JPS63270360A - 高密度酸窒化ケイ素焼結体とその製造法 - Google Patents
高密度酸窒化ケイ素焼結体とその製造法Info
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- JPS63270360A JPS63270360A JP62102998A JP10299887A JPS63270360A JP S63270360 A JPS63270360 A JP S63270360A JP 62102998 A JP62102998 A JP 62102998A JP 10299887 A JP10299887 A JP 10299887A JP S63270360 A JPS63270360 A JP S63270360A
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- silicon oxynitride
- sintered body
- sio
- nitrides
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/597—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon oxynitride, e.g. SIALONS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、高温強度が高くかつ耐酸化性に優れた酸窒化
ケイ素焼結体とその製造法に好適に利用される。
ケイ素焼結体とその製造法に好適に利用される。
「従来の技術」
従来、高温強度に優れたセラミックスとしてＳ ｉ ｓ
Ｎ４焼結体が知られているが、５ｉｓＮ＜は耐酸化性
に劣るという欠点を有する。一方、５ｉｓＮ＊よシ耐酸
化性に優れ九化合物として酸窒化ケイ素（５ｉｚＮｚＯ
）が知られているが、酸窒化ケイ素は５ｉｓＮｔよシ焼
結性が悪く緻密化困難である。
Ｎ４焼結体が知られているが、５ｉｓＮ＜は耐酸化性
に劣るという欠点を有する。一方、５ｉｓＮ＊よシ耐酸
化性に優れ九化合物として酸窒化ケイ素（５ｉｚＮｚＯ
）が知られているが、酸窒化ケイ素は５ｉｓＮｔよシ焼
結性が悪く緻密化困難である。
例えば酸窒化ケイ素にＡｈＯｓ又はＹ２Ｏ３を５重量チ
添加してガス圧焼結して得られた酸窒化ケイ素焼結体（
第２５回窯業基礎討論会講演費旨集第１８頁「酸窒化ケ
イ素の焼結」）の密度は、せいぜい２．５ｆ／ｄ（理論
密度の８５チ）であるに過ぎず、十分な強度が出ない。
添加してガス圧焼結して得られた酸窒化ケイ素焼結体（
第２５回窯業基礎討論会講演費旨集第１８頁「酸窒化ケ
イ素の焼結」）の密度は、せいぜい２．５ｆ／ｄ（理論
密度の８５チ）であるに過ぎず、十分な強度が出ない。
かといってＬＥＷＩＳＳが行ったようにＡｌｚＯｓ、Ｙ
ｚ Ｏｓ等の焼結助剤を多量に添加した場合は（Ｍａｔ
ｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｅｎｇ１ｎｅｅ
ｒｉｎｇ第７１巻（１９８５年）第８７〜第９４頁）、
緻密にはなるが高温強度及び耐酸化性が劣化し、酸窒化
ケイ素を用いる意義を喪失していた。
ｚ Ｏｓ等の焼結助剤を多量に添加した場合は（Ｍａｔ
ｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｅｎｇ１ｎｅｅ
ｒｉｎｇ第７１巻（１９８５年）第８７〜第９４頁）、
緻密にはなるが高温強度及び耐酸化性が劣化し、酸窒化
ケイ素を用いる意義を喪失していた。
「発明が解決しようとする問題点」
本発明は、上記の問題点を解決し、酸窒化ケイ素の耐酸
