JPS63199435A - ダイボンデイング装置 - Google Patents
ダイボンデイング装置Info
- Publication number
- JPS63199435A JPS63199435A JP62032860A JP3286087A JPS63199435A JP S63199435 A JPS63199435 A JP S63199435A JP 62032860 A JP62032860 A JP 62032860A JP 3286087 A JP3286087 A JP 3286087A JP S63199435 A JPS63199435 A JP S63199435A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- syringe
- die bonding
- bonding agent
- adapter tube
- dispenser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/011—Apparatus therefor
- H10W72/0113—Apparatus for manufacturing die-attach connectors
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はダイボンディング装置、特に自動ダイボンディ
ングに使用し、銀ペースト等のダイボンディング剤か常
に一定に吐出するようにしたダイボンディング装置に関
する。
ングに使用し、銀ペースト等のダイボンディング剤か常
に一定に吐出するようにしたダイボンディング装置に関
する。
（従来の技術）
従来、上記ダイボンディング装置としては、第３図に示
すように、シリンジ１の上端にアダプタチューブ２の一
端を接続し、この他端をディスペンサ（図示せず）の電
磁弁３に接続して、この電磁弁３の切替えによりディス
ペンサの空気圧でシリンジ１内の銀ペースト等のダイボ
ンディング剤を吐出させてダイボンディングを行うもの
が一般的であった。
すように、シリンジ１の上端にアダプタチューブ２の一
端を接続し、この他端をディスペンサ（図示せず）の電
磁弁３に接続して、この電磁弁３の切替えによりディス
ペンサの空気圧でシリンジ１内の銀ペースト等のダイボ
ンディング剤を吐出させてダイボンディングを行うもの
が一般的であった。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記従来例においては、ダイボンディン
グ剤（銀ペースト）の吐出量にバラツキがあって濡れ性
等に問題があるばかりでなく、シリンジ１内のダイボン
ディング剤の残量による水頭差によって、例えば第４図
に示すように、シリンジ１内のダイボンディング剤（ペ
ースト）が減少しシリンジ内の空気の部分か増えるに従
って、ダイボンディング剤の表面にかかる圧力が減少し
て、この吐出量が除々に減少してしまい、このためディ
スペンサの圧力、時間等を断続的に変える必要かあると
いう問題点があった。
グ剤（銀ペースト）の吐出量にバラツキがあって濡れ性
等に問題があるばかりでなく、シリンジ１内のダイボン
ディング剤の残量による水頭差によって、例えば第４図
に示すように、シリンジ１内のダイボンディング剤（ペ
ースト）が減少しシリンジ内の空気の部分か増えるに従
って、ダイボンディング剤の表面にかかる圧力が減少し
て、この吐出量が除々に減少してしまい、このためディ
スペンサの圧力、時間等を断続的に変える必要かあると
いう問題点があった。
これは、アダプタチューブ２内のエアー容量とシリンジ
１内のエアー容量とを比較すると、シリンジ１の容量が
多く、シリンジ１内のダイボンディング剤（ペースト）
の残量の変化が圧力の変化に直接影響するためであると
考えられる。
１内のエアー容量とを比較すると、シリンジ１の容量が
多く、シリンジ１内のダイボンディング剤（ペースト）
の残量の変化が圧力の変化に直接影響するためであると
考えられる。
本発明は上記に鑑み、ダイボンディング剤の吐出量を、
該ダイボンディング剤のシリンジ内の残量（水頭差）に
よることなく、常にほぼ一定となるようにしたものを提
供することを目的としてなされたものである。
該ダイボンディング剤のシリンジ内の残量（水頭差）に
よることなく、常にほぼ一定となるようにしたものを提
供することを目的としてなされたものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明は」二層目的を達成するため、ディスペンサの電
磁弁とシリンジを結ぶアダプタチューブ内に、例えばエ
アータンク等のエアー溜めを介在させたものである。
磁弁とシリンジを結ぶアダプタチューブ内に、例えばエ
アータンク等のエアー溜めを介在させたものである。
（作 用）
而して、シリンジ内のダイボンディング剤の残量が減少
し、この内部に空気部が増えても、ディスペンサの電磁
弁とシリンジを結ぶアダプタチューブ内に介在させたエ
アータンク等のエアー溜めによりエアー溜め容量を十分
大きくすることにより、この影響によるシリンジ内の圧
力の変化を極力防止してこの圧力をほぼ一定となし、こ
れによって、ダイボンディング剤の吐出量が常にほぼ一
定となるようにしたものである。
し、この内部に空気部が増えても、ディスペンサの電磁
弁とシリンジを結ぶアダプタチューブ内に介在させたエ
アータンク等のエアー溜めによりエアー溜め容量を十分
大きくすることにより、この影響によるシリンジ内の圧
力の変化を極力防止してこの圧力をほぼ一定となし、こ
れによって、ダイボンディング剤の吐出量が常にほぼ一
定となるようにしたものである。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を示すもので、シリンジ１の
」一端にはアダプタチューブ２の一端が接続され、この
アダプタチューブ２の他端はディスペンサ（図示せず）
