JPS63149941U - - Google Patents

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JPS63149941U
JPS63149941U JP4328187U JP4328187U JPS63149941U JP S63149941 U JPS63149941 U JP S63149941U JP 4328187 U JP4328187 U JP 4328187U JP 4328187 U JP4328187 U JP 4328187U JP S63149941 U JPS63149941 U JP S63149941U
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JP
Japan
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grounded electrode
utility
model registration
electrode
rotating cylinder
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JP4328187U
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  • Treatment Of Fiber Materials (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は、本考案の連続式プラズマ
処理装置の一例を示す。 １は真空容器、２はガス吹出し孔を有する接地
側電極、３は円筒型非接地電極、４は処理物の出
入口、５はガイドローラー、６は真空ポンプに通
じる排気孔、７はガス導入孔、８は円筒型非接地
電極の絶縁固定具、９は高周波の導入部であり、
１０と１１は冷却或いは温調媒体の導入・流出孔
、１２は高周波電源、１３はモノマー或いはガス
吹出し孔である。１４は処理物、１５は自由回転
する円筒、１６はローラー、１７は非接地電極内
部、１８は非接地電極表面を示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 円筒型非接地電極と、該非接地電極の外側
    に配設された複数のローラーと、該ローラーに外
    接しかつそれによつて自由回転する円筒と、該自
    由回転する円筒をおおう部分円筒型接地電極と、
    処理物を前記自由回転する円筒の外側に接触させ
    て走行せしめるための手段とを真空容器中に有す
    るプラズマ処理装置。 (2) 接地電極にガス或いはモノマーガス吹き出
    し孔を有する実用新案登録請求の範囲第１項記載
    の装置。
JP4328187U 1987-03-23 1987-03-23 Pending JPS63149941U (ja)

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JP4328187U JPS63149941U (ja) 1987-03-23 1987-03-23

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JP4328187U JPS63149941U (ja) 1987-03-23 1987-03-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63149941U true JPS63149941U (ja) 1988-10-03

Family

ID=30859990

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4328187U Pending JPS63149941U (ja) 1987-03-23 1987-03-23

Country Status (1)

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JP (1) JPS63149941U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002337210A (ja) * 2001-05-21 2002-11-27 Okura Ind Co Ltd 内表面処理プラスチックチューブ製造装置、及び該装置を用いた内表面処理プラスチックチューブの製造方法

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002337210A (ja) * 2001-05-21 2002-11-27 Okura Ind Co Ltd 内表面処理プラスチックチューブ製造装置、及び該装置を用いた内表面処理プラスチックチューブの製造方法

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