化性を損なうことなく、緻密で高温強度に優れ°た酸窒
化ケイ素焼結体を提供することを目的とする。
化性を損なうことなく、緻密で高温強度に優れ°た酸窒
化ケイ素焼結体を提供することを目的とする。
「問題点を解決するための手段」
その第一の手段は、酸窒化ケイ素を主成分とし゛、他に
８１’ｓＮａ、ＳＩＯ！並びに下記Ａ成分及びＢ成分の
りちから選ばれる一成分以上を含むものにおいて、酸窒
化ケイ素、５ｉｓＮ４及びＳｉＯ２の総量に対する前記
一成分以上の含有率をモμ基準で０．１〜１０％とした
ところにあり、また上記第一の手段と関連する第二の手
段は七〜基準で、Ｓｉ３Ｎ４と５ｔＯｚとｔ” （５ｉ
Ｏｚ／ ５ｈＮ４）＝０．７〜１．２となるように秤量
し、Ｓｉ３Ｎ＋及びＳｉＯ！の合量１００部に下記Ａ成
分及びＢ成分のうちから選ばれる一成分以上を０．１〜
１０部添加混合し成形し、窒素ガス又は窒素ガス含有゛
非酸化性雰囲気中で焼成し、酸窒化ケイ素を反応生成さ
せるとともに緻密化させるところにある。
８１’ｓＮａ、ＳＩＯ！並びに下記Ａ成分及びＢ成分の
りちから選ばれる一成分以上を含むものにおいて、酸窒
化ケイ素、５ｉｓＮ４及びＳｉＯ２の総量に対する前記
一成分以上の含有率をモμ基準で０．１〜１０％とした
ところにあり、また上記第一の手段と関連する第二の手
段は七〜基準で、Ｓｉ３Ｎ４と５ｔＯｚとｔ” （５ｉ
Ｏｚ／ ５ｈＮ４）＝０．７〜１．２となるように秤量
し、Ｓｉ３Ｎ＋及びＳｉＯ！の合量１００部に下記Ａ成
分及びＢ成分のうちから選ばれる一成分以上を０．１〜
１０部添加混合し成形し、窒素ガス又は窒素ガス含有゛
非酸化性雰囲気中で焼成し、酸窒化ケイ素を反応生成さ
せるとともに緻密化させるところにある。
Ａ成分ニアルミニウムの酸化物及び窒化物のうち一種以
上 Ｂ成分：希土類元素の酸化物及び窒化物のうち一種以上 「作用」 （１）第一〇手段の作用 酸室・化ケイ素は、それ自体で優れた耐酸化性を発揮す
るほか、理論的には高温強度においても優れる。Ａ成分
及びＢ成分は、酸窒化ケイ素粒子間の結合を強固にし、
酸窒化ケイ素粒子と相まって焼結体全体の高温強度を高
める。ｔｅ原因は定かでないが、これら成分を含む酸窒
化ケイ素焼結体の弾性率は、アルミナ、窒化ケイ素、炭
化ケイ素等の焼結体のそれよりも低くなる。５ｉｓＮ４
及び５１０２は後述の酸窒化ケイ素生成反応における未
反応成分である。Ａ成分及びＢ成分は、これらのうち−
成分のみ焼結体に含まれている場合でも両成分が含まれ
ている場合でも上記の作用を生じるが、Ａ成分及びＢ成
分の合量の含有率が酸窒化ケイ素、５ｉｓＮ＊及び５ｌ
ｏｚの総量に対してモル基準で０．１％に満たないとそ
の作用に乏しく、１０％を越えるとＡ成分やＢ成分やガ
ラス成分自体の強度及び耐酸化性が焼結体に影響してか
えりて焼結体の強度及び耐酸化性を低下させることから
、含有率を限定した。
上 Ｂ成分：希土類元素の酸化物及び窒化物のうち一種以上 「作用」 （１）第一〇手段の作用 酸室・化ケイ素は、それ自体で優れた耐酸化性を発揮す
るほか、理論的には高温強度においても優れる。Ａ成分
及びＢ成分は、酸窒化ケイ素粒子間の結合を強固にし、
酸窒化ケイ素粒子と相まって焼結体全体の高温強度を高
める。ｔｅ原因は定かでないが、これら成分を含む酸窒
化ケイ素焼結体の弾性率は、アルミナ、窒化ケイ素、炭
化ケイ素等の焼結体のそれよりも低くなる。５ｉｓＮ４
及び５１０２は後述の酸窒化ケイ素生成反応における未
反応成分である。Ａ成分及びＢ成分は、これらのうち−
成分のみ焼結体に含まれている場合でも両成分が含まれ
ている場合でも上記の作用を生じるが、Ａ成分及びＢ成
分の合量の含有率が酸窒化ケイ素、５ｉｓＮ＊及び５ｌ
ｏｚの総量に対してモル基準で０．１％に満たないとそ
