JPS63180723U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63180723U JPS63180723U JP7260787U JP7260787U JPS63180723U JP S63180723 U JPS63180723 U JP S63180723U JP 7260787 U JP7260787 U JP 7260787U JP 7260787 U JP7260787 U JP 7260787U JP S63180723 U JPS63180723 U JP S63180723U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitance
- inductance
- rotating body
- axial direction
- magnetic flux
- Prior art date
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- Granted
Links
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- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
第１，２図は本考案による磁気軸受装置の一実
施例を示す図であり、第１図はその磁気軸受装置
を応用した真空ポンプ１の断面図、第２図はその
真空ポンプ１の軸方向センサ２０の部分拡大図お
よび回路図である。 １……真空ポンプ、２……ハウジング、３……
ステータ翼、５……ロータ（回転体）、６……ロ
ータ翼、８……固定筒、８ａ……底板部、１０…
…ロータ軸、１０ａ……段部、１２……モータ、
１４……半径方向磁気軸受、１５……軸方向電磁
石、１７……アーマチヤーデイスク、１８，１８
′……永久磁石、２０……軸方向センサ、２２…
…磁束手段、２４……コイル、２６……磁性体、
２８……挿入ネジ、３０……検出回路、３２，３
３……配線、３５……制御回路、３７……固定コ
イル、３８……可変コイル、４０……保護用軸受
。
施例を示す図であり、第１図はその磁気軸受装置
を応用した真空ポンプ１の断面図、第２図はその
真空ポンプ１の軸方向センサ２０の部分拡大図お
よび回路図である。 １……真空ポンプ、２……ハウジング、３……
ステータ翼、５……ロータ（回転体）、６……ロ
ータ翼、８……固定筒、８ａ……底板部、１０…
…ロータ軸、１０ａ……段部、１２……モータ、
１４……半径方向磁気軸受、１５……軸方向電磁
石、１７……アーマチヤーデイスク、１８，１８
′……永久磁石、２０……軸方向センサ、２２…
…磁束手段、２４……コイル、２６……磁性体、
２８……挿入ネジ、３０……検出回路、３２，３
３……配線、３５……制御回路、３７……固定コ
イル、３８……可変コイル、４０……保護用軸受
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 回転体を半径方向に浮上させて支持する半径方
向磁気軸受と、アーマチヤーデイスクを介して回
転体を軸方向に浮上させて支持する軸方向電磁石
と、回転体の軸方向の浮上量を検出する検出手段
と、を備えた磁気軸受装置において、 前記検出手段を、前記浮上量を直接検出する磁
束または容量手段と、この磁束または容量手段の
インダクタンスまたは容量の目標値と同じインダ
クタンスまたは容量のコイルまたはコンデンサー
を有する検出回路とにより構成し、 前記磁束または容量手段にインダクタンスまた
は容量調整手段を設けるとともに、このインダク
タンスまたは容量調整手段により回転体が軸方向
に全く浮上しない状態において前記磁束または容
量手段のインダクタンスまたは容量が前記検出回
路の目標値と常に一定の差を有するよう調整でき
るようにしたことを特徴とする磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7260787U JPH051693Y2 (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7260787U JPH051693Y2 (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63180723U true JPS63180723U (ja) | 1988-11-22 |
| JPH051693Y2 JPH051693Y2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=30916206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7260787U Expired - Lifetime JPH051693Y2 (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH051693Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-05-15 JP JP7260787U patent/JPH051693Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH051693Y2 (ja) | 1993-01-18 |
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