JPS63200326U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63200326U JPS63200326U JP9056487U JP9056487U JPS63200326U JP S63200326 U JPS63200326 U JP S63200326U JP 9056487 U JP9056487 U JP 9056487U JP 9056487 U JP9056487 U JP 9056487U JP S63200326 U JPS63200326 U JP S63200326U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- semiconductor device
- device manufacturing
- wafer
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案に係る常圧化学気相成長装置の
ウエーハアンローデイング部を示す概略図、第２
図は従来の常圧化学気相成長装置のウエーハアン
ローデイング部を示す概略図である。 １……ベルヌーイチヤツク、２……エアー遮断
バルブ、３……センサー、４……ウエーハ、５…
…トレイ、６……アンローダステージ、７……キ
ヤリア。
ウエーハアンローデイング部を示す概略図、第２
図は従来の常圧化学気相成長装置のウエーハアン
ローデイング部を示す概略図である。 １……ベルヌーイチヤツク、２……エアー遮断
バルブ、３……センサー、４……ウエーハ、５…
…トレイ、６……アンローダステージ、７……キ
ヤリア。
Claims (1)
- 半導体素子製造で用いられる常圧化学気相成長
装置において、アンローデイング時にウエーハを
搬送するベルヌーイチヤツクに、ウエーハの有無
を感知するセンサーと、該センサーに連動して開
閉するエアー遮断バルブとを有することを特徴と
する半導体素子製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9056487U JPS63200326U (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9056487U JPS63200326U (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200326U true JPS63200326U (ja) | 1988-12-23 |
Family
ID=30950545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9056487U Pending JPS63200326U (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63200326U (ja) |
-
1987
- 1987-06-12 JP JP9056487U patent/JPS63200326U/ja active Pending