JPS63314908A - 表面弾性波装置 - Google Patents
表面弾性波装置Info
- Publication number
- JPS63314908A JPS63314908A JP62151876A JP15187687A JPS63314908A JP S63314908 A JPS63314908 A JP S63314908A JP 62151876 A JP62151876 A JP 62151876A JP 15187687 A JP15187687 A JP 15187687A JP S63314908 A JPS63314908 A JP S63314908A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave element
- plate piece
- thermal expansion
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電気回路においてフィルタや発振子として機
能する表面弾性波装置に関するものである。
能する表面弾性波装置に関するものである。
従来の技術
従来、この種の表面弾性波装置は、第３図に示すような
構成であった。第３図において、１は金属ベース、２は
接着剤、３は圧電基板３乙の一主面に所望の電極パター
ン（図示せず）を形成してなる表面弾性波素子、４はボ
ンディングワイヤ、５は外部リード端子、６はキャップ
である。そして、金属ベース１上に接着剤２を塗布し、
この上に弾性表面波素子３を接着固定し、ワイヤボンデ
ィング４により外部リード端子５と電気的に接続するも
のであった。また、接着剤２には通常、エポキシ系ある
いはシリコーン系等の樹脂が用いられ、加熱硬化するも
のであった。
構成であった。第３図において、１は金属ベース、２は
接着剤、３は圧電基板３乙の一主面に所望の電極パター
ン（図示せず）を形成してなる表面弾性波素子、４はボ
ンディングワイヤ、５は外部リード端子、６はキャップ
である。そして、金属ベース１上に接着剤２を塗布し、
この上に弾性表面波素子３を接着固定し、ワイヤボンデ
ィング４により外部リード端子５と電気的に接続するも
のであった。また、接着剤２には通常、エポキシ系ある
いはシリコーン系等の樹脂が用いられ、加熱硬化するも
のであった。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の構成では、表面弾性波素子を金属ベー
ス上に接着剤を用いて加熱硬化させ、：接着固定する際
、金属ベース、接着剤用樹脂、圧’１’ＪＬ基板材料の
熱膨張係数の違いにより、圧′Ｅ基板が応力を受は変形
し、第４図のように反シかえったり、圧電基板に圧縮及
び引張り応力が残留するという問題があった。このよう
に圧電基板がひずみを受け、たとえば電極を設けた面側
か伸びるように反ると表面弾性波装置の中心周波数が低
下し、所望の特性が得られないという問題があった。ま
た、残留した応力が徐々に緩和されることによシ。
ス上に接着剤を用いて加熱硬化させ、：接着固定する際
、金属ベース、接着剤用樹脂、圧’１’ＪＬ基板材料の
熱膨張係数の違いにより、圧′Ｅ基板が応力を受は変形
し、第４図のように反シかえったり、圧電基板に圧縮及
び引張り応力が残留するという問題があった。このよう
に圧電基板がひずみを受け、たとえば電極を設けた面側
か伸びるように反ると表面弾性波装置の中心周波数が低
下し、所望の特性が得られないという問題があった。ま
た、残留した応力が徐々に緩和されることによシ。
表面弾性波装置の中心周波数が徐々に変化し、中心周波
数の長期安定化を妨げる要因になっていた。
数の長期安定化を妨げる要因になっていた。
本発明はこのような問題を解決するもので、中心周波数
の経時変化が少ない、高精度の表面弾性波装置を提供す
ることを目的とするものである。
の経時変化が少ない、高精度の表面弾性波装置を提供す
ることを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、金属ペース上に
表面弾性波素子と同じかほぼ熱膨張率を有する板片を接
着固定し、さらに接着固定された前記板片上に前記表面
波素子を接着固定するようにしたものである。
表面弾性波素子と同じかほぼ熱膨張率を有する板片を接
着固定し、さらに接着固定された前記板片上に前記表面
波素子を接着固定するようにしたものである。
作用
この構成によれば、金属ベースと表面弾性波素子の間に
、表面弾性波素子と同じかほぼ同じ熱膨張係数を有する
板片を介在させることにより、熱膨張係数の差により生
ずる弾性表面波素子のひずみが軽減されることになシ、
弾性表面波装置の高精度化及び長期安定化が図れること
となる。
、表面弾性波素子と同じかほぼ同じ熱膨張係数を有する
板片を介在させることにより、熱膨張係数の差により生
ずる弾性表面波素子のひずみが軽減されることになシ、
弾性表面波装置の高精度化及び長期安定化が図れること
となる。
実施例
本発明の一実施例を図面を用いて詳細に説明する。第１
