JPS6337018B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6337018B2 JPS6337018B2 JP58148550A JP14855083A JPS6337018B2 JP S6337018 B2 JPS6337018 B2 JP S6337018B2 JP 58148550 A JP58148550 A JP 58148550A JP 14855083 A JP14855083 A JP 14855083A JP S6337018 B2 JPS6337018 B2 JP S6337018B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- ring
- thin plate
- adhesive tape
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Adhesive Tape Dispensing Devices (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は例えば集積回路形成用の基盤となる
シリコンウエハのような円形状などの薄板と、こ
の薄板のキヤリヤ治具となる円形環状などのリン
グを１枚の粘着フイルムに貼着する方法に関する
ものである。
シリコンウエハのような円形状などの薄板と、こ
の薄板のキヤリヤ治具となる円形環状などのリン
グを１枚の粘着フイルムに貼着する方法に関する
ものである。
従来では上記のようなリング状のキヤリヤ治具
に対するフイルムの貼着と、フイルムに対するシ
リコンウエハなどの貼着は手作業で行ない、リン
グの周囲からはみ出したフイルムの切り取りも手
作業で行なつていたのできわめて手数がかかり、
かつ皺ができないように張ることは困難で、熟練
を要するなどの問題があつた。
に対するフイルムの貼着と、フイルムに対するシ
リコンウエハなどの貼着は手作業で行ない、リン
グの周囲からはみ出したフイルムの切り取りも手
作業で行なつていたのできわめて手数がかかり、
かつ皺ができないように張ることは困難で、熟練
を要するなどの問題があつた。
この発明は上記のようなリングにフイルムを貼
着するとともに薄板をフイルムに貼着する作業お
よびフイルムをリングに沿つて切断する作業など
を連続して能率よく行なう方法を提供することを
目的とするもので、フイルム状の粘着テープを一
定のピツチで間欠的に移動する間に薄板およびリ
ングを順次貼着し、かつテープをリングに沿つて
切取つていく一連の工程からなるものである。
着するとともに薄板をフイルムに貼着する作業お
よびフイルムをリングに沿つて切断する作業など
を連続して能率よく行なう方法を提供することを
目的とするもので、フイルム状の粘着テープを一
定のピツチで間欠的に移動する間に薄板およびリ
ングを順次貼着し、かつテープをリングに沿つて
切取つていく一連の工程からなるものである。
以下にこの発明の方法を添付図面に示す実施例
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
図において、１はシリコンウエハのような薄板
で第２図の例では円板状であるが、その他に円板
の一部を直線状に切除したものや四角形、三角形
などのものがある。
で第２図の例では円板状であるが、その他に円板
の一部を直線状に切除したものや四角形、三角形
などのものがある。
このような薄板１を第１図のようにマガジン２
に一定の間隔で積上げる。このマガジン２は受台
３上に載つており、受台３はユニツト化されたス
クリユージヤツキ式、ラツクピニオン式、シリン
ダ式などの昇降機構４により一定のピツチで間欠
的に下降し、最下端のものから１枚づつ送出し手
段５により取出される。
に一定の間隔で積上げる。このマガジン２は受台
３上に載つており、受台３はユニツト化されたス
クリユージヤツキ式、ラツクピニオン式、シリン
ダ式などの昇降機構４により一定のピツチで間欠
的に下降し、最下端のものから１枚づつ送出し手
段５により取出される。
送出し手段５は駆動プーリ６により第１図矢印
方向に連続駆動される無端搬送ベルト７を有し、
マガジン２が１ピツチ下ると最下段の薄板１がベ
