JPS63177429A - 半導体部品の封止方法 - Google Patents
半導体部品の封止方法Info
- Publication number
- JPS63177429A JPS63177429A JP840487A JP840487A JPS63177429A JP S63177429 A JPS63177429 A JP S63177429A JP 840487 A JP840487 A JP 840487A JP 840487 A JP840487 A JP 840487A JP S63177429 A JPS63177429 A JP S63177429A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- component
- semiconductor
- sealing
- semiconductor component
- Prior art date
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- Pending
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体装置用基板上に取り付けられた半導
体部品を封止する方法に関するものである。
体部品を封止する方法に関するものである。
従来のこの種の封止方法を第5図について説明する。図
において、1は半導体装置用基板、2はこの半導体装置
用基板1の所定の位置にダイボンドされた半導体チップ
、3はこの半導体チップ2と半導体基板1のそれぞれの
所定の位置にワイヤボンドされたワイヤ、4は半導体チ
ップ2およびワイヤ3を保護封止するために塗布された
封止用樹脂である。この封止用樹!M 4ば塗布装置(
図示しない)により半導体チップ2およびワイヤ3の上
方から所定の形状に塗布され、半導体チップ2およびワ
イヤ3は封止される。そしてその次にキュア炉等により
加熱され、硬化させることにより封止が完了する。
において、1は半導体装置用基板、2はこの半導体装置
用基板1の所定の位置にダイボンドされた半導体チップ
、3はこの半導体チップ2と半導体基板1のそれぞれの
所定の位置にワイヤボンドされたワイヤ、4は半導体チ
ップ2およびワイヤ3を保護封止するために塗布された
封止用樹脂である。この封止用樹!M 4ば塗布装置(
図示しない)により半導体チップ2およびワイヤ3の上
方から所定の形状に塗布され、半導体チップ2およびワ
イヤ3は封止される。そしてその次にキュア炉等により
加熱され、硬化させることにより封止が完了する。
ところが以上の方法によると封止用樹脂4の塗布量を均
一にすることが難しく、塗布量が少な過ぎて完全に封止
されない場合や、塗布量が多過ぎて、所定部位以外に流
れ、回路等に不具合が生じるなどの問題があった。
一にすることが難しく、塗布量が少な過ぎて完全に封止
されない場合や、塗布量が多過ぎて、所定部位以外に流
れ、回路等に不具合が生じるなどの問題があった。
この発明は以上のような問題点を解決するためになされ
たもので、簡単な方法により、常に一定量の封止樹脂を
安定供給し、封止できる方法を提供するものである。
たもので、簡単な方法により、常に一定量の封止樹脂を
安定供給し、封止できる方法を提供するものである。
この発明に係る封止方法は、半導体部品を収納し得る凹
部を下面に有する樹脂製蓋を、半導体装置用基板上の半
導体部品の上方から取付け、その後、この樹脂製蓋を加
熱して溶融させ、半導体部品を封止するようにしたもの
である。
部を下面に有する樹脂製蓋を、半導体装置用基板上の半
導体部品の上方から取付け、その後、この樹脂製蓋を加
熱して溶融させ、半導体部品を封止するようにしたもの
である。
この発明においては、所定容積の樹脂製蓋を用いるので
、常に一定量の封止樹脂を安定供給し封止できる。
、常に一定量の封止樹脂を安定供給し封止できる。
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第1図および第2図は樹脂製蓋を示す図であり、第3図
はこの樹脂製蓋を取り付けた状態、第4図は樹脂製蓋が
溶融した状Bを示す図である。図において、5は半導体
チップ2およびワイヤ3を収納し得る凹部6を有する樹
脂製蓋であり、この樹脂製蓋5を第3図のように半導体
装置用基板1上に、半導体チップ2およびワイヤ3が凹
部6に収納されるように取り付ける。次に第4図のよう
に、加熱手段(図示しない)により樹脂製蓋5を溶融さ
せ、半導体チップ2およびワイヤ3を封止する。
はこの樹脂製蓋を取り付けた状態、第4図は樹脂製蓋が
溶融した状Bを示す図である。図において、5は半導体
チップ2およびワイヤ3を収納し得る凹部6を有する樹
脂製蓋であり、この樹脂製蓋5を第3図のように半導体
装置用基板1上に、半導体チップ2およびワイヤ3が凹
部6に収納されるように取り付ける。次に第4図のよう
に、加熱手段(図示しない)により樹脂製蓋5を溶融さ
せ、半導体チップ2およびワイヤ3を封止する。
その後冷却して樹脂を硬化させる。
尚、上記実施例では、1つの半導体チップの封止につい
て述べたが、複数個のチップについても、複数個を収納
できる凹部を設ければ同様の効果が得られる。
て述べたが、複数個のチップについても、複数個を収納
できる凹部を設ければ同様の効果が得られる。
以上のようにこの発明によれば、半導体部品を収納し得
る凹部を下面に有した樹脂製蓋を、半導体部品の上から
