JPS6349285A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPS6349285A JPS6349285A JP61192330A JP19233086A JPS6349285A JP S6349285 A JPS6349285 A JP S6349285A JP 61192330 A JP61192330 A JP 61192330A JP 19233086 A JP19233086 A JP 19233086A JP S6349285 A JPS6349285 A JP S6349285A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaned
- rotating brush
- dust
- cleaning
- vacuum chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、液晶ディスプレイ基板等の表面を洗浄する洗
浄装置に関するものである。
浄装置に関するものである。
従来の技術
機械的な洗浄装置には、第６図に示すように回転ブラシ
１２を回転させながら、同時に洗浄液を吹き付けて、塵
１３等の付着物を除去する方法は一般に行なわれている
。
１２を回転させながら、同時に洗浄液を吹き付けて、塵
１３等の付着物を除去する方法は一般に行なわれている
。
発明が解決しようとする問題点
しかし、精密洗浄の領域においては回転ブラシと被洗浄
物の位置の関係や洗浄方向を充分に考慮しないと第６図
に示すごとく洗浄することにより一旦除去された塵１３
が、回転ブラシ１２の回転により巻き上げられたのち、
被洗浄物１１の上に降り再付着する。
物の位置の関係や洗浄方向を充分に考慮しないと第６図
に示すごとく洗浄することにより一旦除去された塵１３
が、回転ブラシ１２の回転により巻き上げられたのち、
被洗浄物１１の上に降り再付着する。
そこで本発明は、被洗浄物の表面に付着した塵を効率よ
く除去するとともに、−旦除去された塵が再付着するの
を防ぐようにするものである。
く除去するとともに、−旦除去された塵が再付着するの
を防ぐようにするものである。
問題点を解決するための手段
問題点を解決する技術的な手段は、被洗浄物を吸着する
バキュームチャックと、被洗浄物を洗浄する回転ブラシ
と、洗浄液を供給する噴射ノズルと、前記回転ブラシに
より、被洗浄物を洗浄した時に排出された塵が、前記回
転ブラシの回転により、巻き上げられるのを防ぐ遮蔽板
とを備え、前記バキュームチャックに吸着した被洗浄物
を前記回転ブラシの回転方向に対して逆の方向に移送す
るようにしたものである。
バキュームチャックと、被洗浄物を洗浄する回転ブラシ
と、洗浄液を供給する噴射ノズルと、前記回転ブラシに
より、被洗浄物を洗浄した時に排出された塵が、前記回
転ブラシの回転により、巻き上げられるのを防ぐ遮蔽板
とを備え、前記バキュームチャックに吸着した被洗浄物
を前記回転ブラシの回転方向に対して逆の方向に移送す
るようにしたものである。
作 用
上記のように構成すると、洗浄物に付着している塵を良
好に除去することができ、また、洗浄物を洗浄したとき
に巻き上げられる塵を遮蔽板で防ぐことができるので被
洗浄物を良好に洗浄することができるものである。
好に除去することができ、また、洗浄物を洗浄したとき
に巻き上げられる塵を遮蔽板で防ぐことができるので被
洗浄物を良好に洗浄することができるものである。
実施例
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図において、３は被洗浄物を吸着するバキュームチ
ャックで、このバキュームチャック３に吸着した被洗浄
物４を回転ブラシ２の上側に配置しである。又、前記バ
キュームチャック３に吸着した被洗浄物４を、前記回転
ブラシ２の回転方向８に対し逆の方向９に移送し前記回
転ブラシ２により機械的に洗浄している。
ャックで、このバキュームチャック３に吸着した被洗浄
物４を回転ブラシ２の上側に配置しである。又、前記バ
キュームチャック３に吸着した被洗浄物４を、前記回転
