JPH065418Y2 - 超高真空導入用ランプハウジング - Google Patents
超高真空導入用ランプハウジングInfo
- Publication number
- JPH065418Y2 JPH065418Y2 JP3727988U JP3727988U JPH065418Y2 JP H065418 Y2 JPH065418 Y2 JP H065418Y2 JP 3727988 U JP3727988 U JP 3727988U JP 3727988 U JP3727988 U JP 3727988U JP H065418 Y2 JPH065418 Y2 JP H065418Y2
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- lamp
- ring
- housing body
- housing
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Links
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 13
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、光ＣＶＤ装置、の光源ハウジングに好適な超
高真空導入用ランプハウジングに関する。
高真空導入用ランプハウジングに関する。
従来、光ＣＶＤ装置のような１０−３Ｔｏｒｒ以上の真
空に保持される容器内部を照射するランプハウジングと
しては、例えば第２図縦断面図に示すものが知られてい
る。
空に保持される容器内部を照射するランプハウジングと
しては、例えば第２図縦断面図に示すものが知られてい
る。
すなわち、一端が紫外光ランプ電極２が取付けられた蓋
１ａにより閉塞し他端が開口している筒状のハウジング
本体１の内腔部に、紫外光ランプ３が収納されるととも
に、開口端には、ランプ先端支持筒部１ｂに筒部４ａが
外嵌された取付フランジ４が設けられており、かつハウ
ジング本体１と紫外光ランプ３との間隙には、本体軸線
方向に適宜間隔を存して、冷却水封止用Ｏリング５，６
と真空封止用Ｏリング７，８とが挿入され、Ｏリング７
とＯリング８はリング押さえ９により支持されている。
またランプ先端支持筒部１ｂとフランジ筒部４ａとの間
に真空封止用Ｏリング１４が介装され、リング押さえ１
５が当てられたうえ袋ナット１６により締付けられてお
り、更にハウジング本体１の側壁に一対の冷却水導入・
排出口１３，１３が突設されている。
１ａにより閉塞し他端が開口している筒状のハウジング
本体１の内腔部に、紫外光ランプ３が収納されるととも
に、開口端には、ランプ先端支持筒部１ｂに筒部４ａが
外嵌された取付フランジ４が設けられており、かつハウ
ジング本体１と紫外光ランプ３との間隙には、本体軸線
方向に適宜間隔を存して、冷却水封止用Ｏリング５，６
と真空封止用Ｏリング７，８とが挿入され、Ｏリング７
とＯリング８はリング押さえ９により支持されている。
またランプ先端支持筒部１ｂとフランジ筒部４ａとの間
に真空封止用Ｏリング１４が介装され、リング押さえ１
５が当てられたうえ袋ナット１６により締付けられてお
り、更にハウジング本体１の側壁に一対の冷却水導入・
排出口１３，１３が突設されている。
しかしながら、このような装置においては、真空封止用
Ｏリングで真空を維持しているけれども、対応できる真
空領域は１０−６Torrが限度であり、それ以下の真空度
が要求される場合には使用できない不具合がある。
Ｏリングで真空を維持しているけれども、対応できる真
空領域は１０−６Torrが限度であり、それ以下の真空度
が要求される場合には使用できない不具合がある。
本考案は、このような事情に鑑みて提案されたもので、
Ｏリングにより真空封止用不足をカバーし超高真空に十
分対応できる超高真空導入用ランプハウジングを提供す
ることを目的とする。
Ｏリングにより真空封止用不足をカバーし超高真空に十
分対応できる超高真空導入用ランプハウジングを提供す
ることを目的とする。
そのために本考案は、一端が閉塞し他端が開口するとと
もに内腔部にランプを収納しているアルミニウム合金筒
状のハウジング本体と、上記ランプにより超高真空容器
内を照射するため同容器壁孔に取付けられるべく上記ハ
ウジング開口端に設けられた取付フランジと、上記ハウ
ジング本体とランプとの間隙へ同本体の軸線方向に適宜
間隔を存して少なくとも３本以上挿入されたＯリング
と、上記Ｏリングとランプとハウジング本体とで形成さ
れる少なくとも２つ以上のリング状空間のフランジ寄り
の空間に連通して同本体に設けられた真空引き用吸出口
と、上記リング状空間の反フランジ寄りの空間に冷却水
を流通させるため上記ハウジング本体に設けられた冷却
水導入・排出口とを具えたことを特徴とする。
もに内腔部にランプを収納しているアルミニウム合金筒
状のハウジング本体と、上記ランプにより超高真空容器
