JPS63224249A - 高周波集積回路 - Google Patents

高周波集積回路

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Publication number
JPS63224249A
JPS63224249A JP62059141A JP5914187A JPS63224249A JP S63224249 A JPS63224249 A JP S63224249A JP 62059141 A JP62059141 A JP 62059141A JP 5914187 A JP5914187 A JP 5914187A JP S63224249 A JPS63224249 A JP S63224249A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
capacitor
integrated circuit
electrodes
frequency integrated
layered structure
Prior art date
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Pending
Application number
JP62059141A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshinobu Kadowaki
門脇 好伸
Kazuo Hayashi
一夫 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、高周波帯の集積回路に関するものである。
〔従来の技術〕
以下、高周波集積回路として、モノリシックマイクロ波
集積回路増幅器(MMIC増幅器)を例にとって説明す
る。
第3図は従来のMMIC増幅器の一例を示す平面図であ
る。この図において、1は高周波トランジスタ、2は抵
抗、3はコンデンサ、4は入力信号端子、5は出力信号
端子、6は前記高周波トランジスタ1の直流バイアス印
加端子である。
次に、MMIC増幅器の動作について説明する。入力信
号端子4に印加された信号は高周波トランジスタ1によ
り増幅され、出力信号端子5から取り出される。ここで
、高周波トランジスタ1を動作させるための直流バイア
スは、直流バイアス印加端子6より供給される。コンデ
ンサ3および抵抗2は高周波トランジスタ1の人、出力
インピーダンスを所定の特性インピーダンスにインピー
ダンス整合させるために用いられる。
(発明が解決しようとする問題点1 以上のように構成された従来のMMIC増幅器では、増
幅器に要求される特性や使用周波数によっては大容量の
コンデンサが必要となる。その結果、コンデンサの面積
が増大し、MMIC増幅器パターンの大部分がコンデン
サパターンとなり、MMICチップの大面積化によるコ
ストアップの問題と、広面積のコンデンサパターン配置
によるMMIC回路設計が困難になる等の問題点があっ
た。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、コンデンサの占有面積を減らした小形の高
周波集積回路を得ることを目的とする。
(問題点を解決するための手段) この発明に係る高周波集積回路は、半導体基板上に形成
されるコンデンサパターンを多層の電極および絶縁体か
ら構成された積層構造としたものである。
〔作用〕
この発明においては、コンデンサが積層構造に構成され
ているために、多数のコンデンサを並列接続した場合と
同様の大容量が得られることになり、コンデンサパター
ンの占有面積を減少することができる。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図面について説明する。
第1図はこの発明の一実施例を示すMMIC増幅器の平
面図であり、第2図は第1図の要部の拡大断面図である
。
第1図において、31はこの発明による積層化されたコ
ンデンサであり、第2図にその部分の詳細な断面図を示
す。
第2図に示すように、コンデンサ31の一方の電極30
1と他方の電極3020間に絶縁体303が形成され、
これらが積層化された構造である。
このように形成されたコンデンサ31は、一対の電極3
01.302と絶縁体303が多数並列接続された状態
となり、積層の回数だけ容量が増大する。したがって、
従来の単層の平行平板コンデンサに比べて、電極の面積
を少なくして所定の容量を得ることが可能となり、MM
IC増幅器の小形化が容易に達成できる。
なお、上記実施例ではMMIC増幅器について説明した
が、これに限定するものでなく、他の高周波集積回路に
適用しても同様の効果を奏することはいうまでもない。
〔発明の効果〕
以上説明したように、この発明は集積回路基板上に形成
される電気回路部品のうち、コンデンサを多層の電極お
よび絶縁体から成る積層構造としたので、コンデンサパ
ターンの縮小化が可能となり、小形化した安価な高周波
集積回路が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例によるMMIC増幅器のチ
ップパターンを示す平面図、第2図は、第1図の要部の
詳細を示す拡大断面図、第3図は従来のMMIC増幅器
のチップパターンを示す平面図である。 図において、1は高周波トランジスタ、2は抵抗、4は
入力信号端子、5は出力信号端子、6はトランジスタの
直流バイアス印加端子、31は積層化されたコンデンサ
、301はコンデンサの一方ノ電極、302はコンデン
サの他方の電極、303はコンデンサを形成する絶縁体
である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄    (外2名)第1図 第2図 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 高周波トランジスタ、抵抗、コンデンサなどの電気回路
    部品を同一集積回路基板上に形成した高周波集積回路に
    おいて、前記コンデンサを多層の電極および絶縁体から
    構成された積層構造としたことを特徴とする高周波集積
    回路。
JP62059141A 1987-03-12 1987-03-12 高周波集積回路 Pending JPS63224249A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11330904A (ja) * 1998-05-13 1999-11-30 Oki Electric Ind Co Ltd 共振器型弾性表面波フィルタ
JP2020123606A (ja) * 2019-01-29 2020-08-13 住友電気工業株式会社 半導体装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11330904A (ja) * 1998-05-13 1999-11-30 Oki Electric Ind Co Ltd 共振器型弾性表面波フィルタ
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