JPS63193832U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63193832U JPS63193832U JP8369887U JP8369887U JPS63193832U JP S63193832 U JPS63193832 U JP S63193832U JP 8369887 U JP8369887 U JP 8369887U JP 8369887 U JP8369887 U JP 8369887U JP S63193832 U JPS63193832 U JP S63193832U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma processing
- microwave
- cooling medium
- airtight plate
- processing furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例に係るマイクロ波
プラズマ処理装置の要部を示す概略構成図、第２
図は従来のマイクロ波プラズマ処理装置の全体を
示す概略構成図、第３図は従来の装置の要部を示
す断面図である。 １……マイクロ波発振機（マイクロ波発振源）
、２……アイソレータ、３……パワーモニタ、４
……整合器、５……導波管、６……給電導波管、
７……気密板、８，９……Ｏリング（パツキン）
、１０……ノズル、１１……ガスボンベ（排気装
置）、１２……被処理物、１３……プラズマ処理
炉、１４……排気ポンプ（排気装置）、１８……
通路、１９，２０……ノズル。
プラズマ処理装置の要部を示す概略構成図、第２
図は従来のマイクロ波プラズマ処理装置の全体を
示す概略構成図、第３図は従来の装置の要部を示
す断面図である。 １……マイクロ波発振機（マイクロ波発振源）
、２……アイソレータ、３……パワーモニタ、４
……整合器、５……導波管、６……給電導波管、
７……気密板、８，９……Ｏリング（パツキン）
、１０……ノズル、１１……ガスボンベ（排気装
置）、１２……被処理物、１３……プラズマ処理
炉、１４……排気ポンプ（排気装置）、１８……
通路、１９，２０……ノズル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) マイクロ波発振源と、このマイクロ波発振
源に少なくとも導波管を介して接続されたプラズ
マ処理炉と、このプラズマ処理炉に処理ガスを供
給する処理ガス供給源と、上記プラズマ処理炉を
減圧するための排気装置と、上記プラズマ処理炉
の上記導波管接続部に設けられた誘電体製気密板
及びパツキンとを具備するマイクロ波プラズマ処
理装置において、 上記気密板のうち上記パツキンに対応する箇所
に、冷却媒体が通過する手段を設けたことを特徴
とするマイクロ波プラズマ処理装置。 (2) 上記冷却媒体が通過する手段は、上記気密
板に通路を設け、この通路に外部からノズルを介
して冷却媒体を通過させることである実用新案登
録請求の範囲第１項記載のマイクロ波プラズマ処
理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8369887U JPS63193832U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8369887U JPS63193832U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63193832U true JPS63193832U (ja) | 1988-12-14 |
Family
ID=30937523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8369887U Pending JPS63193832U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63193832U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02202703A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-08-10 | Hitachi Ltd | マイクロ波整合方法及び装置 |
-
1987
- 1987-05-30 JP JP8369887U patent/JPS63193832U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02202703A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-08-10 | Hitachi Ltd | マイクロ波整合方法及び装置 |