JPS63184047A - 欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS63184047A JPS63184047A JP1688987A JP1688987A JPS63184047A JP S63184047 A JPS63184047 A JP S63184047A JP 1688987 A JP1688987 A JP 1688987A JP 1688987 A JP1688987 A JP 1688987A JP S63184047 A JPS63184047 A JP S63184047A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- memory
- image
- inspected
- thinning
- processing circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 40
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 33
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 12
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 11
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 7
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
本発明は、移動中の被検査物の外観検査を行うための欠
陥検出装置に関するものである。
陥検出装置に関するものである。
(背景技術)
従来、被検査物の外観、検査を行うために、テレビカメ
ラにより被検査物の画像を撮影し、その画像信号を微分
し、所定のレベルで細線化することにより欠陥検査を行
う方式が提案されている。この従来例にあっては、被検
査物のエツジ部と欠陥部との微分値に大きな差が生じ、
欠陥部を抽出するための細線化レベルに合わせた場合に
、被検査物のエツジ部を認識するための細線化情報が多
くなり過ぎるために、正確なエツジ部の認識が困難であ
り、誤判断する場合が多いという問題があった。
ラにより被検査物の画像を撮影し、その画像信号を微分
し、所定のレベルで細線化することにより欠陥検査を行
う方式が提案されている。この従来例にあっては、被検
査物のエツジ部と欠陥部との微分値に大きな差が生じ、
欠陥部を抽出するための細線化レベルに合わせた場合に
、被検査物のエツジ部を認識するための細線化情報が多
くなり過ぎるために、正確なエツジ部の認識が困難であ
り、誤判断する場合が多いという問題があった。
(発明の目的)
本発明は上述のような点に鑑みてなされたものであり、
その目的とするところは、移動中の被検査物の外観検査
を行うために、被検査物の位置を正確に認識し、正しい
検査領域を設定することによって検出精度を高めた欠陥
検出装置を提供するにある。
その目的とするところは、移動中の被検査物の外観検査
を行うために、被検査物の位置を正確に認識し、正しい
検査領域を設定することによって検出精度を高めた欠陥
検出装置を提供するにある。
(発明の開示)
本発明に係る欠陥検出装置にあっては、第1図及び第3
図に示すように、移動している被検査物1を静止画像入
力するためのテレビカメラ2及びストロボ3と、入力画
像を記憶するフレームメモリー4と、入力画像を実時間
で微分・細線化する処理回路5と、テレビカメラ2から
の画像信号とフレームメモリー4からの画像信号とを処
理回路5に切換入力する切換器6と、テレビカメラ2か
ら処理回路5に入力された画像信号を被検査物1のエツ
ジ部11が認識できるレベルL1で細線化した結果を記
憶する第1メモリー7と、フレームメモリー4から処理
回路5に入力された画像信号を被検査物1の欠陥部12
が抽出できるレベルL2で細線化した結果を記憶する第
2メモリー8とを備えて成るものである。
図に示すように、移動している被検査物1を静止画像入
力するためのテレビカメラ2及びストロボ3と、入力画
像を記憶するフレームメモリー4と、入力画像を実時間
で微分・細線化する処理回路5と、テレビカメラ2から
の画像信号とフレームメモリー4からの画像信号とを処
理回路5に切換入力する切換器6と、テレビカメラ2か
ら処理回路5に入力された画像信号を被検査物1のエツ
ジ部11が認識できるレベルL1で細線化した結果を記
憶する第1メモリー7と、フレームメモリー4から処理
回路5に入力された画像信号を被検査物1の欠陥部12
が抽出できるレベルL2で細線化した結果を記憶する第
2メモリー8とを備えて成るものである。
本発明はこのように構成されているので、1回目に細線
化したデータで被検査物の輪郭線を認識し、被検査物の
位置と欠陥検査したい領域とを決定し、2回目の細線化
で抽出した欠陥部を含むデータを先に求めた領域内での
