JPS6350909A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録に用いる磁気ヘッドの製造方法に関
するものである。

従来の技術 磁気記録の分野は、高記録密度化が著しく進んでおり、
テープも従来の酸化鉄磁性粉を用いたものから金属鉄粉
を用いたものへと変り、高密度化に対応している。これ
はテープの保磁力が８００〜１０００エルステツドから
１４００〜１５００エルステツドと高くなり、従来のフ
ェライト材を用いたへ・ノドでは十分な記録再生ができ
なくなり、より飽和磁化の大きいセンダスト、アモルフ
ァスを用いてヘッドを作成し、より記録能率を高くして
、金属鉄粉を用いた塗布形テープ（以降このテープをＭ
ｐテ−プと呼ぶ）対応ヘッドとしている。ヘッドに必要
なコア材の飽和磁化は、一般にテープ磁性材の保磁力の
絶対値の５〜６倍が必要とさており、Ｍｐテープ対応ヘ
ッドとしては、９０００ガウス程度の飽和磁化が必要で
ある。したがってセンダスト材、アモルファス材、この
値程度のものが使用されヘッド形成している。ヘッドは
リング形であるが、センダストではバルクを用いたもの
、薄帯を用いたもの、あるいはスパッタなどで膜形成を
してこの膜を用いるものなどがある。アモルファス材で
はバルクタイプはないが、薄帯のもの膜形成のものがあ
る。またリング形ではあるがギャップ近傍のみにセンダ
スト材、あるいはアモルファス材を用いその他の部分は
フェライトよりなる構造のヘッド（以降これをＭＩＧヘ
ッドと呼ぶ）がある（たとえば特開昭６０−３２１０７
号公報）。

発明が解決しようとする問題点 ヘッドのテープ摺動面をテープが摺動する場合、この面
金面がセンダスト材、あるいはアモルファス材よりなっ
ている場合は、テープ摺動によるノイズは小さいが、フ
ェライトが摺動面に露出し、テープが当ると、摺動ノイ
ズは高くなる。ＭＩＧヘッドではテープ摺動面にフェラ
イトが存在しており摺動ノイズは高くなるため、その分
だけヘッドのＳ／Ｎ　（ヘッド出力とノイズレベルの比
）は悪くなる。また従来のＭＩＧヘッドの他の問題点は
、ギャップ近傍にフェライトとセンダスト材、あるいは
アモルファス材との境界部ができ、これが擬似ギャップ
を発生させる原因となる。しがし、フェライトを使用す
ることは、センダスト材、アモルファス材などの電気抵
抗が約１００　Ｘ　１０−６Ω−印にくらべ１０３〜４
Ω−ｃｍと高く、高周波領域でのコア損失の点で有利で
ある。

また、アモルファス膜、あるいはセンダスト膜をコアと
して用いたリングヘッドの構成は、従来のフェライトヘ
ッドの構成に準するＭＩＧヘッドの構成にくらべやや複
雑で、その点コスト高になると考えられる。

問題点を解決するための手段 フェライト材をヘッドの基材とし、テープ摺動面全面に
は、センダストあるいはアモルファスの膜をスパッタに
より設けた磁気ヘッドの製造方法。

作用 この手段による作用は次の様になる。

（１１ファライトがテープ摺動面に露出しなくセンダス
ト、あるいはアモルファスであり摺動ノイズが低くでき
る。

（２）　　フェライト材をヘッドの大半の部分に使用す
ることから高周波領域でのコア損失に有利である。

（３）従来のフェライト材を用いたリングヘッドの構成
に準するため、工法は複雑でなくコスト高とならない。

実施例 以下に本発明の一実施例の磁気ヘッドの製造方法を図面
を用いて詳細に説明する。

図に本発明の一実施例図を示す。図（ａ）において基ｖ
ｉ、１は、Ｍｎ−Ｚｎフェライト単結晶である。

多結晶であってもよい。基板１の片面に、一定ピツチの
波形の凹凸２を形成した。ピッチの幅は最終へソドコア
の幅の半分より加工しろ分だけ太きくする。波形の高さ
は、最終ヘッドのテープ摺動面の曲率半径により決める
ものであるが本実施例では８５μｍになる様にした。次
にその表面を滑らかにするため、リン酸水溶液で軽くエ
ツチングをしたのち、水洗、乾燥させた。この表面２に
、スパッタにて、Ｃｏを主成分とするアモルファス膜３
を４０μｍ析出した。次に破線４ａ、４ｂの方向に凸部
、凹部でそれぞれ切断し、図（ｂ）の（イ）　、　（ｎ
）の如くとした。アモルファス膜３側にトラック加工５
をしたのちモールドガラスで５部を埋めた。

