JPS63253638A - ウエ−ハ支持具 - Google Patents
ウエ−ハ支持具Info
- Publication number
- JPS63253638A JPS63253638A JP62088010A JP8801087A JPS63253638A JP S63253638 A JPS63253638 A JP S63253638A JP 62088010 A JP62088010 A JP 62088010A JP 8801087 A JP8801087 A JP 8801087A JP S63253638 A JPS63253638 A JP S63253638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chuck
- electrical characteristics
- mechanical stress
- state
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウェーハ支持具に関し、特にウェーハ検査時
に用いるウェーハ支持具に関する。
に用いるウェーハ支持具に関する。
、 〔従来の技術〕
従来、この種のウェーハ支持具は、第３図（ａ）及び（
ｂ）に示すように、上面にＩＣを搭載した破線で示すウ
ェーハ４を載置しウェーハ４との接触面側に同心円状の
複数の溝５と、それぞれの溝５に複数個ずつ開口する位
穴を有する溝５内を真空引きするための排気路６とを備
える表面が平坦な円板状のウェーハチャック７から成り
、搭載したＩＣをウェーハ状態にて測定する際に用いて
いた。
ｂ）に示すように、上面にＩＣを搭載した破線で示すウ
ェーハ４を載置しウェーハ４との接触面側に同心円状の
複数の溝５と、それぞれの溝５に複数個ずつ開口する位
穴を有する溝５内を真空引きするための排気路６とを備
える表面が平坦な円板状のウェーハチャック７から成り
、搭載したＩＣをウェーハ状態にて測定する際に用いて
いた。
このようなウェーハチャック７にウェーハ４を載置する
状態とプラスチック封止後では、ＩＣに加わる機械的応
力の大きさが異る。ＩＣをプラスチック封止した場合、
プラスチックの密着性がリードフレームとＩＣチップで
は異なるために、ＩＣチップに機械的応力が加わり、Ｉ
Ｃの特性が変動することはよく知られている。
状態とプラスチック封止後では、ＩＣに加わる機械的応
力の大きさが異る。ＩＣをプラスチック封止した場合、
プラスチックの密着性がリードフレームとＩＣチップで
は異なるために、ＩＣチップに機械的応力が加わり、Ｉ
Ｃの特性が変動することはよく知られている。
上述した従来°のウェーハ支持具では、プラスチック封
止後とＩＣに加わる機械的応力が変化するので、プラス
チック封止後のＩＣの電気的特性がウェーハ状態で得ら
れず、ウェーハ状態での電気的特性による良否の判断と
プラスチック封止後の判断に相異を生じ、製品の歩留り
を低下させるという欠点がある。
止後とＩＣに加わる機械的応力が変化するので、プラス
チック封止後のＩＣの電気的特性がウェーハ状態で得ら
れず、ウェーハ状態での電気的特性による良否の判断と
プラスチック封止後の判断に相異を生じ、製品の歩留り
を低下させるという欠点がある。
本発明のウェーハ支持具は、上面にウェーハが載置され
前記ウェーハの裏面外周縁部に接して前記ウェーハを真
空吸着する複数の小穴を有する円環状ののウェーハチャ
ックと、該ウェーハチャックの円環内に移動可能に設け
られ前記ウェーハの裏面側から前記ウェーハに応力を与
える支柱とを含んで構成される。
前記ウェーハの裏面外周縁部に接して前記ウェーハを真
空吸着する複数の小穴を有する円環状ののウェーハチャ
ックと、該ウェーハチャックの円環内に移動可能に設け
られ前記ウェーハの裏面側から前記ウェーハに応力を与
える支柱とを含んで構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本発明の第１の実施
例の平面図及びＡ−Ａ”線断面図である。
例の平面図及びＡ−Ａ”線断面図である。
第１図（ａ）及び（ｂ）に示すように、上面にＩＣ（図
示せず）を搭載した破線で示すウェーハ４を載置しウェ
ーハ４の裏面外周部に接してウェーハ４を真空吸着する
複数の小穴を有する円環状のウェーハチャック１と、ウ
ェーハチャック１の円環内に移動可能に設けられウェー
ハ４の裏面からウェーハ４に機械的応力を与える支柱３
とを含む、支柱３は図示しない駆動機構により、円環内
を水平方向の横軸及び縦軸方向に移動でき、かつ、垂直
方向に上下動できる。
示せず）を搭載した破線で示すウェーハ４を載置しウェ
ーハ４の裏面外周部に接してウェーハ４を真空吸着する
複数の小穴を有する円環状のウェーハチャック１と、ウ
ェーハチャック１の円環内に移動可能に設けられウェー
ハ４の裏面からウェーハ４に機械的応力を与える支柱３
とを含む、支柱３は図示しない駆動機構により、円環内
を水平方向の横軸及び縦軸方向に移動でき、かつ、垂直
方向に上下動できる。
ＩＣが搭載されたウェーハ４をウェーハチャック１の上
面に載せ小穴２から真空引きすることによって、ウェー
ハ４をウェーハチャック１の面に密着させる。支柱３を
電気的特性を測定するＩＣチップ領域の下に移動し、支
柱３の先端でウェーハ４の裏面側を押上げることによっ
て、ＩＣにプラスチック封止時と近い機械的応力を与え
る。
面に載せ小穴２から真空引きすることによって、ウェー
