JPS63462A - 媒体に対する電子流の入射点の基準値を定める装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はるつぼ内の媒体に対する電子流の入射点の基準
値を定める装置に関する。

［従来の技術］ エネルギーの大きな電子流を加熱、融解、又は気化させ
るべき金属等の材料に入射した時に加熱、融解または気
化を生じる。この場合に所定の目的を達するためには、
電子流を所定の位置に導く必要がある。

電子流の位置ぎめのためには、電界又は磁界の作用によ
って偏向させ、電界等の変化は電子流の位置の変化とな
る。特に好運な実施容易な例は、位置ぎめは調整可能の
電流を偏向用磁界に供給する。この調整は通常は手動で
行い、作業者が電子銃の窓から観察して２個のｘ、ｙ位
置用のポテンシオメータを操作して所定位置とする。

るつぼ内の媒体の多数の点に順次電子流を入射すべき場
合は、手動調整は極めて煩雑で更に、この場合に電子流
を個／／の場所で夫々異なる滞留時間とする必要がある
。

この異なる滞留時間は所定の用途の場合に必要であり、
例えば、多数の蒸発源の表面に夫々の蒸発るつぼの内容
物を形成すべき場合であり、電子流を所定の表面設計で
るつぼ内容物の表面に入射させる（ＤＥ−Ｏ８２８１２
２８５号）。この種の装置で負荷供給を電子流によって
簡単な方法で行うためには、負荷供給をビームダイアグ
ラムの形式としてスクリーン上に表示することは既知で
ある（ＤＥ−Ｏ３３３３００９２号）。この場合に、ビ
ームダイアグラムのビームは光ペンによって変更可能で
ある。スクリーンへの表示はこの場合に平面又は空間内
の所定の座標に基づ（表示ではない。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の目的は、媒体表面に対する電子流の各種基準位
置を簡単な方法で予め定め、この基亭位置は自動的順次
に電子流を導くようにする。

［問題点を解決するための手段及び作用１上述の問題点
を解決するための本発明による媒体に対する電子流の入
射点の基準値を定める装置は特許請求の範囲第１項に記
載される。

本発明による利点は、電子流をるつぼ内の材料の表面の
各種の点に自動的に正確に制御することにあり、更に、
夫々の点に夫々の滞留時間に鉗子子制御する。電子流の
循環時間即ち再び最初の点に戻るまでの時間は著しく短
い。

［実　施　例１ 本発明を例示とした実施例並びに図面について説明する
。

第１図は偏向装置２付きの電子銃１とるつぼ３を示す。

るつぼ３内の媒体４は電子流によって加熱される。それ
故、電子流５は点Ｐ、　　、　　Ｐ２　・・・Ｐ８に順
次向ける制御とし、Ｐ、〜Ｐ８　のサイクルを多数回行
う。

第２図はるつぼの拡大平面図を示す。電子流を順次向け
る点Ｐ、・・・Ｐ８　を示す。この点に、その位置のｘ
、ｙ座標、例えばＸ＋　　、　　Ｖ＋　　を示し、Ｘ−
ｙ偏向装置２によって制御する。更に、各点Ｐ。

・・・Ｐ８　は電子流５の夫々の滞留時間を有する。電
子流がＰｌ　　からＰ２　に動く時に、座標指令Ｘ２　
　＋ｙ２　に従ってＰ２　に向ける。即ち、ｘ−ｙ偏向
装置２は電流１ｘ、Ｉｙを生じ、電子流５を斜方向にＰ
２　に向けて制御する。電子流５がＰ、　　、　　Ｐ２
　間を動くに必要とする時間ｔｓ＋　　は実施上は偏向
装置２の誘導性によって制限される。電流１ｘ、Ｉｙが
定まれば、電子流５、点Ｐ２　に正確には停止せず、例
えば点Ｐ２′に停止する。このため、誤差ΔＳを生ずる
。この誤差ΔＳは、基準値現在値制御装置によって補正
し、電子流５は正確に点２に停止する。

このため、点Ｐ、から点Ｐ２　　までの電流案内の連続
制御はないが、次に電子流５は直接Ｐ２　から制御され
、第１に小さな誤差ΔＳに関して調整される。この調整
時間は短い。

この過程を電流の動き、Ｐ２　からＰ３　へ、Ｐ３から
Ｐ４　へ、について順次行う。

電子流５の点Ｐ、からＰ８　までの第１の循環の間の点
Ｐ２．Ｐ３　・・・における滞留時間ｔｖ＋　　、　　
ｔＶ２・・・は満足な滞留時間ではな（、基準値に対し
て例えばｔｏｏｏｏ倍である。

