きく出来ない。
では、微小物体1が、数10μm〜数100μmと微小
なため、真空チャック4先端のキャピラリ(毛細管)の
吸引口径dを大きく出来ない。
そのため、物体の保持力が弱く、物体1を保持して位置
決めした後、ハンダ3付けや接着を行なう際、そのハン
ダや接着剤の表面張力や粘着力及びそれらが固体化する
時に発生する収縮力のため、物体1が、真空チャッチク
4からズレる又は親藩する等の問題点がある。また、保
持力を強くする目的で微小物体をクランプツメで挟みつ
ける方法があるが(図示せず)微小物体1のクランプを
開放する際固定された物体1に微小な力が加わっても光
軸がズしてしよう虞れがある。
決めした後、ハンダ3付けや接着を行なう際、そのハン
ダや接着剤の表面張力や粘着力及びそれらが固体化する
時に発生する収縮力のため、物体1が、真空チャッチク
4からズレる又は親藩する等の問題点がある。また、保
持力を強くする目的で微小物体をクランプツメで挟みつ
ける方法があるが(図示せず)微小物体1のクランプを
開放する際固定された物体1に微小な力が加わっても光
軸がズしてしよう虞れがある。
本発明は以上のような点に鑑みてなされたもので、微小
物体の保持力が強力で、しかも微小物体の開放が静的な
状態で行なわれて同物体に力が加わらない微小物体のク
ランプ機構を提供することを目的とする。
物体の保持力が強力で、しかも微小物体の開放が静的な
状態で行なわれて同物体に力が加わらない微小物体のク
ランプ機構を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
上記の目的を達成するための、本発明に係るクランプ機
構の構成を、実施例に対応する第1〜4図を参照して説
明する。
構の構成を、実施例に対応する第1〜4図を参照して説
明する。
すなわち、本発明の微小物体のクランプ機構は、微小物
体1を、そのクランプ基準位置においてクランプするた
めに対向配置される第1と第2のクランプ部材12.1
3と、 前記第1と第2のクランプ部材を、前記クランプ基準位
置に押圧移動する押圧スプリング16と、 前記第1と第2のクランプ部材を、互いに対向方向に平
行移動可能に保持する第1と第2の平行バネ部材17.
18と、 前記第1と第2のクランプ部材を、その前記クランプ基
準位置から対向外方に移動させる駆動カム22と、 前記第1と第2のクランプ部材の、いずれか一方を、前
記クランプ基準位置に停止させるストッパ部材27と、 を備えたことを特徴としている。
体1を、そのクランプ基準位置においてクランプするた
めに対向配置される第1と第2のクランプ部材12.1
3と、 前記第1と第2のクランプ部材を、前記クランプ基準位
置に押圧移動する押圧スプリング16と、 前記第1と第2のクランプ部材を、互いに対向方向に平
行移動可能に保持する第1と第2の平行バネ部材17.
18と、 前記第1と第2のクランプ部材を、その前記クランプ基
準位置から対向外方に移動させる駆動カム22と、 前記第1と第2のクランプ部材の、いずれか一方を、前
記クランプ基準位置に停止させるストッパ部材27と、 を備えたことを特徴としている。
(作 用)
上記の構成において、カム22により開放された位置に
ある第1と第2のクランプ部材12゜13中間のクラン
プ基準位置に微小物体1を置いて、カム22を回転させ
る。
ある第1と第2のクランプ部材12゜13中間のクラン
プ基準位置に微小物体1を置いて、カム22を回転させ
る。
すると押圧スプリング16と第1と第2の平行バネ部材
17.18によるバネ作用によって、第1と第2のクラ
ンプ部材12.13は対向内方に移動するが、この時、
第1のクランプ部材12がストッパ部材27に当接して
クランプ基準位置に停止し、第2のクランプ部材13が
、微小物体1を、上記のバネ作用によって第1のクラン
プ部材12に押し付けるようにしてクランプさせる。
17.18によるバネ作用によって、第1と第2のクラ
ンプ部材12.13は対向内方に移動するが、この時、
第1のクランプ部材12がストッパ部材27に当接して
クランプ基準位置に停止し、第2のクランプ部材13が
、微小物体1を、上記のバネ作用によって第1のクラン
プ部材12に押し付けるようにしてクランプさせる。
このクランプ位置から、カム22が回動すると、第1及
び第2のクランプ部材12が順次移動して、物体1が開
放される。
び第2のクランプ部材12が順次移動して、物体1が開
放される。
(実施例)
第1の実施例
第1図及び第2図は、本発明に係るクランプ機構の第1
の実施例を示すもので、これは本発明の原理的な構成を
示すものである。
の実施例を示すもので、これは本発明の原理的な構成を
示すものである。
このクランプ機構は、積載治具11上のクランプ基準位
置にある微小物体1をクランプするために、同微小物体
1の左右に対向配置された第1と第2のクランプ部材1
2.13とを有している。
置にある微小物体1をクランプするために、同微小物体