ルト７上に載つて取出されるものであるが、図示
以外の機構のものを用いてもよい。
方向に連続駆動される無端搬送ベルト７を有し、
マガジン２が１ピツチ下ると最下段の薄板１がベ
ルト７上に載つて取出されるものであるが、図示
以外の機構のものを用いてもよい。
また、図示省略してあるが、薄板１に方向決定
用の切欠がある場合、マガジンの前方に複数の縦
の回転棒などからなる位置決め手段を設けて切欠
の前向きなどの一定の方向に修正する。
用の切欠がある場合、マガジンの前方に複数の縦
の回転棒などからなる位置決め手段を設けて切欠
の前向きなどの一定の方向に修正する。
１０は前記昇降機構４、送出し手段５などを取
付けた機台で、その上部側方には機箱１１を設け
る。
付けた機台で、その上部側方には機箱１１を設け
る。
１２，１３は機箱１１と機台１０に設けた上下
のローラで、第１図の矢印方向に間欠駆動され
る。
のローラで、第１図の矢印方向に間欠駆動され
る。
また、第４図のように機台１０に設けた巻軸１
４から引出された粘着テープ１５がガイドローラ
１６を経てローラ１３上へ導かれる。このテープ
１５は片面に粘着面を設けたポリエチレンなどの
フイルムで、粘着面を上にしてロラ１３上に向か
う。
４から引出された粘着テープ１５がガイドローラ
１６を経てローラ１３上へ導かれる。このテープ
１５は片面に粘着面を設けたポリエチレンなどの
フイルムで、粘着面を上にしてロラ１３上に向か
う。
また、機箱１１には巻軸１８と巻取軸１９を設
け、ポリエチレンフイルムなどからなる保護テー
プ２０を巻軸１８に巻き、巻軸１８から引出した
保護テープ２０をローラ１２の下側に巻いて巻取
軸１９に巻取らせるが、前記のローラ１２は機箱
１１に設けた揺動レバーなどに取付けてバネによ
りローラ１３上へ押し付ける。
け、ポリエチレンフイルムなどからなる保護テー
プ２０を巻軸１８に巻き、巻軸１８から引出した
保護テープ２０をローラ１２の下側に巻いて巻取
軸１９に巻取らせるが、前記のローラ１２は機箱
１１に設けた揺動レバーなどに取付けてバネによ
りローラ１３上へ押し付ける。
前記送出し手段５により送出された薄板１はロ
ーラ１３上の粘着テープ１５とローラ１２の下部
の保護テープ２０で挾まれてテープ１５上に粘着
される。ローラ１３，１２はゴムローラであるか
ら、保護テープ２０がない場合、万一薄板１が割
れるとその破片がローラ１２の表面に突きささ
り、つぎの薄板１の表面に傷をつけるおそれがあ
る。しかし実施例のように保護テープ２０があれ
ば破片は保護テープ２０に附着して巻取られるの
で上記のようなおそれはない。
ーラ１３上の粘着テープ１５とローラ１２の下部
の保護テープ２０で挾まれてテープ１５上に粘着
される。ローラ１３，１２はゴムローラであるか
ら、保護テープ２０がない場合、万一薄板１が割
れるとその破片がローラ１２の表面に突きささ
り、つぎの薄板１の表面に傷をつけるおそれがあ
る。しかし実施例のように保護テープ２０があれ
ば破片は保護テープ２０に附着して巻取られるの
で上記のようなおそれはない。
第２図の平面図において、２２はキヤリヤ治具
のようなリング２３のマガジンで、図示省略して
あるが、第１図に示す薄板のマガジン２とほぼ同
様の構造であり、受台３と同様の受台に載つて１
ピツチ毎に間欠的に下降するもので、図示省略し
てある駆動機構で駆動される押出部材２４により
最下端のものから間欠的に矢印方向に押出されて
ａの位置となる。
のようなリング２３のマガジンで、図示省略して
あるが、第１図に示す薄板のマガジン２とほぼ同
様の構造であり、受台３と同様の受台に載つて１
ピツチ毎に間欠的に下降するもので、図示省略し
てある駆動機構で駆動される押出部材２４により
最下端のものから間欠的に矢印方向に押出されて
ａの位置となる。
ａの位置のリング２３は例えば第３図のような
移送手段２５によりテープ切断手段２６上へ移送
する。
移送手段２５によりテープ切断手段２６上へ移送
する。
この移送手段２５は機箱１１に固定したガイド
アーム２７に沿つて送りネジなどで進退する移送
台２９と、この台２９にエアシリンダなどにより
昇降するよう取付けた吸引器３０からなつてい
る。この吸引器３０は中空でリング状の底部突出