の作用に乏しく、１０％を越えるとＡ成分やＢ成分やガ
ラス成分自体の強度及び耐酸化性が焼結体に影響してか
えりて焼結体の強度及び耐酸化性を低下させることから
、含有率を限定した。
（２）第二の手段の作用
５ｉｓＮａは、窒素ガス又は窒素ガス含有非酸化性雰囲
気中高温で５ｉＣｈと反応し、次式■に従りて酸窒化ケ
イ素を生成する。
気中高温で５ｉＣｈと反応し、次式■に従りて酸窒化ケ
イ素を生成する。
５ｉｘＮｓ ＋ ５ｔｏ２→２ＳｈＮｚＯ・・・・・■
この際、Ａ成分及びＢ成分はいずれも式■において５ｈ
ＮｚＯの生成速度を高めるとともに焼結を促進し、緻密
化に寄与するものであるが、これらＡ成分及びＢ成分の
合量がＳｉ３Ｎ４と５ｉＯｚとの総量１００部に対して
０．１部に満たないとその作用に乏しくなる一方、１０
部を越える量まで必要としないので、０．１〜１０部に
限定した。
この際、Ａ成分及びＢ成分はいずれも式■において５ｈ
ＮｚＯの生成速度を高めるとともに焼結を促進し、緻密
化に寄与するものであるが、これらＡ成分及びＢ成分の
合量がＳｉ３Ｎ４と５ｉＯｚとの総量１００部に対して
０．１部に満たないとその作用に乏しくなる一方、１０
部を越える量まで必要としないので、０．１〜１０部に
限定した。
また、５ｉ０２とＳ ｉ ｓ Ｎ４ とは理論上は弐〇
の通り１対１で反応するが、（５ｌＯｚ ／ ５ｉｓＮ
４）モル比を０．７〜１．２に限定したのは、原料粉末
の反応性に応じて可及的に反応率の向上を期すためと、
酸窒化ケイ素に対する未反応成分が５ｉｓＮ４なら８０
％以内、５ｉｎｓなら２０％以内であるならば焼結体の
耐酸化性や高温強度特性に悪影響を及ぼさないことによ
る。
の通り１対１で反応するが、（５ｌＯｚ ／ ５ｉｓＮ
４）モル比を０．７〜１．２に限定したのは、原料粉末
の反応性に応じて可及的に反応率の向上を期すためと、
酸窒化ケイ素に対する未反応成分が５ｉｓＮ４なら８０
％以内、５ｉｎｓなら２０％以内であるならば焼結体の
耐酸化性や高温強度特性に悪影響を及ぼさないことによ
る。
５ｉｘＮｓ、５ｉＯｚ、Ａ成分及びＢ成分の各原料は当
初から粉末の形態で混合しても良いが、可及的に均一に
混合させるため水利酸化物、金属アルコキシド等液体の
形態で混合し、加水分解等の後、ガ」焼し、これを本発
明第二の手段の出発原料としても良い。
初から粉末の形態で混合しても良いが、可及的に均一に
混合させるため水利酸化物、金属アルコキシド等液体の
形態で混合し、加水分解等の後、ガ」焼し、これを本発
明第二の手段の出発原料としても良い。
次に本発明の必須手段ではないが、本発明範囲内で最も
望ましい手段について説明する。
望ましい手段について説明する。
５ｂＮｉ粉末及び５ｉＯｚ粉末は微細なほうが反応性が
高くなるので、比表面積がそれぞれ１２ ｄｌ ｒ以上
及び６０ｍ／ を以上のものを用いるのが望ましい。
高くなるので、比表面積がそれぞれ１２ ｄｌ ｒ以上
及び６０ｍ／ を以上のものを用いるのが望ましい。
Ａ成分及びＢ成分は微細なほど５ｂＮｚＯの生成を促進
する作用及び焼結を促進する作用が顕著になるので、比
表面積が１２ｄｌ ９以上のものを用いるのが望ましい
。
する作用及び焼結を促進する作用が顕著になるので、比
表面積が１２ｄｌ ９以上のものを用いるのが望ましい
。
また、５ｉｚＮｚＯは１６００°Ｃ以、上で次式■のよ
うに分解するので、これを防止するため、かかる高温で
焼成する場合には、焼成雰囲気の窒素圧を１〜１０００
気圧に高めたり、成形体を寮質的に８１０を発生する粉
末中で焼成するのが望ましい。
うに分解するので、これを防止するため、かかる高温で
焼成する場合には、焼成雰囲気の窒素圧を１〜１０００
気圧に高めたり、成形体を寮質的に８１０を発生する粉
