JPS6326191Y2 - - Google Patents

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JPS6326191Y2
JPS6326191Y2 JP73083U JP73083U JPS6326191Y2 JP S6326191 Y2 JPS6326191 Y2 JP S6326191Y2 JP 73083 U JP73083 U JP 73083U JP 73083 U JP73083 U JP 73083U JP S6326191 Y2 JPS6326191 Y2 JP S6326191Y2
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JP
Japan
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vacuum chamber
magnetic powder
magnet
powder generated
magnetic
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JP73083U
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JPS59106557U (ja
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は真空槽内で発生する磁性粉体の集塵装
置に関する。
従来真空槽内でワークに蒸着その他の手段によ
り薄膜を形成する場合、該真空槽内の例えばギ
ヤ、駆動軸摺動部から発生した磁性粉体がワーク
表面に附着し、これに形成されるべき薄膜にピン
ホール等の欠陥を生じさせ製品不良の原因となる
不都合があつた。
本考案はこうした不都合の解消を目的としたも
ので、真空槽１内の磁性部材２の摩耗部分３に臨
ませて磁石４を設けて成る。
真空槽１内には磁性部材２による各種の回転部
分、摺動部分等の摩耗部分３が設けられるが、そ
の１例は第１図示の如くであり、磁性部材２で構
成された軸５ａとボール５ｂと軸受５ｃから発生
する磁性粉体を軸受５ｃの１側とブツシユ５ｄの
他側に取付けた永久磁石或は電磁石等の磁石４に
より吸着し、真空槽１内に飛散することを防止出
来る。
また摩耗部分３が第２図に見られるようなボー
ルブツシユ６ａで支承されたスライド軸６ｂであ
る場合も、前記の場合と略同様にボールブツシユ
６ａの両側で６ｂに臨ませて磁石４を設け、これ
にブツシユ６ａと軸６ｂとの摺動により発生する
磁性粉体を吸着させ得る。さらに第３図乃至第５
図示のように摩耗部分３が歯車７或はプーリー８
であるときは各歯車７或はプーリー８と一体に回
転するように磁石４を取付けて咬合部等からの磁
性粉体を吸着し、また第６図示のように真空槽１
の内外に挿通された回転軸９では該真空槽１の内
側に磁石４を取付けて軸受１０から発生する磁性
粉体を吸着する。
このように本考案によるときは真空槽１内の磁
性部材２の摩耗部分３に臨ませて磁石４を設けた
ので該部分３より発生する磁性粉体の大部分を該
磁石４で吸着出来て真空槽１内への飛散が防げ、
ワークの表面に磁性粉体でピンホール等が生ずる
事故を防止出来る効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案装置の１例の截断平面図、第２
図乃至第６図はその変形例の截断平面図である。 １…真空槽、２…磁性部材、３…摩耗部分、４
…磁石。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空槽１内の磁性部材２の摩耗部分３に臨ませ
    て磁石４を設けて成る真空槽内の磁性粉体の集塵
    装置。
JP73083U 1983-01-10 1983-01-10 真空槽内の磁性粉体の集塵装置 Granted JPS59106557U (ja)

Priority Applications (1)

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JP73083U JPS59106557U (ja) 1983-01-10 1983-01-10 真空槽内の磁性粉体の集塵装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP73083U JPS59106557U (ja) 1983-01-10 1983-01-10 真空槽内の磁性粉体の集塵装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59106557U JPS59106557U (ja) 1984-07-18
JPS6326191Y2 true JPS6326191Y2 (ja) 1988-07-15

Family

ID=30132473

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JP73083U Granted JPS59106557U (ja) 1983-01-10 1983-01-10 真空槽内の磁性粉体の集塵装置

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JPS59106557U (ja) 1984-07-18

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