電子流５の第２の循環の時の滞留時間ｔｖ＋　　。

ｔｖ２　　・・・ｔｖｅ　　は正しい基準値の１０００
倍程度であり、結局は電子流基準位置は実際の滞留時間
によって保持される。

この構成においては、電子流５の各循環に際して、基準
位置Ｐ、　　、　　Ｐ２　・・・Ｐ８　は夫々の電流位
置の小さな修正を必要とする。

第３図は本発明の原理的表示であり、偏向装置２付きの
電子銃１を示す。電子銃１の下にるつぼ３を設け、るつ
ぼの内容物４に電子流を導く。つるぼ３のそばに現在位
置検出器６を設け、電子流５の作用点を検出する。この
検出器６はドイツ特許願Ｐ３４４２２０７．２号に記載
したレントゲン流検出器を使用することができる。

この検出器６から、記憶装置７及びマイクロ計算機８に
接続し、計算機８はモニター９及びＸ偏向装置１０、ｙ
偏向装置１１に接続する。ｘ、ｙ偏向装置は偏向装置２
に接続する。

モニター９はスクリーン１２を有し、スクリーン１２内
にるつぼ範囲１３を輪郭１３’　　として表示する。光
ペン１４は導線１５に接続されて、輪郭１３′内に基準
位置を表示できる。

この光ペンは前端にセンサを取付け、これによってモニ
ター９の電子流の衝突を検出することができる。電子流
５をるつぼ範囲１３内の所定の基準位置とするためには
、るつぼ範囲１３の輪郭１３′　　内に基準位置を光ペ
ン１４の先端で記入することができる。

先端は所定の基準位置を定め、モニター９の図示しない
電子流が短い相対間隔のパルスによるスクリーン１２を
バンド状走査するために保持される。このパルスは光ペ
ン１４をマイクロ計算機８に接続する。マイクロ計算機
は輪郭１３′　　内の光ベン１４の先端の位置を正確に
定めることができる。光ペン１４から供給されたパルス
はモニター９の電子流が光ペンの先端に生じた一間を定
める。この時間情報を参照してモニター電子流の夫々の
行と列方向の偏向を質関し、モニター電子流のｘ、ｙ座
標を認識することができる。モニター電子流の停止点の
マイクロ計算機８から発生するｘ、ｙ座標は電子流５の
位置の基準値を代表し、記憶装置７又はマイクロ計算機
８自体内に記憶される。

この方法によって、光ペン１４を使用して、順次に多数
の位置を指定し、記憶させ、はぼ第２図に示す配置とす
る。基準位置Ｐ、・・・Ｐ８　は他の字数の基準位置、
例えば６４ｆｌＪの代表とする。更に、第３図には示さ
ない装置によって、各基準位置での滞留時間ｔｖ＋　　
・・・ｔｖｅ　　を指定する。

この滞留時間の指定は、例えばマイクロ計算機８のキー
ボードに夫々の滞留時間を指定し、光ベン１４の先端が
スクリーン１２上に停止した時に″入り”キーを押す。

基準位置Ｐ、・・・ＰＩＩ　　と、夫々の滞留時間ｔｖ
＋・・・ｔｖｓ　　が記憶されれば、電子流５はマイク
ロ計算機８、ｘ、ｙ偏向装置１０．１１、偏向装置２を
介して所定の位置に制御される。基準位置の正確な制御
のためには、電子流の現在位置を検出器６によって検出
し、紀１意装置７又は直接マイクロ計算機８に供給する
。調整回路によって電子流は現在位置から基準位置に動
かされる。この調整回路を第４図に示し、×１ヶ置調整
、のみを示す。ｙ位置調整は同様に行う。第４図では、
モニター９と記憶装置７は省略し、調整回路の理解には
必要でない。

第４図に示す通り、検出器６は電子流５の目標材料４に
対する入射点の現在位置Ｐ　ｉｓｔ　を減算器１６に供
給し、マイクロ計算機８から減算器１６に供給された基
準位置Ｐ　５ｏｌｌ　　と現在値Ｐ　ｉＳｔ　　と比較
、減算する。現在位置と基準位置との偏差へＰは加算器
１７に供給し、この出力信号を電子流調整装置１８に導
き、コイル１９と抵抗２０によってＸ偏向装置１０に影
響を与える。

電子流の現在値ｌ　ｉｓｔ　はコイル１９を流れ、減算
器２１に供給され、ここでマイクロ計算機８からの電流
基準値１５ｏｉｌと比較し、減算する。偏差ΔＩは加算
器１７に供給されて出力信号は調整装置１８のＩ＋ｏ算
側に供給される。