末中で焼成するのが望ましい。
８ Ｓ １ｓＮｚｏ−４Ｓ １ｓＮ４＋ ８ ＳｉＯ＋
Ｎｔ・・・・・■「実施例」 実施例１ 原料として、比弐面積２２７Ｆ？／ ｆの５ｉｓＮ＜粉
末、比表面＠１７０ゴ／２のＳｉｇｈ粉末、比表面積１
５ｍ／ ｒのα−Ａ １ ｚ Ｏｓ粉末及び比表面積４
０ｍ／ ｆのｒ−ＡｈＯｓ粉末を用いて以下の操作を行
った。
Ｎｔ・・・・・■「実施例」 実施例１ 原料として、比弐面積２２７Ｆ？／ ｆの５ｉｓＮ＜粉
末、比表面＠１７０ゴ／２のＳｉｇｈ粉末、比表面積１
５ｍ／ ｒのα−Ａ １ ｚ Ｏｓ粉末及び比表面積４
０ｍ／ ｆのｒ−ＡｈＯｓ粉末を用いて以下の操作を行
った。
モル基準で、Ｓ ｉ ｓ ＮｔとＳｔｏｗとを（５ｉｎ
２／５ｉｓＮｉ）＝１となるように秤量し、これらＳ
ｉ ｓ ＮｔとＳｉｎｇとの含量１００部に対し第１表
に示す量のＡ成分を添加混合し成形し、窒素ガス中圧力
３００Ｋｔ／ｄ、第１表に示す温度、保持時間２時間の
条件でホットプレスをし、酸窒化ケイ素焼結体Ｎ１１ｌ
〜ｒ１＆１４ｔ−ｊｌｌＬ、り。
２／５ｉｓＮｉ）＝１となるように秤量し、これらＳ
ｉ ｓ ＮｔとＳｉｎｇとの含量１００部に対し第１表
に示す量のＡ成分を添加混合し成形し、窒素ガス中圧力
３００Ｋｔ／ｄ、第１表に示す温度、保持時間２時間の
条件でホットプレスをし、酸窒化ケイ素焼結体Ｎ１１ｌ
〜ｒ１＆１４ｔ−ｊｌｌＬ、り。
これら焼結体−１〜宛４について密度、弾性率、曲げ強
度及び酸化増量を測定した結果を第１表に示す。
度及び酸化増量を測定した結果を第１表に示す。
なお、弾性率は超音波パルス法で測定し、室温での曲げ
強度はＪＩＳのＲ１６０１に従って測定し、また１ ２
００ ’Ｃ及び１８００°Ｃでの強度は各温度で１５分
間保持した後に同様に測定したものである。そして酸化
増量は、焼結体を大気中１３００″Ｃで１００時間保持
した後、焼結体の単位表面積当りの重量増加量を測定し
たものである。
強度はＪＩＳのＲ１６０１に従って測定し、また１ ２
００ ’Ｃ及び１８００°Ｃでの強度は各温度で１５分
間保持した後に同様に測定したものである。そして酸化
増量は、焼結体を大気中１３００″Ｃで１００時間保持
した後、焼結体の単位表面積当りの重量増加量を測定し
たものである。
第１表かられかるよりに、本発明焼結体は高温での強度
劣化が少なく、耐酸化性にも優れていた。また、弾性率
も約２．５ ｘ １０ Ｋｇｆ／−と低い値であった。
劣化が少なく、耐酸化性にも優れていた。また、弾性率
も約２．５ ｘ １０ Ｋｇｆ／−と低い値であった。
実施例２
α−Ａ １２０ｓ粉末及びｒ−ＡｈＯｓ粉末に代えて、
比表面積５７ｒｄ／ ｒのＹ２Ｏ３粉末、比表面積２８
７７／／ＰのＳｍｚＯｓ粉末及び比表面積ａ ６Ｗｆ／
？のＣｅｎｔ粉末を原料として用いることと、ホット
プレス温度が第２表に示す温度であることを除くほかは
実施例１と同一条件の操作を行って酸窒化ケイ素焼結体
１’ｌｈ５〜ＮｃＬｌ（？ を製造し、焼結体の特性
を測定した結果を第２表に示す。
比表面積５７ｒｄ／ ｒのＹ２Ｏ３粉末、比表面積２８
７７／／ＰのＳｍｚＯｓ粉末及び比表面積ａ ６Ｗｆ／
？のＣｅｎｔ粉末を原料として用いることと、ホット
プレス温度が第２表に示す温度であることを除くほかは
実施例１と同一条件の操作を行って酸窒化ケイ素焼結体
１’ｌｈ５〜ＮｃＬｌ（？ を製造し、焼結体の特性
を測定した結果を第２表に示す。
第２表から、Ｂ成分もＡ成分と同様の作用をすることが
わかった。
わかった。
実施例３
原料として、比表面積２２ｒｄ／ ｔの５ｈＮｎ粉末、
比表面積１２０ゴ／２の５ｔ（ｈ粉末、日産化学製メタ
ノー〜シリカシｙ及び比表面ｖＸ１５０ｄｉ？のＣｅ０
ｚ粉末を用いて以下の操作を行った。