内を照射するため同容器壁孔に取付けられるべく上記ハ
ウジング開口端に設けられた取付フランジと、上記ハウ
ジング本体とランプとの間隙へ同本体の軸線方向に適宜
間隔を存して少なくとも３本以上挿入されたＯリング
と、上記Ｏリングとランプとハウジング本体とで形成さ
れる少なくとも２つ以上のリング状空間のフランジ寄り
の空間に連通して同本体に設けられた真空引き用吸出口
と、上記リング状空間の反フランジ寄りの空間に冷却水
を流通させるため上記ハウジング本体に設けられた冷却
水導入・排出口とを具えたことを特徴とする。
上述の構成により、Ｏリングにより真空封止作用不足を
カバーし超高真空に十分対応できる超高真空導入用ラン
プハウジングを得ることができる。
カバーし超高真空に十分対応できる超高真空導入用ラン
プハウジングを得ることができる。
本考案超高真空導入用ランプハウジングの一実施例を第
１図縦断面図について説明する。
１図縦断面図について説明する。
上図において、一端が蓋１ａにより閉塞し他端が開口し
ているアルミニウム合金製筒状のハウジング本体１に
は、蓋１ａに紫外光ランプ電極２が取付けられるととも
に、内腔部に紫外光ランプ３が収納されており、かつ開
口端のランプ先端支持筒部１ｂには、上記紫外光ランプ
３によりその内部を照射する図示せざる超高真空容器の
壁孔に取付けるための取付フランジ４が設けられてい
る。
ているアルミニウム合金製筒状のハウジング本体１に
は、蓋１ａに紫外光ランプ電極２が取付けられるととも
に、内腔部に紫外光ランプ３が収納されており、かつ開
口端のランプ先端支持筒部１ｂには、上記紫外光ランプ
３によりその内部を照射する図示せざる超高真空容器の
壁孔に取付けるための取付フランジ４が設けられてい
る。
また、上記ハウジング本体１と紫外光ランプ３との間隙
には、本体軸線方向に適宜間隔を存して、冷却水封止用
Ｏリング５，６と真空封止用Ｏリング７，８とが挿入さ
れ、かつＯリング６とＯリング７はリング押さえ９によ
り支持されている。
には、本体軸線方向に適宜間隔を存して、冷却水封止用
Ｏリング５，６と真空封止用Ｏリング７，８とが挿入さ
れ、かつＯリング６とＯリング７はリング押さえ９によ
り支持されている。
更に、フランジ４寄りの真空封止用Ｏリング７及びＯリ
ング８とランプ３とハウジング本体１のランプ先端支持
筒部１ｂとで形成されるリング状空間１０に連通して、
ハウジング本体１のランプ先端支持筒部１ｂの壁に真空
引き用吸出口１１が突設されている。
ング８とランプ３とハウジング本体１のランプ先端支持
筒部１ｂとで形成されるリング状空間１０に連通して、
ハウジング本体１のランプ先端支持筒部１ｂの壁に真空
引き用吸出口１１が突設されている。
なお、冷却水封止用Ｏリング５及びＯリング６とランプ
３とハウジング本体１とで形成されるリング状空間１２
へ冷却水を循環流通させるために、ハウジング本体１の
壁に対向する一対の冷却水導入・排出口１３，１３が突
設されている。
３とハウジング本体１とで形成されるリング状空間１２
へ冷却水を循環流通させるために、ハウジング本体１の
壁に対向する一対の冷却水導入・排出口１３，１３が突
設されている。
このような装置において、図示せざる超高真空に保持さ
れる容器に取付フランジ４を取付け、紫外光ランプ３で
容器内部を照射するにあたり、真空引き用吸出口１１へ
適宜の真空ポンプを接続し、リング状空間１０を真空引
きし１０-3〜１０-4Torrに差動排気するとこにより、Ｏ
リング７，８の紫外光ランプ３表面との密着不完全さか
ら生ずる洩れとリング自身からのガス放出を極力抑え、
その真空封止の不完全さを十分補って１０-6Torr以下の
超高真空に対応することができる。またこの場合、ハウ
ジング本体１及びそのランプ先端支持筒部１ｂはアルミ
ニウム合金製であるので、超高真空に十分対応できる。
れる容器に取付フランジ４を取付け、紫外光ランプ３で
容器内部を照射するにあたり、真空引き用吸出口１１へ
適宜の真空ポンプを接続し、リング状空間１０を真空引
きし１０-3〜１０-4Torrに差動排気するとこにより、Ｏ
リング７，８の紫外光ランプ３表面との密着不完全さか
ら生ずる洩れとリング自身からのガス放出を極力抑え、
その真空封止の不完全さを十分補って１０-6Torr以下の
超高真空に対応することができる。またこの場合、ハウ
ジング本体１及びそのランプ先端支持筒部１ｂはアルミ
ニウム合金製であるので、超高真空に十分対応できる。
要するに本考案によれば、一端が閉塞し他端が開口する
とともに内腔部にランプを収納しているアルミニウム合
金製筒状のハウジング本体と、上記ランプにより超高真
空容器内を照射するため同容器壁孔に取付けられるべく
上記ハウジング開口端に設けられた取付フランジと、上
記ハウジング本体とランプとの間隙へ同本体の軸線方向
に適宜間隔を存して少なくとも３本以上挿入されたＯリ
ングと、上記Ｏリングとランプとハウジング本体とで形
成される少なくとも２つ以上のリング状空間のフランジ
