JPS6338237A - 半導体試験装置 - Google Patents
半導体試験装置Info
- Publication number
- JPS6338237A JPS6338237A JP61181423A JP18142386A JPS6338237A JP S6338237 A JPS6338237 A JP S6338237A JP 61181423 A JP61181423 A JP 61181423A JP 18142386 A JP18142386 A JP 18142386A JP S6338237 A JPS6338237 A JP S6338237A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tested
- light
- circuit
- sensor
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔）既要〕
半導体自動試験装置（通称オートハンドラー）には試験
する半導体装置を、その方向を一定ＪＪ向に揃えてガイ
ｌ−レールにより供給しているが、この方向が時に逆向
きのものが混入することがあるので、これを光センサー
で検出する。
する半導体装置を、その方向を一定ＪＪ向に揃えてガイ
ｌ−レールにより供給しているが、この方向が時に逆向
きのものが混入することがあるので、これを光センサー
で検出する。
本発明は半導体試験装置に係わり、詳しく番よ逆向き供
給の被験体を検出する方法を有する半導体試験装置に関
する。
給の被験体を検出する方法を有する半導体試験装置に関
する。
集積回路のセラミソクパノろ−シのＤＩＰ型のものはパ
ッケージ方向を指示するため方向表示溝を有し、これを
みて向きを揃え、試験ボートに供給されたのら外部端子
をｉｍじて規定の試験がなされる。このときパッリ゛−
ジは一応、一定方向にｌｉｆえたものが供給されるが、
時に逆向きのものが混入することがあり、このときは、
これもそのまま試験ボートに入り、不良と判定される。
ッケージ方向を指示するため方向表示溝を有し、これを
みて向きを揃え、試験ボートに供給されたのら外部端子
をｉｍじて規定の試験がなされる。このときパッリ゛−
ジは一応、一定方向にｌｉｆえたものが供給されるが、
時に逆向きのものが混入することがあり、このときは、
これもそのまま試験ボートに入り、不良と判定される。
また、場合によっては半導体装置を破壊することもある
。
。
本発明は試験ボートに入る前のガイドレールｌ−で逆向
きの被験体を検出する構ｉＷのものを（に供しようとす
るものである。
きの被験体を検出する構ｉＷのものを（に供しようとす
るものである。
第３図は従来例におＬＪる被験体供給部の斜視図である
。
。
１は被験体のセラミックパッケージのＤＩＰ型集積回路
で、傾斜したガイドレール３の−にに、一列に並んで外
部端子で挟むようにして跨乗していて、滑動しながら１
個づつ間歇的に送られていく。
で、傾斜したガイドレール３の−にに、一列に並んで外
部端子で挟むようにして跨乗していて、滑動しながら１
個づつ間歇的に送られていく。
パッケージの外部端子のない一側面には縦に半円形のノ
ｊ向表示溝２があり、これを例えば前なら前と、全部の
被験体１が一定方向になるように揃えて試験ボー１に送
り込む。
ｊ向表示溝２があり、これを例えば前なら前と、全部の
被験体１が一定方向になるように揃えて試験ボー１に送
り込む。
しかしながら、ときには逆向きのものが混入することが
あるが、これを検査する機能も、また排除する機能も有
していないので、この逆向きのものは不良と判定される
か、場合によっては半導体装置に無理な電圧がかかり、
内部素子の破壊にいたることもある。
あるが、これを検査する機能も、また排除する機能も有
していないので、この逆向きのものは不良と判定される
か、場合によっては半導体装置に無理な電圧がかかり、
内部素子の破壊にいたることもある。
従来の被験体供給部に逆向き検査機能を付加す〔問題点
を解決するための手段〕 」二記問題点の解決は、半導体試験袋［η本体へ方向表
示溝（２）を有する被験体（１）を一列に並べてイバ給
するガ・イドレール（３）を有し、このガイ１ルール（
３）の途中に被験体 （１）の方向表示溝（２）に光を
投射し、この部を通り抜けで来る光を受光して、被験体
（１）の方向を検出する光セン→Ｊ゛−（４）を有する
本発明による半導体試験装置により達成される。
を解決するための手段〕 」二記問題点の解決は、半導体試験袋［η本体へ方向表
示溝（２）を有する被験体（１）を一列に並べてイバ給
するガ・イドレール（３）を有し、このガイ１ルール（
３）の途中に被験体 （１）の方向表示溝（２）に光を
投射し、この部を通り抜けで来る光を受光して、被験体
（１）の方向を検出する光セン→Ｊ゛−（４）を有する
本発明による半導体試験装置により達成される。
ガイドレール上に並んだ被験体の方向表示溝に光を投射
し、これを受光することにより被験体の方向を検査する
。
し、これを受光することにより被験体の方向を検査する
。
第１図は本発明における被験体供給部の斜視図である。
この図において、第３図と同し名称のものは同じ符号で
示す。
示す。
Ｉ目セラミックパッケージのＤＩＰ型集積回路の被験体
で、傾斜したガイドレール３の上に、一列に並−１て滑
動しながら１個づつ間歇的に送られていく。パッケージ
の半円形の方向表示溝２に対して、この溝を透過するよ
うに下方からセンサー４の投光器より光が投射される。
で、傾斜したガイドレール３の上に、一列に並−１て滑
動しながら１個づつ間歇的に送られていく。パッケージ
の半円形の方向表示溝２に対して、この溝を透過するよ
うに下方からセンサー４の投光器より光が投射される。
この透過光を受ける上方位置にセンソ゛−４の受光器を
設置し、受光状態により被験体の方向の正逆を判定する
。
設置し、受光状態により被験体の方向の正逆を判定する
。
特に限定するものではないが、投光、受光関係について
、第２図により更に詳しく説明する。
、第２図により更に詳しく説明する。
第２図は本発明における１実施例の方向検出部断面模式
図である。
図である。
この図において、ｌは被験体で、２はこの被験体１の側
面に縦方向に設けた方向表示溝である。
面に縦方向に設けた方向表示溝である。
３はガイドレールで、この上を被験体１は、１個分の長
