JPS63234542A - 半導体検査装置 - Google Patents
半導体検査装置Info
- Publication number
- JPS63234542A JPS63234542A JP6800487A JP6800487A JPS63234542A JP S63234542 A JPS63234542 A JP S63234542A JP 6800487 A JP6800487 A JP 6800487A JP 6800487 A JP6800487 A JP 6800487A JP S63234542 A JPS63234542 A JP S63234542A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- substrate
- inspection
- semiconductor
- board
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は基板上に装着された半導体を検査する半導体検
査装置に関する。
査装置に関する。
（従来の技術）
従来、基板上に装着されたフラットパッケージ等の半導
体を検査する場合は、第２図に示すように基板１を基板
セット用プレート２上にセットし、その状態でピンボー
ド３を基板１上に降下させてピンボード３に設けられた
プローブ４を基板１に接触させるか、あるいは第３図に
示すようにピンボード３のプローブ４を基板セット用プ
レート１に設けられた開口部５を通して基板１に下側か
ら接触させて検査を行っている。なお、図中６は位置決
めピン、７は固定用プレートである。
体を検査する場合は、第２図に示すように基板１を基板
セット用プレート２上にセットし、その状態でピンボー
ド３を基板１上に降下させてピンボード３に設けられた
プローブ４を基板１に接触させるか、あるいは第３図に
示すようにピンボード３のプローブ４を基板セット用プ
レート１に設けられた開口部５を通して基板１に下側か
ら接触させて検査を行っている。なお、図中６は位置決
めピン、７は固定用プレートである。
しかしながら、上記の検査方法では基板１の種類が変わ
ると基板１上の半導体装置も変わるため、ピンボード３
を基板１の種類に対応したものと変える必要があった。
ると基板１上の半導体装置も変わるため、ピンボード３
を基板１の種類に対応したものと変える必要があった。
（発明が解決しようとする問題点）
上述したように従来においては、基板１の種類が変わる
と基板１上の半導体装置も変わるため、ピンボード３を
基板１の種類に対応したものと変える必要があり、多数
のピンボード３を用意しなければならないという欠点が
あった。
と基板１上の半導体装置も変わるため、ピンボード３を
基板１の種類に対応したものと変える必要があり、多数
のピンボード３を用意しなければならないという欠点が
あった。
本発明はこのような事情に基づいてなされたもので、そ
の目的とするところは、基板の種類に対応した多数のピ
ンボードを用意しなくても基板上に装着された半導体の
検査を行うことができる半導体検査装置を提供すること
にある。
の目的とするところは、基板の種類に対応した多数のピ
ンボードを用意しなくても基板上に装着された半導体の
検査を行うことができる半導体検査装置を提供すること
にある。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するために本発明は、基板上に’ＪＡ
着された半導体と対応する位置に開口部を形成した検査
用プレートと、前記基板をセットするための基板セット
用プレートと、この柾板セット用プレー１〜上にセット
された基板に対して前記検査用プレートを位置決めする
位置決めピンと、前記検査用プレートの開口部に着脱自
在に嵌合し検査用のプローブを有するピンブロックとを
具備したことを特徴とするものである。
着された半導体と対応する位置に開口部を形成した検査
用プレートと、前記基板をセットするための基板セット
用プレートと、この柾板セット用プレー１〜上にセット
された基板に対して前記検査用プレートを位置決めする
位置決めピンと、前記検査用プレートの開口部に着脱自
在に嵌合し検査用のプローブを有するピンブロックとを
具備したことを特徴とするものである。
（作 用）
すなわち、本発明では基板上の半導体と対応する位置に
開口部を形成した検査用プレー１−を用いることにより
、基板の種類が変わっても検査用プレートを変えるたけ
で！ｊ根板上半導体を検査することが可能となる。
開口部を形成した検査用プレー１−を用いることにより
、基板の種類が変わっても検査用プレートを変えるたけ
で！ｊ根板上半導体を検査することが可能となる。
（実 施 例）
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例を示し、図中１１は基板、１
２は基板セット用プレート、１３は検査用プレートであ
る。この検査用プレート１３には基板１１に装着された
半導体（図示せず）と対応する位置に開口部１４が形成
されている。この間口部１４にはピンブロック１５が着
脱自在に嵌合するようになっており、ピンブロック１５
には検査用のプローブ１６が設けられている。また、１
７は基板セット用プレート１２上にセットされた基板１
１に対して検査用プレート１３を位置決めするための位
置決めピンで、この位置決めピン１７は基板セット用プ
レート１２の上面と検査用プレート１３の下面にそれぞ
れ２本づつ設けられている。なお、各位置決めピン１７
は基板１１の四隅に形成された基準孔１８と対応する位
置に設けられている。また、基板セラミル用プレー１〜
１２の上面および検査用プレート１３の下面には位置決
めピン１７と係合する係合穴１９が形成されている。
２は基板セット用プレート、１３は検査用プレートであ
る。この検査用プレート１３には基板１１に装着された
半導体（図示せず）と対応する位置に開口部１４が形成
されている。この間口部１４にはピンブロック１５が着
脱自在に嵌合するようになっており、ピンブロック１５
には検査用のプローブ１６が設けられている。また、１
７は基板セット用プレート１２上にセットされた基板１
１に対して検査用プレート１３を位置決めするための位
置決めピンで、この位置決めピン１７は基板セット用プ
レート１２の上面と検査用プレート１３の下面にそれぞ