1の左右に対向配置された第1と第2のクランプ部材1
2.13とを有している。
この第1と第2のクランプ部材12.13は、夫々第1
と第2のアーム14.15の一部に設けられていて、同
第1と第2のアーム14.15には、押圧スプリング1
6が張設されており、この押圧スプリング16により、
上記第1と第2のクランプ部材12.13は対向内方向
に移動付勢されて、上記微小物体1のクランプ基準位置
に押圧移動、されるようになっている。
と第2のアーム14.15の一部に設けられていて、同
第1と第2のアーム14.15には、押圧スプリング1
6が張設されており、この押圧スプリング16により、
上記第1と第2のクランプ部材12.13は対向内方向
に移動付勢されて、上記微小物体1のクランプ基準位置
に押圧移動、されるようになっている。
また、上記第1と第2のアーム14.15は、夫々第1
と第2の平行バネ部材17.18により基板19に、互
いに対向方向に平行移動可能に取り付けられ、これによ
り上記第1と第2のクランプ部材12.13も互いに対
向方向に平行移動するようになっている。
と第2の平行バネ部材17.18により基板19に、互
いに対向方向に平行移動可能に取り付けられ、これによ
り上記第1と第2のクランプ部材12.13も互いに対
向方向に平行移動するようになっている。
上記第1と第2のアーム14.15の対向部の一部には
第1と第2の従動部’20.21が形成され、この第1
と第2の従動部20.21は、その中間に設けられた駆
動カム22の外周に当接されて、カム22の回動により
、上記第1及び第2のクランプ部材12.13と共に内
外方向に移動自在となっている。
第1と第2の従動部’20.21が形成され、この第1
と第2の従動部20.21は、その中間に設けられた駆
動カム22の外周に当接されて、カム22の回動により
、上記第1及び第2のクランプ部材12.13と共に内
外方向に移動自在となっている。
上記カム22は、モータ23により回転駆動されると共
に、これと連動される検出板24の回動位置を検出する
回転角度検出器25からの角度信号を受けてモータ22
を制御する制御器26により、上記カム22は、その回
動のタイミングと回動位置が設定される。
に、これと連動される検出板24の回動位置を検出する
回転角度検出器25からの角度信号を受けてモータ22
を制御する制御器26により、上記カム22は、その回
動のタイミングと回動位置が設定される。
27はストッパ一部材であり、第1のアーム14の内壁
部に対設されて、同第1のアーム14及びこれと一体の
第1のクランプ部材12が上記クランプ基準位置となっ
たときに、第1のアーム14と当接して、第1のアーム
14及び第1のクランプ部材12の内方向への移動を停
止させる。
部に対設されて、同第1のアーム14及びこれと一体の
第1のクランプ部材12が上記クランプ基準位置となっ
たときに、第1のアーム14と当接して、第1のアーム
14及び第1のクランプ部材12の内方向への移動を停
止させる。
28は、第1のアーム14を、上記ストッパー27の方
向に移動付勢させる位置決めばねであるが、これはなく
てもさしつかえない。
向に移動付勢させる位置決めばねであるが、これはなく
てもさしつかえない。
次に、上記クランプ機構の動作を説明する。
第1図Aは、非クランプ位置を示し、これは、被クラン
プ物体としての微小物体1が、ht a治具11上のク
ランプ基準位置にあり、且つカム22の最大径部分の対
向カム面に、第1と第2の従動部20.21が当接され
た状態である。この第1図Aの位置では、第1及び第2
のクランプ部材12.13は、最も離れており、その中
間の微小物体1と第1のクランプ部材12との間隔f+
は、ストッパ部材27と第1のアーム14との間隔nI
に等しい。また微小物体1と第2のクランプ部材13と
の間隔は11+Δ1となりている。
プ物体としての微小物体1が、ht a治具11上のク
ランプ基準位置にあり、且つカム22の最大径部分の対
向カム面に、第1と第2の従動部20.21が当接され
た状態である。この第1図Aの位置では、第1及び第2
のクランプ部材12.13は、最も離れており、その中
間の微小物体1と第1のクランプ部材12との間隔f+
は、ストッパ部材27と第1のアーム14との間隔nI
に等しい。また微小物体1と第2のクランプ部材13と
の間隔は11+Δ1となりている。
第1図Bは、クランプ位置を示し、これは、上記第1図
Aの非クランプ位置から、カム22が90度回転して、
カム22の最小径部分の対向カム面に、第1と第2の従
動部20.21が対面された状態である。この第1図B
の位置では、カム22の上記最大径カム面と最小径カム
面の高低差12が、I12≧11+Δ11>42+、と
なフていることから、第1のクランプ部材12が、これ
と一体の第1のアーム14を介してストッパ部材27の
当接された状態で、第1及び第2のクランプ部材12.