さだけ間歇的に送られ、停止位置は何れの被験体も一定
している。
さだけ間歇的に送られ、停止位置は何れの被験体も一定
している。
４はセン１ナーの投光器で、上方に光を投光し、この光
が被験体１の方向表示溝２を通りぬけて」一方のセンサ
ー４の受光器で受光される。光の通る所はガイドレール
３に孔を勿論設ける。また、６はカバーで、正規方向に
向いた被験体１の方向表示溝２を通゛る光のみを受光し
、逆方向に向いた被験体１のものは遮るためのものであ
る。また、５ばシャッターで、被験体１が移動中は遮光
位置にあり、停止時に受光出来るようにするもので、被
験体１が移動するとき、隣同志の被験体１の間に隙間が
おいてセンサー４の受光器に余分の光が入る恐れがある
ので、これを防＋ｌ−するためのものである。
が被験体１の方向表示溝２を通りぬけて」一方のセンサ
ー４の受光器で受光される。光の通る所はガイドレール
３に孔を勿論設ける。また、６はカバーで、正規方向に
向いた被験体１の方向表示溝２を通゛る光のみを受光し
、逆方向に向いた被験体１のものは遮るためのものであ
る。また、５ばシャッターで、被験体１が移動中は遮光
位置にあり、停止時に受光出来るようにするもので、被
験体１が移動するとき、隣同志の被験体１の間に隙間が
おいてセンサー４の受光器に余分の光が入る恐れがある
ので、これを防＋ｌ−するためのものである。
以上のように、被験体Ｉの方向をセンサー４で検査する
ことができれば、この結果により逆向きのものは試験ボ
ートに入るまでに、ガイ１ル−ル３の上で取り出すこと
も容易に出来る。
ことができれば、この結果により逆向きのものは試験ボ
ートに入るまでに、ガイ１ル−ル３の上で取り出すこと
も容易に出来る。
以上詳細に説明したように本発明によれば、半導体自動
試験装置に被験体を供給するとき、逆向きのものを光セ
ンサーで検出することにより、試験ボートに逆挿入して
良品を不良とミス判定することも防止できるし、また破
壊することもなくなる。
試験装置に被験体を供給するとき、逆向きのものを光セ
ンサーで検出することにより、試験ボートに逆挿入して
良品を不良とミス判定することも防止できるし、また破
壊することもなくなる。
第１図は本発明における被験体（Ｊｌｉ給部の斜視図、
第２図は本発明における１実施例の方向検出部断面模式
図、 第３図は従来例における被験体供給部の斜視図である。 図において、 Ｉは被験体、 ２は方向表示溝、３はガイド
レール、 ４はセンサー（投光器）、 ４はセンサー（受光器）、
第２図は本発明における１実施例の方向検出部断面模式
図、 第３図は従来例における被験体供給部の斜視図である。 図において、 Ｉは被験体、 ２は方向表示溝、３はガイド
レール、 ４はセンサー（投光器）、 ４はセンサー（受光器）、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 半導体試験装置本体へ方向表示溝（２）を有する被験体
（１）を一列に並べて供給するガイドレール（３）を有
し、 このガイドレール（３）の途中に被験体（１）の方向表
示溝（２）に光を投射し、この部を通り抜けて来る光を
受光して被験体（１）の方向を検出する光センサー（４
）を有する ことを特徴とする半導体試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61181423A JPS6338237A (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 半導体試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61181423A JPS6338237A (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 半導体試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338237A true JPS6338237A (ja) | 1988-02-18 |
Family
ID=16100513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61181423A Pending JPS6338237A (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 半導体試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338237A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0477249U (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-06 | ||
| CN112974284A (zh) * | 2021-04-15 | 2021-06-18 | 四川明泰微电子有限公司 | 一种集成ic检测系统 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61230020A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | パツケ−ジの位置決め装置 |
-
1986
- 1986-08-01 JP JP61181423A patent/JPS6338237A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61230020A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | パツケ−ジの位置決め装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0477249U (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-06 | ||
| CN112974284A (zh) * | 2021-04-15 | 2021-06-18 | 四川明泰微电子有限公司 | 一种集成ic检测系统 |
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