比表面積１２０ゴ／２の５ｔ（ｈ粉末、日産化学製メタ
ノー〜シリカシｙ及び比表面ｖＸ１５０ｄｉ？のＣｅ０
ｚ粉末を用いて以下の操作を行った。
モル基準で、５ｉ３Ｎｉと５ｉＯｚ又はシリカゾルとを
（Ｓｉｎｇ ／ ５ｉｓＮ４） ＝ ０．８〜１．５と
なるように秤゛ｉＬ（シリカシμについては５ｉＣｈに
換算して秤ｔ）、これら秤量物の合１−１００部に対し
第３表に示す量のＢ成分を添加混合し、乾燥造粒し、圧
力１５０ Ｃ１／ｄで静水圧プレス成形した後、成形体
を５ｉｘＮ４と５ｔＣｈとの混合粉末中に埋設し、第３
表に示す圧力の窒素ガス中最高温度１８００″Ｃで焼成
して酸窒化ケイ素焼粘体宛２０ Ｒ−ｒ１ｋＬ２７を製
造した。焼結体ｌＶ＆Ｌ２０Ｒ−−２７の特性を実施例
１と同一条件で測定した結果を第３表に示す。なお、焼
結体−２ＯＲ，宛２８Ｒ及び遅２６Ｒは比較のために製
造した本発明範囲外例である。
（Ｓｉｎｇ ／ ５ｉｓＮ４） ＝ ０．８〜１．５と
なるように秤゛ｉＬ（シリカシμについては５ｉＣｈに
換算して秤ｔ）、これら秤量物の合１−１００部に対し
第３表に示す量のＢ成分を添加混合し、乾燥造粒し、圧
力１５０ Ｃ１／ｄで静水圧プレス成形した後、成形体
を５ｉｘＮ４と５ｔＣｈとの混合粉末中に埋設し、第３
表に示す圧力の窒素ガス中最高温度１８００″Ｃで焼成
して酸窒化ケイ素焼粘体宛２０ Ｒ−ｒ１ｋＬ２７を製
造した。焼結体ｌＶ＆Ｌ２０Ｒ−−２７の特性を実施例
１と同一条件で測定した結果を第３表に示す。なお、焼
結体−２ＯＲ，宛２８Ｒ及び遅２６Ｒは比較のために製
造した本発明範囲外例である。
焼結体Ｎａ２０ＲＦｉＢ成分の含有量が不足していたた
め、緻密化が不十分となシ強度が低く、１’ｌｉ２８
Ｒ＃：ｌ：Ｂ成分の含有量が過剰であるため、高温で強
度が劣化し、Ｎ１２６ＲはＳｉ０ｇ量が過剰であるため
に緻密化が不十分とな９低強度となっ九ものと考えられ
る。これに対し本発明焼結体はいずれも強度劣化が少な
く、耐酸化性にも優れていた。
め、緻密化が不十分となシ強度が低く、１’ｌｉ２８
Ｒ＃：ｌ：Ｂ成分の含有量が過剰であるため、高温で強
度が劣化し、Ｎ１２６ＲはＳｉ０ｇ量が過剰であるため
に緻密化が不十分とな９低強度となっ九ものと考えられ
る。これに対し本発明焼結体はいずれも強度劣化が少な
く、耐酸化性にも優れていた。
「発明の効果」
１２００℃においても４０ Ｋｇｆ ／−以上の曲げ強
度を有し、耐酸化性にも優れるほか、低弾性率ゆえ歪に
対して発生する応力が少ない焼結体を提供することがで
き、ガスタービン部品、ディーゼμエンジン部品に応用
しうる。
度を有し、耐酸化性にも優れるほか、低弾性率ゆえ歪に
対して発生する応力が少ない焼結体を提供することがで
き、ガスタービン部品、ディーゼμエンジン部品に応用
しうる。
Claims (2)
- （１）酸窒化ケイ素を主成分とし、他にＳｉ＿３Ｎ＿４
、ＳｉＯ＿２並びに下記Ａ成分及びＢ成分のうちから選
ばれる一成分以上を含むものにおいて、酸窒化ケイ素、
Ｓｉ＿３Ｎ＿４及びＳｉＯ＿２の総量に対する前記一成
分以上の含有率がモル基準で０．１〜１０％である高密
度酸窒化ケイ素焼結体。 Ａ成分：アルミニウムの酸化物及び窒化物 のうち一種以上。 Ｂ成分：希土類元素の酸化物及び窒化物の うち一種以上。 - （２）モル基準で、Ｓｉ＿３Ｎ＿４とＳｉＯ＿２とを（
ＳｉＯ＿２／Ｓｉ＿３Ｎ＿４）＝０．７〜１．２となる
ように秤量し、Ｓｉ＿３Ｎ＿４及びＳｉＯ＿２の合量１
００部に下記Ａ成分及びＢ成分のうちから選ばれる一成
分以上を０．１〜１０部添加混合し成形し、窒素ガス又
は窒素ガス含有非酸化性雰囲気中で焼成し、酸窒化ケイ
素を反応生成させるとともに緻密化させることを特徴と