被せて、半導体装置用基板に取付け、その後樹脂製蓋を
加熱して溶融させ、半導体部品を封止させるので、封止
樹脂を常に一定量、安定して供給でき、安定した封止が
できるというすぐれた効果がある。
る凹部を下面に有した樹脂製蓋を、半導体部品の上から
被せて、半導体装置用基板に取付け、その後樹脂製蓋を
加熱して溶融させ、半導体部品を封止させるので、封止
樹脂を常に一定量、安定して供給でき、安定した封止が
できるというすぐれた効果がある。
第1図〜第4図はこの発明の一実施例を示すもので、第
1図、第2図は樹脂製蓋を示す斜視図と断面図、第3図
、第4図は封止工程図、第5図は従来のこの種の樹脂封
止方法を示す断面図である。 図中、1は半導体装置用基板、2(よ半導体チップ、3
はワイヤ、5は樹ll1i!!!!蓋、6は凹部である
。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
1図、第2図は樹脂製蓋を示す斜視図と断面図、第3図
、第4図は封止工程図、第5図は従来のこの種の樹脂封
止方法を示す断面図である。 図中、1は半導体装置用基板、2(よ半導体チップ、3
はワイヤ、5は樹ll1i!!!!蓋、6は凹部である
。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体装置用基板の所定の位置に取り付けられた半導
体チップ等の半導体部品を樹脂封止するものにおいて、
上記半導体部品を収納し得る凹部を有する樹脂製の蓋を
、上記半導体装置用基板上に上記半導体部品を収納する
ように取付け、次にこの樹脂製蓋を所定の温度まで加熱
して該樹脂製蓋を溶融させることにより、半導体部品を
封止し、その後冷却して硬化させることを特徴とする半
導体部品の封止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP840487A JPS63177429A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 半導体部品の封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP840487A JPS63177429A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 半導体部品の封止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177429A true JPS63177429A (ja) | 1988-07-21 |
Family
ID=11692232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP840487A Pending JPS63177429A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 半導体部品の封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63177429A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6001671A (en) * | 1996-04-18 | 1999-12-14 | Tessera, Inc. | Methods for manufacturing a semiconductor package having a sacrificial layer |
| US7165316B2 (en) | 1996-04-18 | 2007-01-23 | Tessera, Inc. | Methods for manufacturing resistors using a sacrificial layer |
| WO2014027376A1 (ja) * | 2012-08-14 | 2014-02-20 | Necカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 | 熱硬化性樹脂シート、半導体装置、および半導体装置の製造方法 |
-
1987
- 1987-01-16 JP JP840487A patent/JPS63177429A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6001671A (en) * | 1996-04-18 | 1999-12-14 | Tessera, Inc. | Methods for manufacturing a semiconductor package having a sacrificial layer |
| US7165316B2 (en) | 1996-04-18 | 2007-01-23 | Tessera, Inc. | Methods for manufacturing resistors using a sacrificial layer |
| WO2014027376A1 (ja) * | 2012-08-14 | 2014-02-20 | Necカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 | 熱硬化性樹脂シート、半導体装置、および半導体装置の製造方法 |
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