ハ４をウェーハチャック１の面に密着させる。支柱３を
電気的特性を測定するＩＣチップ領域の下に移動し、支
柱３の先端でウェーハ４の裏面側を押上げることによっ
て、ＩＣにプラスチック封止時と近い機械的応力を与え
る。
第２図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本発明の第２の実施
例の平面図及びＢ−Ｂ’線断面図であ乞。
例の平面図及びＢ−Ｂ’線断面図であ乞。
第２図（ａ）及び（ｂ）に示すように、第２の実施例で
は支柱３ａに気体噴射穴８を設け、気体噴射穴８の噴射
口を測定するＩＣチップ領域の裏面下に移動し、図示し
ない気体ボンベから気体噴射穴８に圧縮した空気又は窒
素を供給してウェーハ４の裏面に吹付ける。
は支柱３ａに気体噴射穴８を設け、気体噴射穴８の噴射
口を測定するＩＣチップ領域の裏面下に移動し、図示し
ない気体ボンベから気体噴射穴８に圧縮した空気又は窒
素を供給してウェーハ４の裏面に吹付ける。
第２の実施例では、支柱３ａの先端をウェーハ４に接触
されなくてすむ利点がある。
されなくてすむ利点がある。
以上説明したように本発明は、ウェーハ上に形成された
ＩＣに機械的応力を与えることにより、ウェーハ状態で
もプラスチック封止した最終製品状態と同一の電気的特
性を測定できるので、プラスチック封止による特性変動
から発生する歩留りの低下を防止できるという効果があ
る。
ＩＣに機械的応力を与えることにより、ウェーハ状態で
もプラスチック封止した最終製品状態と同一の電気的特
性を測定できるので、プラスチック封止による特性変動
から発生する歩留りの低下を防止できるという効果があ
る。
第１図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本発明の第１の実施
例の平面図及びＡ−Ａ’線断面図、第２図（ａ）及び（
ｂ）はそれぞれ本発明の第２の実施例の平面図及びＢ−
Ｂ’線断面図、第３図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ従来
のウェーハ支持具の一例の平面図及びｃ−ｃ’線断面図
である。 １・・・ウェーハチャック、２・・・小穴、３，３ａ・
・・支柱、４・・・ウェーハ、５・・・溝、６・・・排
気路、７・・・ウェーハチャック、８・・・気体噴出穴
。 代理人 弁理士 内 原 費、′２ノ第２ 口
例の平面図及びＡ−Ａ’線断面図、第２図（ａ）及び（
ｂ）はそれぞれ本発明の第２の実施例の平面図及びＢ−
Ｂ’線断面図、第３図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ従来
のウェーハ支持具の一例の平面図及びｃ−ｃ’線断面図
である。 １・・・ウェーハチャック、２・・・小穴、３，３ａ・
・・支柱、４・・・ウェーハ、５・・・溝、６・・・排
気路、７・・・ウェーハチャック、８・・・気体噴出穴
。 代理人 弁理士 内 原 費、′２ノ第２ 口
Claims (1)
- 上面にウェーハが載置され前記ウェーハの裏面外周縁
部に接して前記ウェーハを真空吸着する複数の小穴を有
する円環状のウェーハチャックと、該ウェーハチャック
の円環内に移動可能に設けられ前記ウェーハの裏面側か
ら前記ウェーハに応力を与える支柱とを含むことを特徴
とするウェーハ支持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62088010A JPS63253638A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | ウエ−ハ支持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62088010A JPS63253638A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | ウエ−ハ支持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63253638A true JPS63253638A (ja) | 1988-10-20 |
Family
ID=13930855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62088010A Pending JPS63253638A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | ウエ−ハ支持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63253638A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0714649U (ja) * | 1993-08-12 | 1995-03-10 | 東洋電機製造株式会社 | 真空吸着チャック |
-
1987
- 1987-04-10 JP JP62088010A patent/JPS63253638A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0714649U (ja) * | 1993-08-12 | 1995-03-10 | 東洋電機製造株式会社 | 真空吸着チャック |
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