する高密度酸窒化ケイ素焼結体の製造法。 Ａ成分：アルミニウムの酸化物及び窒化物 のうち一種以上。 Ｂ成分：希土類元素の酸化物及び窒化物の うち一種以上。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62102998A JPS63270360A (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | 高密度酸窒化ケイ素焼結体とその製造法 |
| US07/187,131 US4975394A (en) | 1987-04-28 | 1988-04-28 | Sintered high density silicon oxnitride and method for making the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62102998A JPS63270360A (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | 高密度酸窒化ケイ素焼結体とその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63270360A true JPS63270360A (ja) | 1988-11-08 |
Family
ID=14342353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62102998A Pending JPS63270360A (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | 高密度酸窒化ケイ素焼結体とその製造法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4975394A (ja) |
| JP (1) | JPS63270360A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100646247B1 (ko) * | 2001-08-31 | 2006-11-17 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 다공성 산질화규소 소결체의 제조 방법 |
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| JP2974473B2 (ja) * | 1991-10-30 | 1999-11-10 | 日本碍子株式会社 | 複合セラミックスおよびその製造法 |
| US5728213A (en) * | 1995-08-31 | 1998-03-17 | Hitachi Chemical Company Ltd. | Method of growing a rare earth silicate single crystal |
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| US8828325B2 (en) * | 2007-08-31 | 2014-09-09 | Caterpillar Inc. | Exhaust system having catalytically active particulate filter |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4975394A (en) | 1990-12-04 |
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