JPH0267637U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0267637U JPH0267637U JP14662288U JP14662288U JPH0267637U JP H0267637 U JPH0267637 U JP H0267637U JP 14662288 U JP14662288 U JP 14662288U JP 14662288 U JP14662288 U JP 14662288U JP H0267637 U JPH0267637 U JP H0267637U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- waveguide
- tube
- sample
- treated
- Prior art date
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- Granted
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すマイクロ波プ
ラズマ処理装置の縦断面斜視図である。 １……マグネトロン、２……矩形導波管、３…
…変換導波管、４……円形導波管、５……ベルジ
ヤー、６……試料、７……試料台、８……ガス供
給ノズル、９……円筒、１０……仕切板。
ラズマ処理装置の縦断面斜視図である。 １……マグネトロン、２……矩形導波管、３…
…変換導波管、４……円形導波管、５……ベルジ
ヤー、６……試料、７……試料台、８……ガス供
給ノズル、９……円筒、１０……仕切板。
Claims (1)
- マイクロ波を通過させる導波管内に、前記マイ
クロ波で生成されるガスプラズマで処理される試
料よりも大きな金属製の筒を設け、該筒と前記導
波管とを金属材料で締結したことを特徴とするマ
イクロ波プラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14662288U JPH0617284Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | マイクロ波プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14662288U JPH0617284Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | マイクロ波プラズマ処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0267637U true JPH0267637U (ja) | 1990-05-22 |
| JPH0617284Y2 JPH0617284Y2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=31416283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14662288U Expired - Lifetime JPH0617284Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | マイクロ波プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617284Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH076895A (ja) * | 1993-12-17 | 1995-01-10 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
-
1988
- 1988-11-11 JP JP14662288U patent/JPH0617284Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH076895A (ja) * | 1993-12-17 | 1995-01-10 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0617284Y2 (ja) | 1994-05-02 |