JPS6240833U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6240833U JPS6240833U JP13254685U JP13254685U JPS6240833U JP S6240833 U JPS6240833 U JP S6240833U JP 13254685 U JP13254685 U JP 13254685U JP 13254685 U JP13254685 U JP 13254685U JP S6240833 U JPS6240833 U JP S6240833U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- guide ring
- opening
- semiconductor element
- cantilever
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
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- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案のかかるプローブカードの一実
施例の平面図、第２図ないし第４図はその製造工
程を示す平面図、第５図は従来例の平面図である
。 １０…基板、１１…ガイドリング、１２…接触
針、１３…樹脂成形体、１４…半導体素子。
施例の平面図、第２図ないし第４図はその製造工
程を示す平面図、第５図は従来例の平面図である
。 １０…基板、１１…ガイドリング、１２…接触
針、１３…樹脂成形体、１４…半導体素子。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試験信号を伝達する配線を備えた基板と、試
験対象ウエーハ上に形成された半導体素子の各電
極に接触するように一端が位置決めされると共に
、前記半導体素子を中心として放射状に配設され
た複数の等長の接触針と、 この接触針を前記基板に対して保持する、開口
部を備えたガイドリングと、 このガイドリングの前記開口部内端部に形成さ
れ、前記接触針の前記一端から等しい片持ち有効
長を与えるように前記接触針の途中に固化端を有
する樹脂成形体と、 を備えたプローブカード。 ２ 開口部が円形をなす実用新案登録請求の範囲
第１項記載のプローブカード。 ３ 接触針が片持ち有効長を表わすマークを備え
たものである実用新案登録請求の範囲第１項また
は第２項記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13254685U JPS6240833U (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13254685U JPS6240833U (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6240833U true JPS6240833U (ja) | 1987-03-11 |
Family
ID=31032034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13254685U Pending JPS6240833U (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6240833U (ja) |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP13254685U patent/JPS6240833U/ja active Pending
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