13は、微小物体1の対向面に当接されてこれをクラン
プする。
Aの非クランプ位置から、カム22が90度回転して、
カム22の最小径部分の対向カム面に、第1と第2の従
動部20.21が対面された状態である。この第1図B
の位置では、カム22の上記最大径カム面と最小径カム
面の高低差12が、I12≧11+Δ11>42+、と
なフていることから、第1のクランプ部材12が、これ
と一体の第1のアーム14を介してストッパ部材27の
当接された状態で、第1及び第2のクランプ部材12.
13は、微小物体1の対向面に当接されてこれをクラン
プする。
上記の構成によれば、微小物体1のクランプ力が、押圧
スプリング16及び第1と第2の平行バネ部材17.1
8によるバネ圧により設定されているためその保持力を
大きくすることが出来る。
スプリング16及び第1と第2の平行バネ部材17.1
8によるバネ圧により設定されているためその保持力を
大きくすることが出来る。
また、ストッパ部材27により第1のクランプ部材I2
が位置決めされた状態で、クランプされるためクランプ
位置が一定となる。さらに、微小物体1の開放時には、
第2のクランプ部材13が物体から離れた後に、定位置
にある第1のクランプ部材12が離れていることになり
物体1に力が加わらないから、物体が基準位置からずれ
ることがない。
が位置決めされた状態で、クランプされるためクランプ
位置が一定となる。さらに、微小物体1の開放時には、
第2のクランプ部材13が物体から離れた後に、定位置
にある第1のクランプ部材12が離れていることになり
物体1に力が加わらないから、物体が基準位置からずれ
ることがない。
第2の実施例
第3図及び第4図は、本発明に係るクランプ機構の第2
の実施例を示すもので、これは、上記第1の実施例の構
成を実用的にさらに具体化したものである。
の実施例を示すもので、これは、上記第1の実施例の構
成を実用的にさらに具体化したものである。
然して、この第2の実施例において、第1の実施例と共
通するか所には共通の符号を付し、第1の実施例と相違
する点を主として説明する。
通するか所には共通の符号を付し、第1の実施例と相違
する点を主として説明する。
このクランプ機構では、第1及び第2のアーム14.1
5が、夫々クランプ部材側アーム14a、15aと従動
部側アーム14a、15bに分割され、クランプ部材側
アーム14a、15a間に張設された押圧スプリング!
6に引かねて、クランプ部材側アーム14a、15aの
各基端の当接部14c、15cが、従動部側7−ム14
b。
5が、夫々クランプ部材側アーム14a、15aと従動
部側アーム14a、15bに分割され、クランプ部材側
アーム14a、15a間に張設された押圧スプリング!