み探索することが可能となり、移動中の被検査物の欠陥
抽出を効率的に行い得るものである。
化したデータで被検査物の輪郭線を認識し、被検査物の
位置と欠陥検査したい領域とを決定し、2回目の細線化
で抽出した欠陥部を含むデータを先に求めた領域内での
み探索することが可能となり、移動中の被検査物の欠陥
抽出を効率的に行い得るものである。
第1図は本発明の一実施例に係る欠陥検出装置の概略構
成を示すブロック図である。テレビカメラ2は、第30
に示すように、移動中の被検査物1を撮影する。A/D
変換部9はテレビカメラ2により得られたアナログの画
像信号をデジタル信号に変換する。この場合、デジタル
信号のビット数は対象物に応じて任意に設定される。フ
レームメモリー4は前述のデジタル信号に変換された画
像データを記憶する。切換器6はテレビカメラ1から直
接入力される画像信号と、フレームメモリー4に一旦記
憶されてから読み出された画像信号とを処理回路5に切
り換えて送る。処理回路5はテレビカメラ1のクロック
信号(垂直同期信号)に同期したスピードで微分・細線
化の処理を行う。
成を示すブロック図である。テレビカメラ2は、第30
に示すように、移動中の被検査物1を撮影する。A/D
変換部9はテレビカメラ2により得られたアナログの画
像信号をデジタル信号に変換する。この場合、デジタル
信号のビット数は対象物に応じて任意に設定される。フ
レームメモリー4は前述のデジタル信号に変換された画
像データを記憶する。切換器6はテレビカメラ1から直
接入力される画像信号と、フレームメモリー4に一旦記
憶されてから読み出された画像信号とを処理回路5に切
り換えて送る。処理回路5はテレビカメラ1のクロック
信号(垂直同期信号)に同期したスピードで微分・細線
化の処理を行う。
ストロボ3は移動している被検査物1を静止画像として
撮影するために瞬間だけ点灯する。コントローラ10は
ストロボ3の発光タイミングや処理回路5に入力される
画像の切換等の制御を行う。
撮影するために瞬間だけ点灯する。コントローラ10は
ストロボ3の発光タイミングや処理回路5に入力される
画像の切換等の制御を行う。
第1メモリー7は被検査¥@1のエツジ部11を抽出し
た細線化画像を記憶するためのメモリーである。第2メ
モリー8は被検査物1の欠陥部12を含む細線化画像を
記憶するためのメモリーである。
た細線化画像を記憶するためのメモリーである。第2メ
モリー8は被検査物1の欠陥部12を含む細線化画像を
記憶するためのメモリーである。
CPU13は被検査物1のエツジ部11を細線化データ
から認識して検査領域を設定したり、欠陥部12の認識
や被検査物1の良否判断等を行うものである。
から認識して検査領域を設定したり、欠陥部12の認識
や被検査物1の良否判断等を行うものである。
以下、本実施例の動作について説明する。第3図に示す
ように、矢印Pの方向に移動している被検査物1の画像
を、テレビカメラ2とストロボ3との組み合わせにより
静止画像として撮影し、その画像信号をA/D変換する
。A/D変換部9によりデジタル化された画像データは
2方向に分かれ、一方はフレームメモリー4で1画面分
の画像として記憶され、他方は切換器6を介して処理回
路5に入力される。処理回路5では、テレビカメラ2の
クロック信号に同期して微分及び細線化処理を行い、第
1メモリー7に細線化データを送る。
ように、矢印Pの方向に移動している被検査物1の画像
を、テレビカメラ2とストロボ3との組み合わせにより
静止画像として撮影し、その画像信号をA/D変換する
。A/D変換部9によりデジタル化された画像データは
2方向に分かれ、一方はフレームメモリー4で1画面分
の画像として記憶され、他方は切換器6を介して処理回
路5に入力される。処理回路5では、テレビカメラ2の
クロック信号に同期して微分及び細線化処理を行い、第
1メモリー7に細線化データを送る。
第4図(a)は第1メモリー7に得られる細線化データ
の例を示す図である。同図において、11は被検査物1
のエツジ部である。
の例を示す図である。同図において、11は被検査物1
のエツジ部である。
第5図は微分及び細線化処理の動作説明図である。同図
の波形は、第3図に示す被検査物1のA−A’線につい
ての画像信号の微分値eを示している。Llはエツジ部
抽出のためのスレショルド値であり、L2は欠陥部抽出
のためのスレショルド値である。
の波形は、第3図に示す被検査物1のA−A’線につい
ての画像信号の微分値eを示している。Llはエツジ部
抽出のためのスレショルド値であり、L2は欠陥部抽出
のためのスレショルド値である。
1画面分の処理が終了した後に、直ちに切換器6をフレ
ームメモリー4からの画像に切り換えて、再びテレビカ
メラ2のクロック信号に同期して切換器6を介して処理
回路5に画像データを送る。
ームメモリー4からの画像に切り換えて、再びテレビカ
メラ2のクロック信号に同期して切換器6を介して処理
回路5に画像データを送る。
処理回路5にて再び微分及び細線化の処理を、スレショ
ルド値を変えて行い、第2メモリー8に細線化データを