図において、１１は金属ペース、１２は接着剤、１３は
圧電基板１３＆の一主面に所望の電極パターン（図示せ
ず）を形成してなる表面弾性波素子、１４は表面弾性波
素子１３を構成する圧電基板１３１Ｌと同一材料よりな
る板片、１５はボンディングワイヤ、１６は外部リード
端子、１７はキャップである。まず初めに、板片１４を
金属ベース１１上に接着剤１２によシ接着固定し、さら
にその上に表面弾性波素子１３を接着剤１２によシ接着
固定し、ボンディングワイヤ１５で外部リード端子１６
と電気的接続をとり、キャップ１７で気密封止をした構
成になっている。ここで、接着剤１２にはシリコーン系
樹脂を用い、できるだけ薄く塗布することによシ、表面
弾性波素子１３と樹脂との熱膨張係数の差の影響を小さ
くする。
図において、１１は金属ペース、１２は接着剤、１３は
圧電基板１３＆の一主面に所望の電極パターン（図示せ
ず）を形成してなる表面弾性波素子、１４は表面弾性波
素子１３を構成する圧電基板１３１Ｌと同一材料よりな
る板片、１５はボンディングワイヤ、１６は外部リード
端子、１７はキャップである。まず初めに、板片１４を
金属ベース１１上に接着剤１２によシ接着固定し、さら
にその上に表面弾性波素子１３を接着剤１２によシ接着
固定し、ボンディングワイヤ１５で外部リード端子１６
と電気的接続をとり、キャップ１７で気密封止をした構
成になっている。ここで、接着剤１２にはシリコーン系
樹脂を用い、できるだけ薄く塗布することによシ、表面
弾性波素子１３と樹脂との熱膨張係数の差の影響を小さ
くする。
また、板片１４は表面弾性波素子１３を構成する圧電基
板１３＆と同一材料でかつ同一板厚とし、熱膨張係数を
完全に一致させることによって、熱膨張係数の差による
影響を小さくしている。また、この場合は板片１４と圧
電基板１３＆を同一寸法形状で構成できることから、部
品の管理・調達が容易で自動組立上も有利である利点を
もっている。
板１３＆と同一材料でかつ同一板厚とし、熱膨張係数を
完全に一致させることによって、熱膨張係数の差による
影響を小さくしている。また、この場合は板片１４と圧
電基板１３＆を同一寸法形状で構成できることから、部
品の管理・調達が容易で自動組立上も有利である利点を
もっている。
第２図に、本実施例により作成した２ポ一ト型表面弾性
波発振子のエージング特性を、従来例と比較して示す。
波発振子のエージング特性を、従来例と比較して示す。
第２図かられかるように本発明のものは中心周波数の低
下が従来例に比べて大幅に抑えられている。
下が従来例に比べて大幅に抑えられている。
なお、前記一実施例においては、板片１４は表面弾性波
素子１３を構成する圧電基板１３ａと同一材料でかつ同
一板厚のものとしたが、これは同一材料でもって板厚は
少し異なるものとしてもよく、さらには圧電基板１３ａ
とほぼ同じ熱膨張率を有するものであれば、圧電基板１
３ａと同一材料でなくともよいものである。しかし、板
片１４を圧電基板１３λと同一材料でかつ同一板厚とす
る構成が最も好ましいのはもちろんである。
素子１３を構成する圧電基板１３ａと同一材料でかつ同
一板厚のものとしたが、これは同一材料でもって板厚は
少し異なるものとしてもよく、さらには圧電基板１３ａ
とほぼ同じ熱膨張率を有するものであれば、圧電基板１
３ａと同一材料でなくともよいものである。しかし、板
片１４を圧電基板１３λと同一材料でかつ同一板厚とす
る構成が最も好ましいのはもちろんである。
また、一実施例において、板片１４と表面弾性波素子１
３との接着にシリコーン系の樹脂を用いたが、これはエ
ポキシ系、さらにはポリイミド系、アクリル系の樹脂を
用いても同様な効果が得られる。さらに、接着の面積を
一実施例においては表面弾性波素子１３のチップ全面と
しているが、接着部分を表面弾性波素子１３のチップの
中央部のみとすれば、さらに熱膨張係数の差による影響
が抑えられることになる。
３との接着にシリコーン系の樹脂を用いたが、これはエ
ポキシ系、さらにはポリイミド系、アクリル系の樹脂を
用いても同様な効果が得られる。さらに、接着の面積を
一実施例においては表面弾性波素子１３のチップ全面と
しているが、接着部分を表面弾性波素子１３のチップの
中央部のみとすれば、さらに熱膨張係数の差による影響
が抑えられることになる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、表面弾性波素子の変形が
抑えられ、中心周波数の変化が小さくな）、歩留シが向
上するという効果が得られる。また、中心周波数の経時
変化が非常に小さくなり、表面弾性波装置の長期安定性
が飛躍的に向上するという効果が得られる。
抑えられ、中心周波数の変化が小さくな）、歩留シが向
上するという効果が得られる。また、中心周波数の経時
変化が非常に小さくなり、表面弾性波装置の長期安定性
が飛躍的に向上するという効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例による表面弾性波装置を示す
構成図、第２図は本発明の一実施例により作成した２ポ
一ト型表面弾性波発振子の中心周波数のエージング特性