6に引かねて、クランプ部材側アーム14a、15aの
各基端の当接部14c、15cが、従動部側7−ム14
b。
15bの対向基端に常時当接されている。また、上記第
1のアーム14側の当接部14cは、ボルトにより形成
されて、その当接先端位置が螺回調整自在となっている
。
1のアーム14側の当接部14cは、ボルトにより形成
されて、その当接先端位置が螺回調整自在となっている
。
その他の構成部分については、上記第1の実施例と基本
的に同じであるので、詳細な説明は省略する。
的に同じであるので、詳細な説明は省略する。
次に、上記の構成における、カム22と第1゜第2のク
ランプ部材12.13との、作動タイミングの詳細を、
第3図の、1〜■にょワて説明するが、これは、基本的
には上記第1の実施例と同じである。
ランプ部材12.13との、作動タイミングの詳細を、
第3図の、1〜■にょワて説明するが、これは、基本的
には上記第1の実施例と同じである。
さて工の初期状態では、第1と第2の従動部20.21
が、カム22の最小径部分のカム面に対面して、第1と
第2のクランプ部材12.13の間隔は最小となってい
る。このI状態では、第1のクランプ部材12は、その
第1のアーム14がストッパ一部材27に当接されて、
これに対応する第1の従動部20とカム22との間に隙
間を置いて位置決めされ、第3図では第2のクランプ部
材13に対応する第2の従動部21はカム22面に当接
されて位置決めされている。然しながら、実際には、第
4図に示されるように、第2の従動部21とカム22と
の間には、モータのイナーシャを考慮に入れたガタを設
けることが望ましく、このガタは押圧スプリング16の
バネ力に対抗する同等の力を第2の平行バネ18のバネ
力にもたせ第2の従動部21に作用する荷重を0にする
ことによって保持されている。
が、カム22の最小径部分のカム面に対面して、第1と
第2のクランプ部材12.13の間隔は最小となってい
る。このI状態では、第1のクランプ部材12は、その
第1のアーム14がストッパ一部材27に当接されて、
これに対応する第1の従動部20とカム22との間に隙
間を置いて位置決めされ、第3図では第2のクランプ部
材13に対応する第2の従動部21はカム22面に当接
されて位置決めされている。然しながら、実際には、第
4図に示されるように、第2の従動部21とカム22と
の間には、モータのイナーシャを考慮に入れたガタを設
けることが望ましく、このガタは押圧スプリング16の
バネ力に対抗する同等の力を第2の平行バネ18のバネ
力にもたせ第2の従動部21に作用する荷重を0にする
ことによって保持されている。
次に、■の状態では、カム22がやや回動し、第2のク
ランプ部材13が右に開く。
ランプ部材13が右に開く。
■の状態では、カム22の最大径部分のカム面によって
押されて、第1及び第2のクランプ部材12.13は左
右に開き、その間隔が最大となる。
押されて、第1及び第2のクランプ部材12.13は左
右に開き、その間隔が最大となる。
この時クランプ基準位置に微小物体1を置く。
■の状態では、第1のクランプ部材には、ストッパ部材
27によって規制された基準位置に移動して停止し、第
2のクランプ部材13がさらに左へ移動する。尚■の状
態では、物体1と第1のクランプ部材12との間には実
際には微小な隙間がある。
27によって規制された基準位置に移動して停止し、第
2のクランプ部材13がさらに左へ移動する。尚■の状
態では、物体1と第1のクランプ部材12との間には実
際には微小な隙間がある。
■の状態では、第2のクランプ部材13が、物体lを第
1のクランプ部材12の方向に押し出すようにして、荷
重0の状態で物体1を挟む。
1のクランプ部材12の方向に押し出すようにして、荷
重0の状態で物体1を挟む。
■の状態で、カム22は、工の初期状態から180度回
転して、元の位置と実質的に同等の位置となり、物体1
は、バネ力により確実にクランプされる。この■の状態
が数分程度持続されて、この間物体1のハンダ付等の作
業が行なわれる。
転して、元の位置と実質的に同等の位置となり、物体1
は、バネ力により確実にクランプされる。この■の状態
が数分程度持続されて、この間物体1のハンダ付等の作
業が行なわれる。
次に、物体1をクランプした上記■の状態から、第1及
び第2のクランプ部材12.13が順次間いて、物体1
が開放されるが、この特売に第2のクランプ部材13が
開いてから、静かに第1のクランプ部材12が開くこと
になる。
び第2のクランプ部材12.13が順次間いて、物体1
が開放されるが、この特売に第2のクランプ部材13が
開いてから、静かに第1のクランプ部材12が開くこと
になる。
・(効 果)
本発明は、以上説明したように、微小物体のクランプ力
をバネ圧によって大きくすることが出来、また一方のク
ランプ部材がストッパ部材により位置決めされた状態で
クランプされあるいは開放されるため、クランプ位置が
一定となり、さらに上記物体の開放時に物体が移動する
ことがない。
をバネ圧によって大きくすることが出来、また一方のク
ランプ部材がストッパ部材により位置決めされた状態で
クランプされあるいは開放されるため、クランプ位置が
一定となり、さらに上記物体の開放時に物体が移動する
ことがない。
従7て、本発明によれば、微小物体を正確な位置に位置
決め固着させるためのクランプ機構として、実用上優れ
た効果がある。
決め固着させるためのクランプ機構として、実用上優れ
た効果がある。
第1図A、Bは、本発明の第1の実施例に係るクランプ
機構の作動状態を示す正面図、第2図は、第1図の側面
図、第3図は、同第2の実施例に係るクランプ機構の作
動状態を示す正面図、第4図は同カムと従動部の詳細を
示す図、第5図は、従来のクランプ方法を説明する図で
ある。 1−・微小物体、12.13−第1と第2のクランプ部