図（ｂｌの（ｏ）の凸部の切断面６に巻線窓７を設けた
。

図（ｂ）の（イ）凸部の切断面には巻線窓は設けていな
い。次に図（ｂ）の（イ）　、　（Ｅｌ）の凸部の切断
面６を鏡研磨したのち、それぞれの上に、スパッタによ
り５００オングストロームのＣｒ膜８を析出したのち、
つづけて７００オングストロームの作業温度が５００℃
のガラス９をスパッタした。

次に図（ｂｌの（（）　、　（Ｉ＋）の切断面６を向い
合せにし、かつトラックを合せて圧接したまま、５００
　”Ｃの不活性ガス中で３０分加熱して接合して図（０
）の如くバー状とした。

図（Ｃ）の破線１０でバーを切断し、図（ｄ）の如きチ
ップにした。この時切断はトラック加工時のモールドガ
ラス部でおこなわれる様にした。

この様にしてできたチップのアモルファス３の表面は、
テープ摺動面１１になるため、テープが滑らかに摺動す
る様、適当な曲率にする必要がある。

本実施例では曲率半径を７鶴とした。なおチップの大き
さは、図（Ｃ）においてβ−２１、ｈ＝２ｍとした。

本実施例ではアモルファス膜を用いたが、センダスト膜
を用いても全く同様になる。ただしセンダスト膜を用い
た場合は、モールドガラス、ならびに接合ガラス９は７
００℃〜８００℃の作業温度を持つ高融点ガラスが使用
しうる。またテープ摺動面１１は、テープを摺動させた
時のヘッド表面に残る摺動こんからみて、ギャップから
±６００μｍ以内にあり、ヘッド摩耗の点から、この範
囲の磁性膜の厚みはギャップ深さ程度必要である。

この様にして構成した本実施例のヘッドと、従来の如き
ギャップ近傍からフェライトが摺動面に露出しているヘ
ッド（Ｍ　Ｉ　Ｇヘッド）の摺動ノイズを評価し比較し
た結果、その差が１．５ｄＢあり、本発明の実施例によ
るヘッドの方がノイズレベルは低く得られた。

発明の効果 本発明の製造方法によるヘッドは、以」二に示した如く
、フェライト基板の上にアモルファス膜、あるいはセン
ダスト膜を形成し、ヘッドチップにした時、テープ摺動
面にこれら膜を全面にある様にしたもので、摺動ノイズ
は小さくなりＳ／Ｎは向上する。また構成法も工程の初
期に磁性膜を形成することのみが従来のフェライトリン
グヘッドを形成工程に付加されるだけで、工程が簡単で
、コツトも安価である。さらにＭＩＧヘッドに生ずる擬
似ギャップはない、など多くの有益な利点があり、リン
グヘッドとして高保磁力を持つＭｐテープには有効であ
る。

したものである。

１・・・・・・フェライト基板、２・旧・・基板表面の
形状、３・・・・・・磁性膜、４ａ、４ｂ・・・・・・
切断面、５・・・・・・トラック加工部、６・・・・・
・凸部の切断面、７・・・・・・巻線窓、８，９・・・
・・・ギャップ材（Ｃｒ膜８、ガラス膜９）、１０・・
・・・・チップ切断面、１１・旧・・テープ摺動面、１
２・・・・・・ｌ＝ヘッドチプの幅、１３・・・・・・
ｈ−ヘットチップの高さ。

代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　はか１名ノーーーフ
ユデ洟脹 ２−４１りｆね狛のホ２（ ３−一一刀吋υ決 第１図　　　、４ρゐ一切餌笥

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板面に一定のピッチで波形の凹凸を形成し、そ
   の表面に磁性膜を形成したのち、凹部ならびに凸部で切
   断してバー状にしてトラック加工をし、凸部切断面に巻
   線窓を形成したのち凸部切断面を研磨し、研磨面に接合
   用ガラス材を設け、磁性膜切断をつき合せて加熱接合し
   、バーからヘッドのコア厚みに切断し、ベッドのテープ
   摺動面である磁性膜面を研磨調整したのちも、テープ摺
   動面全面に磁性膜があることを特徴とする磁気ヘッドの
   製造方法。
2. （２）基板がフェライト磁性材よりなることを特徴とす
   る特許請求の範囲第（１）項記載の磁気ヘッドの製造方
   法。
3. （３）磁性膜は、センダスト膜、あるいはアモルファス
   膜であることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記
   載の磁気ヘッドの製造方法。
4. （４）ヘッドのテープ摺動面を研磨調整したのちも、磁
   性膜の厚みはギャップを中心に±６００μｍ以内はギャ
   ップデプスと同等の厚みが残存することを特徴とする特
   許請求の範囲第（１）項記載の磁気ヘッドの製造方法。