部に多数の吸引孔を設け、吸引器３０内をフレキ
シブルチユーブ（図示省略）により、図示省略し
てある真空吸引装置に連結して、第３図のように
機台１０上のリング２３を吸着して上昇し、鎖線
の位置へ移動して下降し、テープ切断手段２６上
のテープ１５上へリング２３を下降させて吸引を
解除して上昇し、元の位置へ復帰する運動を行な
うようにする。
アーム２７に沿つて送りネジなどで進退する移送
台２９と、この台２９にエアシリンダなどにより
昇降するよう取付けた吸引器３０からなつてい
る。この吸引器３０は中空でリング状の底部突出
部に多数の吸引孔を設け、吸引器３０内をフレキ
シブルチユーブ（図示省略）により、図示省略し
てある真空吸引装置に連結して、第３図のように
機台１０上のリング２３を吸着して上昇し、鎖線
の位置へ移動して下降し、テープ切断手段２６上
のテープ１５上へリング２３を下降させて吸引を
解除して上昇し、元の位置へ復帰する運動を行な
うようにする。
切断手段２６は第３図のように機箱１１に取付
けたエアシリンダ３３で昇降するアーム３４端に
設ける。アーム３４端の下部にギヤモータ３５を
固定し、このモータ３５で旋回される旋回枠３６
上に軸３７を支点として揺動するカツタアーム３
８を取付け、このアーム３８の先端に自由回転の
円板状カツタ３９を取付けたもので、アーム３８
の先端はバネ４０により押上する。
けたエアシリンダ３３で昇降するアーム３４端に
設ける。アーム３４端の下部にギヤモータ３５を
固定し、このモータ３５で旋回される旋回枠３６
上に軸３７を支点として揺動するカツタアーム３
８を取付け、このアーム３８の先端に自由回転の
円板状カツタ３９を取付けたもので、アーム３８
の先端はバネ４０により押上する。
また、旋回枠３６の中心に固定した垂直の軸４
１の上端に円板状の押え板４２を回動自在に取付
け、この押え板４２の外周上面に円形環状のゴム
４３を取付けて旋回枠３６の下部周囲に設けた複
数の脚に押え板４２の下部周面に接するローラ４
４を設ける。
１の上端に円板状の押え板４２を回動自在に取付
け、この押え板４２の外周上面に円形環状のゴム
４３を取付けて旋回枠３６の下部周囲に設けた複
数の脚に押え板４２の下部周面に接するローラ４
４を設ける。
従つて薄板１を上面に粘着したテープ１５の移
動に伴い、薄板１が切断手段２６上にきて停止す
ると、前記のように移送手段２５が作動してリン
グ２３をテープ１５上へ載せた条件で、エアシリ
ンダ３３が作用し、アーム３４が上昇して押え板
４２上のゴム４３と吸引器３０でリング２３とテ
ープ１５を挾み、カツタ３９がテープ１５に切込
むとともにモータ３５により軸４１、旋回枠３６
が回転してリング２３の下面でテープ１５を切断
する。旋回枠３６が約２回転してテープ１５を完
全に切断したとき、モータ３５が停止し、シリン
ダ３３によりアーム３４が下り、吸引器３０も復
帰する。
動に伴い、薄板１が切断手段２６上にきて停止す
ると、前記のように移送手段２５が作動してリン
グ２３をテープ１５上へ載せた条件で、エアシリ
ンダ３３が作用し、アーム３４が上昇して押え板
４２上のゴム４３と吸引器３０でリング２３とテ
ープ１５を挾み、カツタ３９がテープ１５に切込
むとともにモータ３５により軸４１、旋回枠３６
が回転してリング２３の下面でテープ１５を切断
する。旋回枠３６が約２回転してテープ１５を完
全に切断したとき、モータ３５が停止し、シリン
ダ３３によりアーム３４が下り、吸引器３０も復
帰する。
切断後のテープ１５は第１図、第４図のように
切断手段２６の前方でローラ４５に誘導され、ガ
イドローラ４６を経て巻取軸４７に巻取られる。
従つて巻取られる粘着テープ１５には第４図のよ
うに切断により孔３２があいており、薄板１を貼
着したフイルム１５′を張つたリング２３はテー
プ１５から離れてローラ４８の下を通り、コンベ
ヤ４９上へ移動するが、ローラ４８やコンベヤ４
９は機箱１１や機台１０に取付けたものである。
切断手段２６の前方でローラ４５に誘導され、ガ
イドローラ４６を経て巻取軸４７に巻取られる。
従つて巻取られる粘着テープ１５には第４図のよ
うに切断により孔３２があいており、薄板１を貼
着したフイルム１５′を張つたリング２３はテー
プ１５から離れてローラ４８の下を通り、コンベ