ブラシ２の回転方向８に対し逆の方向９に移送し前記回
転ブラシ２により機械的に洗浄している。
洗浄液を噴射する噴射ノズル１を前記被洗浄物の移送方
向９の対向する側に備え、前記被洗浄物と回転ブラシの
接する方向に洗浄液１０を噴射している。又、前記回転
ブラシ２により排出された塵６が、前記回転ブラシ２の
回転によシ、巻き上げられるのを防ぐ、遮蔽板５を、前
記洗浄液を噴射する噴射ノズル１の側に備えている。
向９の対向する側に備え、前記被洗浄物と回転ブラシの
接する方向に洗浄液１０を噴射している。又、前記回転
ブラシ２により排出された塵６が、前記回転ブラシ２の
回転によシ、巻き上げられるのを防ぐ、遮蔽板５を、前
記洗浄液を噴射する噴射ノズル１の側に備えている。
以上のごとく、被洗浄物４を、回転ブラシ２の回転と逆
の方向に移送することにより、効率よく前記被洗浄物４
に付着している塵を除去し排出するとともに、−旦除去
した塵６を再付着させないようにしている。
の方向に移送することにより、効率よく前記被洗浄物４
に付着している塵を除去し排出するとともに、−旦除去
した塵６を再付着させないようにしている。
すなわち、第１図に示すごとく回転ブラシ２０回転によ
り巻き上げられる塵６を遮蔽する遮蔽板５を備え、前記
回転ブラシ２の回転方向８に対して逆の方向９に被洗浄
物１を移送することにより、−旦除去した塵１が前記遮
蔽板５によシ遮蔽されるため被洗浄物の洗浄済面１２側
の上に降り再付着するのが防げる。
り巻き上げられる塵６を遮蔽する遮蔽板５を備え、前記
回転ブラシ２の回転方向８に対して逆の方向９に被洗浄
物１を移送することにより、−旦除去した塵１が前記遮
蔽板５によシ遮蔽されるため被洗浄物の洗浄済面１２側
の上に降り再付着するのが防げる。
更に第２図に示すごとく、バキュームチャック３に吸着
した被洗浄物４を回転ブラシ２の上側に配置することに
より、前記回転ブラシ２により除去された塵６が矢印の
方向、すなわち、下方に排出されるので、−旦除去され
た塵６が再び被洗浄物４に付着するのが防げる。
した被洗浄物４を回転ブラシ２の上側に配置することに
より、前記回転ブラシ２により除去された塵６が矢印の
方向、すなわち、下方に排出されるので、−旦除去され
た塵６が再び被洗浄物４に付着するのが防げる。
又、回転ブラシ２の回転方向に対し逆方向に被洗浄物４
を移送することにより、第３図に示すごとく、被洗浄物
４に付着している塵６を前記回転ブラシ２のブラシ７に
よシ効率よくかき落すことができる。
を移送することにより、第３図に示すごとく、被洗浄物
４に付着している塵６を前記回転ブラシ２のブラシ７に
よシ効率よくかき落すことができる。
更に、第４図に示すごとく、バキュームチャック３の吸
着面に被洗浄物４の厚みと同じたけ、被洗浄物４を嵌め
込むことにより、第５図に示すごとく、被洗浄物４のエ
ッヂに前記回転ブラシ２のブラシ７が引っ掛かるのが防
げ、その結果により安定した洗浄ができる。
着面に被洗浄物４の厚みと同じたけ、被洗浄物４を嵌め
込むことにより、第５図に示すごとく、被洗浄物４のエ
ッヂに前記回転ブラシ２のブラシ７が引っ掛かるのが防
げ、その結果により安定した洗浄ができる。
尚、前記バキュームチャックの吸着面に被洗浄物の厚み
と同じだけ嵌め込むが、実験の結果、被洗浄物の厚みに
対し±０．３ＭＭ程度が適当な範囲といえる。
と同じだけ嵌め込むが、実験の結果、被洗浄物の厚みに
対し±０．３ＭＭ程度が適当な範囲といえる。
発明の効果
以上のように本発明は、塵の除去を効率的に行うことが
でき、回転ブラシにより、−旦除去した塵が回転ブラシ
の回転により巻き上げられるのを防ぐ、遮蔽板を備えた
ことにより、前記塵が被洗浄物の表面に再付着するのを
防ぐ効果がある。
でき、回転ブラシにより、−旦除去した塵が回転ブラシ
の回転により巻き上げられるのを防ぐ、遮蔽板を備えた
ことにより、前記塵が被洗浄物の表面に再付着するのを
防ぐ効果がある。
なお、バキュームチャックの吸着面に被洗浄物の厚みと
同じだけ嵌め込むようにすれば、回転ブラシのブラシが
前記被洗浄物のエッヂに引っ掛かるのを防ぎ、その結果
、安定した洗浄ができる効果がある。
同じだけ嵌め込むようにすれば、回転ブラシのブラシが