マイクロ計算機８は２種の別個の基準値を記憶する。一
方は所定数の点の電流値であり、他方はこの点のｘ、ｙ
座標値である。

最初の電子流５の位置ぎめに際しては、基や電流値１　
ｓａｌ＋のみを定め、位置現在値、基準値は供給しない
。位置信号が供給されれば、ΔＩ、Δ■）によって修正
を開始する。

【図面の簡単な説明】

第１図はるつぼとるつぼ上の電子銃を示す図、第２図は
るつぼの拡大平面図、第３図は本発明装置のブロック線
図、第４図は第３図の回路の位置調整回路のブロック線
図である。 １・・・電子銃 ２・・・偏向装置 ３・・・るつぼ ４・・・媒体 ５・・・電子流 ６・・・検出器 ７・・・記憶装置 ８・・・マイクロ計算機 １０．１１・・・ｘ、ｙ偏向装置 １２・・・スクリーン １６．２１・・・減算器 １７・・・加算２コ １８・・・調整装置 １９・・・コイル ２０・・・抵抗

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. （１）るつぼ内の媒体に対する電子流の入射点の基準値
   を定める装置であって、 スクリーン１２を設け、スクリーン上に るつぼ３の輪郭１３を画き、画いたるつぼ 輪郭１３内に電子流５の１個以上の基準位 置（Ｐ＿１・・・Ｐ＿８）の決定を可能とすることを特
   徴とする媒体に対する電子流の入射位 置を定める装置。
2. （２）各基準位置（Ｐ＿１・・・Ｐ＿８）での電子流の
   滞留時間（ｔｖ＿１・・・ｔｖ＿８）を定める特許請求
   の範囲第１項記載の装置。
3. （３）基準位置（Ｐ＿１・・・Ｐ＿８）の決定は光ペン
   １４によって行う特許請求の範囲第１項記 載の装置。
4. （４）スクリーン１２に結合した記憶装置７、８を設け
   てるつぼ３の輪郭１３を記憶させ る特許請求の範囲第１項記載の装置。
5. （５）電子流５の入射点の現在位置を定める装置６を設
   ける特許請求の範囲第１項記載の 装置。
6. （６）偏向装置２、１０、１１を設け、磁界又は電界に
   よって媒体４に対する電子流５の 入射点を制御する特許請求の範囲第１項記 載の装置。
7. （７）スクリーン１２上に電子流５の夫々の現在位置を
   表示する特許請求の範囲第１項記 載の装置。
8. （８）るつぼ３の輪郭１３をティーチイン法によって得
   る特許請求の範囲第４項記載の装 置。
9. （９）長方形るつぼの輪郭の決定に際して、電子流５を
   手動でるつぼ隅に導き、計算装置 ８が各隅位置間の直線補間によって全体の 輪郭を得る特許請求の範囲第４項記載の装 置。
10. （１０）偏向装置２、１０、１１の夫々の偏向流によっ
    て示されたｘ、ｙ基準位置の直接供 給によって電子流５が直接に基準位置に少 なくとも近接して制御される特許請求の範 囲第６項記載の装置。
11. （１１）電子流５は直接ｘ、ｙ位置に導かれた後に調整
    装置によって正確なｘ、ｙ基準位置 に導かれ、この場合に現在値検出器６の供 給する信号が基準値と比較されて電子流５ がｘ′、ｙ′位置からｘ、ｙ位置に動かさ れる特許請求の範囲第１０項記載の装置。
12. （１２）電子流５の複数の入射点（Ｐ＿１・・・Ｐ＿８
    ）を基準値として記憶し、この入射点（Ｐ＿１・・・Ｐ
    ＿８）に順次電子流を制御し、すべての点の制御のため
    時間Ｔを必要とする特許請 求の範囲第１項記載の装置。
13. （１３）基準位置（Ｐ＿１・・・Ｐ＿８）の決定後に夫
    々の基準位置での滞留時間（ｔｖ＿１・・・ｔｖ＿８）
    を定め、最初に１０＾４ｔｖ＿１・・・ｔｖ＿８で循環
    させ、基準位置（Ｐ＿１・・・Ｐ＿８）の縦横座標（ｘ
    、ｙ）に関する電流値を磁気偏向装 置２、１０、１１によって修正する特許請 求の範囲第１項記載ないし第１２項記載の １項記載の装置。
14. （１４）位置循環１６の最初の修正過程の終了後に滞留
    時間を１０＾３ｔｖ＿１・・・ｔｖ＿８とする特許請求
    の範囲第１３項記載の装置。
15. （１５）位置循環１６の第２の修正過程の終了後に夫々
    の滞留時間を１０＾２ｔｖ＿１・・・ｔｖ＿８とする特
    許請求の範囲第１４項記載の装 置。