JPH021857U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH021857U JPH021857U JP8009188U JP8009188U JPH021857U JP H021857 U JPH021857 U JP H021857U JP 8009188 U JP8009188 U JP 8009188U JP 8009188 U JP8009188 U JP 8009188U JP H021857 U JPH021857 U JP H021857U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion pump
- power supply
- vacuum
- power source
- control system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本発明の一実施例を説明するための装
置構成図、第２図は従来例を説明するための図で
ある。 １：真空室、２：イオンポンプ、３：イオンポ
ンプ電源、４：粗引き系ポンプ、５：真空仕切弁
、７：排気制御回路、８：イオンポンプ制御リレ
ー、９：制御系電源、１０：交流電源、１１：切
離し許可リレー、１２：自己保持リレー、Ｓ１：
制御系電源スイツチ、Ｓ２：イオンポンプ系電源
スイツチ、Ｓ３：切離しスイツチ。
置構成図、第２図は従来例を説明するための図で
ある。 １：真空室、２：イオンポンプ、３：イオンポ
ンプ電源、４：粗引き系ポンプ、５：真空仕切弁
、７：排気制御回路、８：イオンポンプ制御リレ
ー、９：制御系電源、１０：交流電源、１１：切
離し許可リレー、１２：自己保持リレー、Ｓ１：
制御系電源スイツチ、Ｓ２：イオンポンプ系電源
スイツチ、Ｓ３：切離しスイツチ。
Claims (1)
- 被排気系をイオンポンプを含む複数の真空ポン
プで排気するようにした真空排気装置において、
前記被排気系の真空度を検出する真空計と、該真
空計の検出信号に応じて前記イオンポンプを含む
複数の真空ポンプの動作及び真空弁の開閉を制御
する排気系制御回路と、該制御回路を動作させる
ための制御系電源と、前記イオンポンプを動作さ
せるためのイオンポンプ電源と、前記制御系電源
とイオンポンプ電源に電力を供給する交流電源を
備えると共に、前記交流電源とイオンポンプ電源
の間に自己保持回路を設け、前記交流電源と前記
制御系電源との接続を切離し制御系電源を停止さ
せることにより前記イオンポンプへの制御信号を
断つた場合でも、前記イオンポンプ電源が継続し
て動作するようにしたことを特徴とする真空排気
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8009188U JPH021857U (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8009188U JPH021857U (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH021857U true JPH021857U (ja) | 1990-01-09 |
Family
ID=31304936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8009188U Pending JPH021857U (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH021857U (ja) |
-
1988
- 1988-06-16 JP JP8009188U patent/JPH021857U/ja active Pending
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