前記被洗浄物のエッヂに引っ掛かるのを防ぎ、その結果
、安定した洗浄ができる効果がある。
第１図は本発明の一実施例における洗浄装置の側面図、
第２図は同地の実施例における洗浄装置の側面図、第３
図、第４図、第５図は同装置説明のだめの要部の断側面
図、第６図は従来例における洗浄装置の側面図である。 ２・・・・・・回転ブラシ、３・・・・・バキュームチ
ャック、４・・・・・・被洗浄物、５・・・・・−遮蔽
板、６・・・・・塵、７・・・・・・ブラシ、８・・・
・・・回転方向、９・・・・移送方向、１０・・・・・
・洗浄液。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 ノλヶ、乙ぐラーーツク 、３ 第 ３ 図 第４図 ′＼ ２Ｔ私プラン 第５図 第６図 ／ノ陰ジ連床巳′＋物
第２図は同地の実施例における洗浄装置の側面図、第３
図、第４図、第５図は同装置説明のだめの要部の断側面
図、第６図は従来例における洗浄装置の側面図である。 ２・・・・・・回転ブラシ、３・・・・・バキュームチ
ャック、４・・・・・・被洗浄物、５・・・・・−遮蔽
板、６・・・・・塵、７・・・・・・ブラシ、８・・・
・・・回転方向、９・・・・移送方向、１０・・・・・
・洗浄液。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 ノλヶ、乙ぐラーーツク 、３ 第 ３ 図 第４図 ′＼ ２Ｔ私プラン 第５図 第６図 ／ノ陰ジ連床巳′＋物
Claims (3)
- （１）被洗浄物を吸着するバキュームチャックと、被洗
浄物を洗浄する回転ブラシと、洗浄液を供給する噴射ノ
ズルと、前記回転ブラシにより排出された塵が、前記回
転ブラシの回転にともない巻き上げられるのを防ぐ遮蔽
板とを備え、前記被洗浄物を前記回転ブラシの回転方向
に対して逆の方向に移送することを特徴とする洗浄装置
。 - （２）バキュームチャックに吸着した被洗浄物を、回転
ブラシの上側に配置した特許請求の範囲第１項記載の洗
浄装置。 - （３）バキュームチャックの吸着面に被洗浄物を、この
被洗浄物の厚みと同じ深さだけ嵌め込む構造とした特許
請求の範囲第１項記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192330A JPS6349285A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192330A JPS6349285A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6349285A true JPS6349285A (ja) | 1988-03-02 |
Family
ID=16289491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61192330A Pending JPS6349285A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6349285A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS502851A (ja) * | 1973-05-09 | 1975-01-13 | ||
| JPS60240129A (ja) * | 1984-05-15 | 1985-11-29 | Fujitsu Ltd | スクラブ洗浄装置 |
-
1986
- 1986-08-18 JP JP61192330A patent/JPS6349285A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS502851A (ja) * | 1973-05-09 | 1975-01-13 | ||
| JPS60240129A (ja) * | 1984-05-15 | 1985-11-29 | Fujitsu Ltd | スクラブ洗浄装置 |
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