送る。第4図(b)は第2メモリー8に得られる細線化
データの例を示す図である。同図において、12は被検
査物1の欠陥部である。
ルド値を変えて行い、第2メモリー8に細線化データを
送る。第4図(b)は第2メモリー8に得られる細線化
データの例を示す図である。同図において、12は被検
査物1の欠陥部である。
これらの第1メモリー7と第2メモリー8に得られた細
線化データを用いてCPU13により欠陥部12の認識
処理を行う。
線化データを用いてCPU13により欠陥部12の認識
処理を行う。
第2図は以上の処理タイミングを示す図である。
第2図(a)はテレビカメラ2の垂直同期信号、同図(
b)は画像処理開始信号、同図(e)はストロボ3の発
光信号、同図(d)は画像メモリー信号、同図(e)は
メモリー画像出力信号、同[1(f)は微分細線化処理
のタイミング、同図(g)はスレショルド値L1による
細線化処理のタイミング、同図(h)はスレショルド値
し2による細線化のタイミング、同図(i>はCPU1
3による画像処理のタイミングをそれぞれ示している。
b)は画像処理開始信号、同図(e)はストロボ3の発
光信号、同図(d)は画像メモリー信号、同図(e)は
メモリー画像出力信号、同[1(f)は微分細線化処理
のタイミング、同図(g)はスレショルド値L1による
細線化処理のタイミング、同図(h)はスレショルド値
し2による細線化のタイミング、同図(i>はCPU1
3による画像処理のタイミングをそれぞれ示している。
(発明の効果)
以上のように本発明にあっては、移動中の被検査物の画
像をストロボとテレビカメラとで静止画像として取り込
むと共にフレームメモリーに記憶し、テレビカメラから
処理回路に入力された画像信号を被検査物のエツジ部が
認識できるレベルで細線化すると共に、フレームメモリ
ーから処理回路に入力された画像信号を被検査物の欠陥
部が抽出できるレベルで細線化するようにしなので、先
に細線化したデータで被検査物の輪郭線を認識し、被検
査物の位置と欠陥検査したい領域とを決定し、2回目の
細線化で抽出した欠陥部を含むデータを先に求めた領域
内でのみ探索することが可能となり、欠陥検出の信頼性
と精度を向上させることができるという効果がある。ま
た、1回目の微分及び細線化処理はテレビカメラから取
り込まれた画像信号を直接用いて行うようにしたから、
高速な処理が可能になり、また、フレームメモリーは1
画面分のみで良いという利点がある。
像をストロボとテレビカメラとで静止画像として取り込
むと共にフレームメモリーに記憶し、テレビカメラから
処理回路に入力された画像信号を被検査物のエツジ部が
認識できるレベルで細線化すると共に、フレームメモリ
ーから処理回路に入力された画像信号を被検査物の欠陥
部が抽出できるレベルで細線化するようにしなので、先
に細線化したデータで被検査物の輪郭線を認識し、被検
査物の位置と欠陥検査したい領域とを決定し、2回目の
細線化で抽出した欠陥部を含むデータを先に求めた領域
内でのみ探索することが可能となり、欠陥検出の信頼性
と精度を向上させることができるという効果がある。ま
た、1回目の微分及び細線化処理はテレビカメラから取
り込まれた画像信号を直接用いて行うようにしたから、
高速な処理が可能になり、また、フレームメモリーは1
画面分のみで良いという利点がある。
第1図は本発明の一実施例に係る欠陥検出装置の概略構
成を示すブロック図、第2図は同上の動作説明図、第3
図は同上に用いる光学系の概略構成を示す斜視図、第4
図(a)(b)は同上に用いる第1メモリー及び第2メ
モリーに得られる画像をそれぞれ示す図、第5図は同上
に用いる処理回路の動作説明図である。 1は被検査物、2はテレビカメラ、3はストロボ、4は
フレームメモリー、5は処理回路、6は切換器、7は第
1メモリー、8は第2メモリーである。
成を示すブロック図、第2図は同上の動作説明図、第3
図は同上に用いる光学系の概略構成を示す斜視図、第4
図(a)(b)は同上に用いる第1メモリー及び第2メ
モリーに得られる画像をそれぞれ示す図、第5図は同上
に用いる処理回路の動作説明図である。 1は被検査物、2はテレビカメラ、3はストロボ、4は
フレームメモリー、5は処理回路、6は切換器、7は第
1メモリー、8は第2メモリーである。
Claims (1)
- (1)移動している被検査物を静止画像入力するための
テレビカメラ及びストロボと、入力画像を記憶するフレ
ームメモリーと、入力画像を実時間で微分・細線化する
処理回路と、テレビカメラからの画像信号とフレームメ
モリーからの画像信号とを処理回路に切換入力する切換
器と、テレビカメラから処理回路に入力された画像信号
を被検査物のエッジ部が認識できるレベルで細線化した
結果を記憶する第1メモリーと、フレームメモリーから
処理回路に入力された画像信号を被検査物の欠陥部が抽
出できるレベルで細線化した結果を記憶する第2メモリ