寄りの空間に連通して同本体に設けられた真空引き用吸
出口と、上記リング状空間の反フランジ寄りの空間に冷
却水を流通させるため上記ハウジング本体に設けられた
冷却水導入・排出口とを具えたことにより、Ｏリングに
より真空封止作用不足をカバーし超高真空に十分対応で
きる超高真空導入用ランプハウジングを得るから、本考
案は産業上極めて有益なものである。
とともに内腔部にランプを収納しているアルミニウム合
金製筒状のハウジング本体と、上記ランプにより超高真
空容器内を照射するため同容器壁孔に取付けられるべく
上記ハウジング開口端に設けられた取付フランジと、上
記ハウジング本体とランプとの間隙へ同本体の軸線方向
に適宜間隔を存して少なくとも３本以上挿入されたＯリ
ングと、上記Ｏリングとランプとハウジング本体とで形
成される少なくとも２つ以上のリング状空間のフランジ
寄りの空間に連通して同本体に設けられた真空引き用吸
出口と、上記リング状空間の反フランジ寄りの空間に冷
却水を流通させるため上記ハウジング本体に設けられた
冷却水導入・排出口とを具えたことにより、Ｏリングに
より真空封止作用不足をカバーし超高真空に十分対応で
きる超高真空導入用ランプハウジングを得るから、本考
案は産業上極めて有益なものである。
第１図は本考案超高真空導入用ランプハウジングの一実
施例の縦断面図、第２図は従来のランプハウジングの縦
断面図である。 １…ハウジング本体、２…紫外光ランプ電極、３…紫外
光ランプ、４…取付フランジ、５，６，７，８…Ｏリン
グ、９…リング押さえ、１０…リング状空間、１１…真
空引き用吸出口、１２…リング状空間、１３…冷却水導
入・排出口。
施例の縦断面図、第２図は従来のランプハウジングの縦
断面図である。 １…ハウジング本体、２…紫外光ランプ電極、３…紫外
光ランプ、４…取付フランジ、５，６，７，８…Ｏリン
グ、９…リング押さえ、１０…リング状空間、１１…真
空引き用吸出口、１２…リング状空間、１３…冷却水導
入・排出口。
Claims (1)
- 【請求項１】一端が閉塞し他端が開口するとともに内腔
部にランプを収納しているアルミニウム合金製筒状のハ
ウジング本体と、上記ランプにより超高真空容器内を照
射するため同容器壁孔に取付けられるべく上記ハウジン
グ開口端に設けられた取付フランジと、上記ハウジング
本体とランプとの間隙へ同本体の軸線方向に適宜間隙を
存して少なくとも３本以上挿入されたＯリングと、上記
Ｏリングとランプとハウジング本体とで形成される少な
くとも２つ以上のリング状空間のフランジ寄りの空間に
連通して同本体に設けられた真空引き用吸出口と、上記
リング状空間の反フランジ寄りの空間に冷却水を流通さ
せるため上記ハウジング本体に設けられた冷却水導入・
排出口とを具えたことを特徴とする超高真空導入用ラン
プハウジング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3727988U JPH065418Y2 (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | 超高真空導入用ランプハウジング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3727988U JPH065418Y2 (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | 超高真空導入用ランプハウジング |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01142458U JPH01142458U (ja) | 1989-09-29 |
| JPH065418Y2 true JPH065418Y2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=31263860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3727988U Expired - Lifetime JPH065418Y2 (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | 超高真空導入用ランプハウジング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065418Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-03-22 JP JP3727988U patent/JPH065418Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01142458U (ja) | 1989-09-29 |
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