材、16−・・押圧スプリング、17.18−第1と第
2の平行バネネ部材、22・−カム、27・−ストッパ
部材。 代理人・弁理士 西 村 教 光 第2図 1つ 第4図 第5図 第3図
機構の作動状態を示す正面図、第2図は、第1図の側面
図、第3図は、同第2の実施例に係るクランプ機構の作
動状態を示す正面図、第4図は同カムと従動部の詳細を
示す図、第5図は、従来のクランプ方法を説明する図で
ある。 1−・微小物体、12.13−第1と第2のクランプ部
材、16−・・押圧スプリング、17.18−第1と第
2の平行バネネ部材、22・−カム、27・−ストッパ
部材。 代理人・弁理士 西 村 教 光 第2図 1つ 第4図 第5図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 微小物体を、そのクランプ基準位置においてクランプ
するために対向配置される第1と第2のクランプ部材と
、 前記第1と第2のクランプ部材を、前記クランプ基準位
置に押圧移動する押圧スプリングと、前記第1と第2の
クランプ部材を、互いに対向方向に平行移動可能に保持
する第1と第2の平行バネ部材と、 前記第1と第2のクランプ部材を、その前記クランプ基
準位置から対向外方に移動させる駆動カムと、 前記第1と第2のクランプ部材の、いずれか一方を、前
記クランプ基準位置に停止させるストッパ部材と、 を備えたことを特徴とする微小物体のクランプ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61272784A JPH072293B2 (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | 微小物体のクランプ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61272784A JPH072293B2 (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | 微小物体のクランプ機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63127836A true JPS63127836A (ja) | 1988-05-31 |
| JPH072293B2 JPH072293B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=17518699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61272784A Expired - Lifetime JPH072293B2 (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | 微小物体のクランプ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH072293B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100627967B1 (ko) | 2005-07-01 | 2006-09-26 | 박종호 | 포머용 이송집게 및 집게벌림구 |
| WO2019038982A1 (ja) * | 2017-08-23 | 2019-02-28 | 日本電産株式会社 | 把持装置、及び搬送装置 |
| JP2020173257A (ja) * | 2014-01-27 | 2020-10-22 | 株式会社日立ハイテク | 自動分析装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4720751U (ja) * | 1971-03-29 | 1972-11-08 | ||
| JPS59171089U (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-15 | 東芝硝子株式会社 | 棒状体の把持装置 |
-
1986
- 1986-11-18 JP JP61272784A patent/JPH072293B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4720751U (ja) * | 1971-03-29 | 1972-11-08 | ||
| JPS59171089U (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-15 | 東芝硝子株式会社 | 棒状体の把持装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100627967B1 (ko) | 2005-07-01 | 2006-09-26 | 박종호 | 포머용 이송집게 및 집게벌림구 |
| JP2020173257A (ja) * | 2014-01-27 | 2020-10-22 | 株式会社日立ハイテク | 自動分析装置 |
| WO2019038982A1 (ja) * | 2017-08-23 | 2019-02-28 | 日本電産株式会社 | 把持装置、及び搬送装置 |
| CN111032293A (zh) * | 2017-08-23 | 2020-04-17 | 日本电产株式会社 | 把持装置和搬运装置 |
| JPWO2019038982A1 (ja) * | 2017-08-23 | 2020-08-06 | 日本電産株式会社 | 把持装置、及び搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH072293B2 (ja) | 1995-01-18 |
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