ヤ４９上へ移動するが、ローラ４８やコンベヤ４
９は機箱１１や機台１０に取付けたものである。
第１図の５１は前記のように薄板１、フイルム
１５′を張つたリング２３を収納するマガジンで
ある。このマガジン５１は前記各マガジン２，２
２とほぼ類似するもので、適宜のユニツト化され
た昇降機構５２により昇降される受台５３上に載
り、コンベヤ４９上を移動したきたリング２３が
マガジン５１内に１枚入る毎に受台５３が１ピツ
チ上昇する。
１５′を張つたリング２３を収納するマガジンで
ある。このマガジン５１は前記各マガジン２，２
２とほぼ類似するもので、適宜のユニツト化され
た昇降機構５２により昇降される受台５３上に載
り、コンベヤ４９上を移動したきたリング２３が
マガジン５１内に１枚入る毎に受台５３が１ピツ
チ上昇する。
この発明は上記のようにフイルム状の粘着テー
プを粘着面を上にして長手方向に間欠的に移動さ
せ、送出し手段により１枚づつ送出される薄板
を、前記粘着テープとその上方において、粘着テ
ープと同様に間欠的に移動している保護テープ間
に挾み、この両テープを上下のローラにより圧着
して、粘着テープ上に薄板を貼着したのち、保護
テープは粘着テープおよび薄板から剥離して巻取
ローラによる巻取る工程と、薄板を貼着した粘着
テープ上にリングを供給して、このリングを薄板
の外側を囲む位置として粘着テープ上に貼着し、
ついで、リングの下面において、テープをリング
に沿つて切り離し、薄板を貼着したフイルムを張
つたリングは適宜回収し、残りの孔あきテープは
適宜巻取る工程とからなるものであるから、送出
し手段から送出された薄板の粘着テープ上への貼
着や、こうして貼着された薄板を囲むリングの貼
着が人手によらず自動的に行なえるが、薄板の貼
着時には保護フイルムを用いて薄板が割れたさい
に破片がローラにささらないようにしたので、そ
の後に続く薄板に疵が付かないという効果があ
る。さらに、これらの貼着はローラ間に張られた
テープ上において行なわれ、しかもリングの下面
において、切断手段が作用してテープをリングに
張つたまま切断するので切断がきわめて正確に行
なえ、かつフイルムに皺が生じない。さらに切断
後の孔のあいたテープは巻取りローラにより巻取
られるので切断後のテープの処分が容易であるな
どの効果がある。
プを粘着面を上にして長手方向に間欠的に移動さ
せ、送出し手段により１枚づつ送出される薄板
を、前記粘着テープとその上方において、粘着テ
ープと同様に間欠的に移動している保護テープ間
に挾み、この両テープを上下のローラにより圧着
して、粘着テープ上に薄板を貼着したのち、保護
テープは粘着テープおよび薄板から剥離して巻取
ローラによる巻取る工程と、薄板を貼着した粘着
テープ上にリングを供給して、このリングを薄板
の外側を囲む位置として粘着テープ上に貼着し、
ついで、リングの下面において、テープをリング
に沿つて切り離し、薄板を貼着したフイルムを張
つたリングは適宜回収し、残りの孔あきテープは
適宜巻取る工程とからなるものであるから、送出
し手段から送出された薄板の粘着テープ上への貼
着や、こうして貼着された薄板を囲むリングの貼
着が人手によらず自動的に行なえるが、薄板の貼
着時には保護フイルムを用いて薄板が割れたさい
に破片がローラにささらないようにしたので、そ
の後に続く薄板に疵が付かないという効果があ
る。さらに、これらの貼着はローラ間に張られた
テープ上において行なわれ、しかもリングの下面
において、切断手段が作用してテープをリングに
張つたまま切断するので切断がきわめて正確に行
なえ、かつフイルムに皺が生じない。さらに切断
後の孔のあいたテープは巻取りローラにより巻取
られるので切断後のテープの処分が容易であるな
どの効果がある。
第１図はこの発明方法を実施する装置の一例を
示す正面図、第２図は同上の平面図、第３図は第
１図Ａ―Ａ線の拡大縦断側面図、第４図は要部の
斜視図である。 １…薄板、５…送出し手段、１４，１８…巻
軸、１５…テープ、１５′…フイルム、１９，４
７…巻取軸、２０…保護テープ、２３…リング、
２６…テープ切断手段。
示す正面図、第２図は同上の平面図、第３図は第
１図Ａ―Ａ線の拡大縦断側面図、第４図は要部の
斜視図である。 １…薄板、５…送出し手段、１４，１８…巻