を従来例と比較して示す図。 第３図は従来の表面弾性波装置を示す構成図、第４図は
同従来例において応力を受けて表面弾性波素子が変形す
る様子を示した模式図である。 １１・・・・・・金属ベース、１２・・・・・・接着剤
、１３・・・・・・表面弾性波素子、１３１Ｌ・・・・
・・圧電基板、１４・・・・・・表面弾性波素子を構成
する圧電基板と同一材料よシなる板片、１６・・・・・
・ボンディングワイヤ、１６・・・・・・外部リード端
子、１７・・・・・・キャップ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１１
−一生属へ−ス ｔＺ−４妾着を１ １３−−−ヨン；ヒニＩｉ［！醐ＩＬ ／ｌ’ｉ二：ｉ
素モヨチー１３Ｌ・−斥健基板
構成図、第２図は本発明の一実施例により作成した２ポ
一ト型表面弾性波発振子の中心周波数のエージング特性
を従来例と比較して示す図。 第３図は従来の表面弾性波装置を示す構成図、第４図は
同従来例において応力を受けて表面弾性波素子が変形す
る様子を示した模式図である。 １１・・・・・・金属ベース、１２・・・・・・接着剤
、１３・・・・・・表面弾性波素子、１３１Ｌ・・・・
・・圧電基板、１４・・・・・・表面弾性波素子を構成
する圧電基板と同一材料よシなる板片、１６・・・・・
・ボンディングワイヤ、１６・・・・・・外部リード端
子、１７・・・・・・キャップ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１１
−一生属へ−ス ｔＺ−４妾着を１ １３−−−ヨン；ヒニＩｉ［！醐ＩＬ ／ｌ’ｉ二：ｉ
素モヨチー１３Ｌ・−斥健基板
Claims (3)
- （１）圧電基板の一主面に所望の電極パターンを形成し
た表面弾性波素子と、前記表面弾性波素子と同じかほぼ
同じ熱膨張率を有する板片と、金属ベースとからなり、
前記板片を前記金属ベース上に接着固定し、さらに接着
固定された前記板片上に前記表面弾性波素子をその裏面
の一部または全部に接着剤を塗布し接着固定してなる表
面弾性波装置。 - （２）板片は圧電基板と同一材料である特許請求の範囲
第１項に記載の表面弾性波装置。 - （３）板片と圧電基板は同一材料でかつ同一板厚である
特許請求の範囲第１項に記載の表面弾性波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151876A JPS63314908A (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 表面弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151876A JPS63314908A (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 表面弾性波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63314908A true JPS63314908A (ja) | 1988-12-22 |
Family
ID=15528137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62151876A Pending JPS63314908A (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 表面弾性波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63314908A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6441515A (en) * | 1987-08-07 | 1989-02-13 | Nec Corp | Surface acoustic wave device |
| US5343175A (en) * | 1993-09-07 | 1994-08-30 | Motorola, Inc. | Mechanically tuned SAW device and method of tuning same |
-
1987
- 1987-06-18 JP JP62151876A patent/JPS63314908A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6441515A (en) * | 1987-08-07 | 1989-02-13 | Nec Corp | Surface acoustic wave device |
| US5343175A (en) * | 1993-09-07 | 1994-08-30 | Motorola, Inc. | Mechanically tuned SAW device and method of tuning same |
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