ーとを備えて成ることを特徴とする欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1688987A JPH0692940B2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1688987A JPH0692940B2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 欠陥検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63184047A true JPS63184047A (ja) | 1988-07-29 |
| JPH0692940B2 JPH0692940B2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=11928731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1688987A Expired - Lifetime JPH0692940B2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0692940B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7307713B2 (en) * | 2003-12-19 | 2007-12-11 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Apparatus and method for inspection of a wafer |
-
1987
- 1987-01-27 JP JP1688987A patent/JPH0692940B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7307713B2 (en) * | 2003-12-19 | 2007-12-11 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Apparatus and method for inspection of a wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0692940B2 (ja) | 1994-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0437273B1 (en) | Method of matching patterns and apparatus therefor | |
| JP2000088563A (ja) | 外観検査方法および外観検査装置 | |
| JPS63184047A (ja) | 欠陥検出装置 | |
| JPH09222312A (ja) | パターン検査装置および方法 | |
| KR100227421B1 (ko) | 프린트 기판의 미삽 검사장치 및 그 제어방법 | |
| JPS598988B2 (ja) | 物体の検査装置 | |
| JP2676990B2 (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JPH08193958A (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
| JPH07153804A (ja) | 半導体チップの外観検査装置 | |
| JPH0935058A (ja) | 画像認識方法 | |
| JP2677052B2 (ja) | スルーホール検査装置 | |
| JPH0546590B2 (ja) | ||
| JPH0926313A (ja) | 電子部品実装基板外観検査装置における物体認識方法 | |
| SU1718251A1 (ru) | Устройство дл распознавани дефектов изображений объектов | |
| JPS6252453A (ja) | 螢光磁粉探傷における画像信号処理方法および装置 | |
| JPH0518908A (ja) | ガラス壜の高速検査方法および装置 | |
| JPS61231678A (ja) | 欠陥抽出デ−タ記録方式 | |
| JPS63172377A (ja) | 二値化画像境界表示方法 | |
| JP2998518B2 (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH06325156A (ja) | 文字形状検査方法及びその装置 | |
| JPH02187652A (ja) | 画像処理方法 | |
| JPH03252546A (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JPH0385681A (ja) | 画像処理装置 | |
| JPS61294831A (ja) | ウエハチツプの検出方法 | |
| JPH08292017A (ja) | 断面形状選別装置 |