軸、１５…テープ、１５′…フイルム、１９，４
７…巻取軸、２０…保護テープ、２３…リング、
２６…テープ切断手段。
Claims (1)
- １ フイルム状の粘着テープを粘着面を上にして
長手方向に間欠的に移動させ、送出し手段により
１枚づつ送出される薄板を、前記粘着テープとそ
の上方において、粘着テープと同様に間欠的に移
動している保護テープ間に挾み、この両テープを
上下のローラにより圧着して、粘着テープ上に薄
板を貼着したのち、保護テープは粘着テープおよ
び薄板から剥離して巻取ローラにより巻取る工程
と、薄板を貼着した粘着テープ上にリングを供給
して、このリングを薄板の外側を囲む位置として
粘着テープ上に貼着し、ついでリングの下面にお
いて、テープをリングに沿つて切り離し、薄板を
上面に貼着し粘着テープから切離されたフイルム
を張つたリングは適宜回収し、残りの孔あきテー
プは適宜巻取る工程とからなる薄板とリングの貼
着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58148550A JPS6038897A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 薄板とリングの貼着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58148550A JPS6038897A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 薄板とリングの貼着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6038897A JPS6038897A (ja) | 1985-02-28 |
| JPS6337018B2 true JPS6337018B2 (ja) | 1988-07-22 |
Family
ID=15455263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58148550A Granted JPS6038897A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 薄板とリングの貼着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6038897A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0725463B2 (ja) * | 1986-07-02 | 1995-03-22 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| JPH01209262A (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-23 | Shin Nippon Koki Kk | テープの横ずれ防止方法およびその装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5938278B2 (ja) * | 1976-09-24 | 1984-09-14 | 株式会社日立製作所 | 物品の貼着方法 |
| JPS55128817A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-06 | Hitachi Ltd | Device for bonding piece on tape |
| JPS5839846U (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-16 | 東芝機械株式会社 | テ−プ自動貼付装置 |
-
1983
- 1983-08-11 JP JP58148550A patent/JPS6038897A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6038897A (ja) | 1985-02-28 |
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