れ２本づつ設けられている。なお、各位置決めピン１７
は基板１１の四隅に形成された基準孔１８と対応する位
置に設けられている。また、基板セラミル用プレー１〜
１２の上面および検査用プレート１３の下面には位置決
めピン１７と係合する係合穴１９が形成されている。
このように構成された本装置を用いて基板１１上の半導
体を検査する場合は、まず基板１１の基準孔１８を以板
セット用プレート１２の上面に設けられた２本の位置決
めピン１７に挿通して基板１１を基板セラ１〜用プレー
ト１２上にセットする。
体を検査する場合は、まず基板１１の基準孔１８を以板
セット用プレート１２の上面に設けられた２本の位置決
めピン１７に挿通して基板１１を基板セラ１〜用プレー
ト１２上にセットする。
次にこの状態で検査用プレート１３を基板１１上に降下
させ、検査用プレート１３の下面に設けられた２本の位
置決めピン１７をも（板１１の基準孔１８に挿入する。
させ、検査用プレート１３の下面に設けられた２本の位
置決めピン１７をも（板１１の基準孔１８に挿入する。
これにより検査用プレート１３は基板１１上に位置決め
された状態となり、この状態でピンブロック１５を検査
用プレー１−１３の開口部１４に嵌込むことにより基板
１１ 、ｈの半導体をピンブロック１５のプローブ１６
にて検査することができる。また、基板１１の種類か変
わった場合には検査用プレート１３を変えるたけで基板
１１上の半導体を検査することかできる。
された状態となり、この状態でピンブロック１５を検査
用プレー１−１３の開口部１４に嵌込むことにより基板
１１ 、ｈの半導体をピンブロック１５のプローブ１６
にて検査することができる。また、基板１１の種類か変
わった場合には検査用プレート１３を変えるたけで基板
１１上の半導体を検査することかできる。
上述したように本実施例では基板１１上の半導体と対応
づる位置に開口部１５を形成した検査用プレート１３を
用いることにより、基板１１の種類が変わっても検査用
プレート１３を変えるだけで基板１１上の半導体を検査
できる。
づる位置に開口部１５を形成した検査用プレート１３を
用いることにより、基板１１の種類が変わっても検査用
プレート１３を変えるだけで基板１１上の半導体を検査
できる。
なお、上記実茄例では位置決めピン１７を基板セット用
プレート１２の上面および検査用プレート１３の下面に
設けたが、基板セット用プレート１２の上面または検査
用プレート１３の下面のみに設けてもよい。また、位置
決めピン１７の数は少なくとも２本あれば検査用プレー
ト１３を基板１１上に位置決めすることができる。
プレート１２の上面および検査用プレート１３の下面に
設けたが、基板セット用プレート１２の上面または検査
用プレート１３の下面のみに設けてもよい。また、位置
決めピン１７の数は少なくとも２本あれば検査用プレー
ト１３を基板１１上に位置決めすることができる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、基板の種類が変わ
っても検査用プレートを変えるだけで基板上の半導体を
検査できるので、基板の種類に対応した多数のピンボー
ドを用意しなくても基板上に装着された半導体の検査を
行うことができる。
っても検査用プレートを変えるだけで基板上の半導体を
検査できるので、基板の種類に対応した多数のピンボー
ドを用意しなくても基板上に装着された半導体の検査を
行うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図および
第３図は従来例を示す斜視図である。 １１・・・基板、１２・・・基板セット用プレート、−
６＝ １３・・・検査用プレーｉ〜、１４・・・開口部、１５
・・・ピンブロック、１７・・・位置決めピン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図
第３図は従来例を示す斜視図である。 １１・・・基板、１２・・・基板セット用プレート、−
６＝ １３・・・検査用プレーｉ〜、１４・・・開口部、１５
・・・ピンブロック、１７・・・位置決めピン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図
Claims (1)
- 基板上に装着された半導体と対応する位置に開口部を
形成した検査用プレートと、前記基板をセットするため
の基板セット用プレートと、この基板セット用プレート
上にセットされた基板に対して前記検査用プレートを位
置決めする位置決めピンと、前記検査用プレートの開口
部に着脱自在に嵌合し検査用のプローブを有するピンブ
ロックとを具備したことを特徴とする半導体検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6800487A JPS63234542A (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | 半導体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6800487A JPS63234542A (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | 半導体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63234542A true JPS63234542A (ja) | 1988-09-29 |
Family
ID=13361290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6800487A Pending JPS63234542A (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | 半導体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63234542A (ja) |
-
1987
- 1987-03-24 JP JP6800487A patent/JPS63234542A/ja active Pending
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