の電磁弁３に接続されているとともに、このアダプタチ
ューブ２の中間にはエアー溜めとしてのエアータンク４
が介在されている。
」一端にはアダプタチューブ２の一端が接続され、この
アダプタチューブ２の他端はディスペンサ（図示せず）
の電磁弁３に接続されているとともに、このアダプタチ
ューブ２の中間にはエアー溜めとしてのエアータンク４
が介在されている。
このように、エアータンク４を介在させることにより、
エアー溜めの容量を十分大きくし、これによって、シリ
ンジ１内のエアーの部分が多少増減しても、これに影響
される度合を減少させて、ダイボンディング剤（ペース
ト）のシリンジ１内の残量によって、ディスペンサの条
件を変える必要なく、常にほぼ一定のダイボンディング
剤を吐出するようにしたものである。
エアー溜めの容量を十分大きくし、これによって、シリ
ンジ１内のエアーの部分が多少増減しても、これに影響
される度合を減少させて、ダイボンディング剤（ペース
ト）のシリンジ１内の残量によって、ディスペンサの条
件を変える必要なく、常にほぼ一定のダイボンディング
剤を吐出するようにしたものである。
即ち、第２図に示すように、シリンジ１内のダイボンデ
ィング剤（ペースト）が減少しシリンジ内の空気の部分
が増えても、エアータンク４等のエアー溜めにより、エ
アー容量を大きくすることにより、この影響を少なくし
て、シリンジ１内のダイボンディング剤の水頭差に拘ら
ずこの吐出量を常にほぼ一定となすのであり、これによ
り、一本にシリンジ１を使い切るまで、ディスペンスの
条件を変える必要をなくすのである。
ィング剤（ペースト）が減少しシリンジ内の空気の部分
が増えても、エアータンク４等のエアー溜めにより、エ
アー容量を大きくすることにより、この影響を少なくし
て、シリンジ１内のダイボンディング剤の水頭差に拘ら
ずこの吐出量を常にほぼ一定となすのであり、これによ
り、一本にシリンジ１を使い切るまで、ディスペンスの
条件を変える必要をなくすのである。
なお、実際にはディスペンス時間を従来より少し長くす
る必要かあるが、マウントのインデックスには殆ど問題
にはならない。
る必要かあるが、マウントのインデックスには殆ど問題
にはならない。
本発明は」二層のような構成であるので、ダイボンディ
ング剤の吐出量を、該ダイボンディング剤のシリンジ内
の残量（水頭差）によることなく、常にほぼ一定となる
ようにすることができ、従ってディスペンスの条件を変
える必要をなくすことができるばかりでなく、構造的に
比較的簡単であるといった効果がある。
ング剤の吐出量を、該ダイボンディング剤のシリンジ内
の残量（水頭差）によることなく、常にほぼ一定となる
ようにすることができ、従ってディスペンスの条件を変
える必要をなくすことができるばかりでなく、構造的に
比較的簡単であるといった効果がある。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、第１図は
回路図、第２図はシリンジの吐出量とこの内部のペース
ト残量との関係を示すグラフ、第３図及び第４図は従来
例を示し、第３図は回路図、第４図はシリンジの吐出量
とこの内部のペースト残量との関係を示すグラフである
。 １・・・シリンジ、２・・・アダプタチューブ、３・・
・電磁弁、４・・・エアータンク（エアー溜め）。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第１図
回路図、第２図はシリンジの吐出量とこの内部のペース
ト残量との関係を示すグラフ、第３図及び第４図は従来
例を示し、第３図は回路図、第４図はシリンジの吐出量
とこの内部のペースト残量との関係を示すグラフである
。 １・・・シリンジ、２・・・アダプタチューブ、３・・
・電磁弁、４・・・エアータンク（エアー溜め）。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ディスペンサの電磁弁とシリンジを結ぶアダプタチ
ューブ内にエアー溜めを介在させたことを特徴とするダ
イボンディング装置。 ２、エアー溜めとしてエアータンクを使用したことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のダイボンディング
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62032860A JPS63199435A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | ダイボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62032860A JPS63199435A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | ダイボンデイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63199435A true JPS63199435A (ja) | 1988-08-17 |
Family
ID=12370600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62032860A Pending JPS63199435A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | ダイボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63199435A (ja) |
-
1987
- 1987-02-16 JP JP62032860A patent/JPS63199435A/ja active Pending
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